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一种高温绝缘真空腔体及其制备方法与流程
本发明涉及微机械电子技术领域,具体涉及一种高温绝缘真空腔体及其制备方法。
标签:
空腔
微机
高温
制备方法
电子
2022-11-30
一种金刚石微流道的制备方法
本发明属于金刚石材料制备领域,具体涉及一种金刚石微流道的制备方法。
标签:
金刚石
制备方法
材料
微流道
2022-11-23
一种图案化制备叠层异质结构阵列的方法与流程
本发明涉及基本电气元件技术领域,具体涉及一种图案化制备叠层异质结构阵列的方法。
标签:
阵列
元件
图案
电气
结构
2022-11-23
一种基于系统级封装的无线智能传感器芯片架构的制作方法
本实用新型涉及传感器芯片架构,特别涉及一种基于系统级封装的无线智能传感器芯片架构。
标签:
传感器
架构
芯片
无线智能
系统
2022-11-23
用于真空封装的交叉的制作方法
用于真空封装的交叉相关申请的交叉引用本技术要求于2020年2月21日提交的美国临时申请第62/980,096号和于2020年3月30日提交的美国临时申请第63/902,081号的权益,上述申请中的每一个申请的内容通过引用以其整体并入本文。技术领域2.本公开总体上涉及电子封装。更具体地,本公开涉及导电交叉之上的真空封装。
标签:
美国
真空
以其
总体上
上述
2022-11-19
一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器及其制备方法与流程
本发明属于微-纳米级微型反应器制备的技术领域,具体涉及一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器及其制备方法。
标签:
反应器
阵列
薄膜
纳米
制备方法
2022-11-19
一种新型框架MEMS芯片封装方法及其产品与流程
一种新型框架mems芯片封装方法及其产品技术领域本发明属于芯片封装技术领域,具体涉及一种新型框架mems芯片封装方法及其产品。
标签:
芯片
框架
方法
产品
mems
2022-11-19
用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置与流程
用于对mems设备进行声学测试的方法和装置技术领域本发明的实施例提供用于对多个mems设备的至少一个mems设备(微机电系统)进行声学测试的方法。进一步实施例涉及用于对多个mems设备的至少一个mems设备进行声学测试的装置。一些实施例涉及对mems进行声学测试。
标签:
声学
设备
测试
多个
装置
2022-11-16
一种具有空腔结构的电子器件及其制备方法
本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种具有空腔结构的电子器件及其制备方法。
标签:
空腔
电子器件
半导体
制备方法
结构
2022-11-16
具有斜坡结构的半导体器件的制造方法及半导体结构与流程
本发明涉及半导体领域,特别是涉及一种具有斜坡结构的半导体器件的制造方法及半导体结构。
标签:
半导体
结构
特别是
斜坡
方法
2022-11-16
MEMS芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺的制作方法
mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺技术领域本说明书一个或多个实施例涉及超声波传感器技术领域,尤其涉及mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺。
标签:
超声波传感器
芯片
结构
工艺
多个
2022-11-16
一种微机电结构的制作方法
本技术涉及微机电系统技术领域,特别是涉及一种微机电结构。
标签:
微机
特别是
结构
系统
2022-11-16
一种微机电结构的制作方法
本技术涉及微机电系统技术领域,特别是涉及一种微机电结构。
标签:
微机
特别是
结构
系统
2022-11-14
一种基于SOI硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法
一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法技术领域本发明属于mems技术领域,具体涉及一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法。
标签:
陀螺仪
硅片
纳米
制备方法
SOI
2022-11-14
用于制造微机械传感器的方法与流程
本发明涉及一种用于制造微机械传感器的方法。本发明还涉及一种微机械传感器。
标签:
微机
传感器
方法
2022-11-14
收发分体式超声波传感器模组的制作方法
本说明书一个或多个实施例涉及传感器技术领域,尤其涉及收发分体式超声波传感器模组。
标签:
多个
模组
传感器
收发
说明书
2022-11-14
MEMS芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺的制作方法
mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺技术领域本发明属于超声波传感器技术领域,具体涉及mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺。
标签:
超声波传感器
芯片
结构
工艺
mems
2022-11-14
声波感测结构的制作方法与流程
本发明涉及麦克风技术领域,更为具体的是涉及声波感测结构的制作方法。
标签:
声波
制作方法
麦克风
结构
2022-11-14
一种微机电结构的制作方法
本技术涉及微机电系统技术领域,特别是涉及一种微机电结构。
标签:
微机
特别是
结构
系统
2022-11-14
一种基于SOI硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法
一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法技术领域本发明属于mems技术领域,具体涉及一种基于soi硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法。
标签:
陀螺仪
硅片
纳米
制备方法
SOI
2022-11-14
用于制造微机械传感器的方法与流程
本发明涉及一种用于制造微机械传感器的方法。本发明还涉及一种微机械传感器。
标签:
微机
传感器
方法
2022-11-14
收发分体式超声波传感器模组的制作方法
本说明书一个或多个实施例涉及传感器技术领域,尤其涉及收发分体式超声波传感器模组。
标签:
多个
模组
传感器
收发
说明书
2022-11-14
MEMS芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺的制作方法
mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺技术领域本发明属于超声波传感器技术领域,具体涉及mems芯片封装结构、具有其的超声波传感器及封装工艺。
标签:
超声波传感器
芯片
结构
工艺
mems
2022-11-14
声波感测结构的制作方法与流程
本发明涉及麦克风技术领域,更为具体的是涉及声波感测结构的制作方法。
标签:
声波
制作方法
麦克风
结构
2022-11-13
一种微机电结构的制作方法
本技术涉及微机电系统技术领域,特别是涉及一种微机电结构。
标签:
微机
特别是
结构
系统
2022-11-13
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