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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
微观装置的制造及其处理技术
一种通过操纵衬底宏观移动轨迹实现纳米结构书写的方法
本发明属于微纳米加工技术领域,具体涉及通过控制掩膜版隔空覆盖的衬底在热蒸镀或离子束刻蚀过程中的宏观移动轨迹,制备任意形状的微纳米结构,实现衬底宏观移动向纳米结构纳米尺度移动的转换。
标签:
纳米
衬底
离子束
结构
尺度
2022-05-26
气密密封的玻璃封装件的制作方法
本发明涉及一种气密密封的、特别是多重密封的玻璃封装件,以及一种用于提供气密密封的玻璃封装件的方法。
标签:
玻璃
特别是
方法
2022-05-21
一种惯性传感器及其制备方法与流程
本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种惯性传感器及其制备方 法。
标签:
惯性
半导体
传感器
2022-05-18
一种MEMS器件及其制造方法与流程
一种mems器件及其制造方法技术领域本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种mems器件及其制造方法。
标签:
器件
方法
半导体
mems
2022-05-18
一种一体化法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片加工方法
一种一体化法布里珀罗mems加速度敏感芯片加工方法技术领域本发明涉及微电子机械系统技术领域,特别涉及一种一体化法布里珀罗mems加速度敏感芯片加工方法。
标签:
加速度
布里
芯片
敏感
加工
2022-05-18
适用于双层梁结构的法布里珀罗加速度敏感芯片加工方法
本发明涉及微电子机械系统技术领域,特别涉及一种适用于双层梁结构的法布里珀罗加速度敏感芯片加工方法。
标签:
适用于
加速度
微电子
布里
芯片
2022-05-18
基于MEMS技术的晶圆级原子气室加工方法及装置与流程
基于mems技术的晶圆级原子气室加工方法及装置技术领域本发明涉及晶圆级的气室加工技术领域,尤其涉及一种基于mems技术的晶圆级原子气室加工方法及装置。
标签:
晶圆
加工
原子
装置
方法
2022-05-18
一种适应于MEMS产品快速批量封装的载具的制作方法
一种适应于mems产品快速批量封装的载具技术领域本实用新型涉及mems封装领域,特别涉及一种适应于mems产品快速批量封装的载具。
标签:
批量
快速
产品
mems
2022-05-17
用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制作方法
本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件和一种压力和惯性传感器设备。同样地,本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。
标签:
惯性
传感器
压力
构件
微机
2022-05-08
一种MEMS传感器及其制造方法、晶圆模组与流程
一种mems传感器及其制造方法、晶圆模组技术领域本技术涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种mems传感器及其制造方法、晶圆模组。
标签:
模组
传感器
晶圆
方法
半导体器件
2022-05-08
一种微纳米结构定点缺陷掺杂的方法及NV色心传感器
一种微纳米结构定点缺陷掺杂的方法及nv色心传感器技术领域本发明涉及微纳加工技术与量子信息技术领域,具体涉及一种基于自对准工艺的微纳米结构定点缺陷掺杂的方法及应用。
标签:
纳米
缺陷
结构
方法
色心
2022-05-06
一种避免短路的芯片间导电桥结构的制作方法
本发明涉及集成电路制造及半导体技术领域,具体而言涉及一种避免短路的芯片间导电桥结构。
标签:
集成电路
半导体
芯片
结构
2022-05-01
刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其制备方法
刚柔融合电容式柔性mems超声换能器及其制备方法技术领域本发明涉及柔性电子、mems和超声换能器技术,特别涉及一种柔性的具有硬薄膜-软基底结构的cmuts及其制备方法,具体是刚柔融合电容式柔性mems超声换能器及其制备方法。
标签:
柔性
超声
制备方法
换能器
刚柔
2022-04-30
数字式MEMS扬声器的制作方法与流程
数字式mems扬声器的制作方法技术领域本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种数字式mems扬声器的制作方法。
标签:
制作方法
扬声器
微电子
mems
2022-04-30
一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2薄膜及其制备方法
一种疏水减反射新型微纳米结构caf2薄膜及其制备方法技术领域本发明属于光学薄膜技术领域,尤其涉及一种以caf2为靶材用磁控溅射法制备疏水减反射微纳米结构薄膜的方法。
标签:
疏水
薄膜
纳米
反射
磁控溅射
2022-04-30
一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备
本发明属于硅纳米线结构材料制备技术领域,具体涉及一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备。
标签:
纳米
交变电场
结构
超声
材料
2022-04-16
氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件的制作方法
氮化物压电体和使用该氮化物压电体的mems器件技术领域本发明涉及添加了镁和钽的氮化铝的压电体以及使用了该压电体的mems器件。
标签:
氮化物
器件
氮化
使用了
mems
2022-04-14
MEMS薄膜真空计及其制备方法与流程
mems薄膜真空计及其制备方法技术领域本发明涉及mems领域,具体地,涉及一种mems(micro-electro-mechanical system,微机电系统)薄膜真空计及其制备方法。
标签:
真空计
薄膜
制备方法
微机
系统
2022-04-13
半导体器件的制造方法和电子装置与流程
本发明实施例涉及半导体制造领域,尤其涉及一种半导体器件的制造方法和电子装置。
标签:
半导体
装置
方法
半导体器件
电子
2022-04-13
一种磁振子耦合共振型微纳称重器件与其制备方法与流程
本发明属于微纳电子功能器件技术领域,具体涉及一种磁振子耦合共振型微 纳称重器件与其制备方法。
标签:
器件
称重
制备方法
功能
电子
2022-04-07
一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺的制作方法
一种基于mems的双梁式微压感测芯体及其制备工艺技术领域本发明属于微压感测技术领域,具体为一种基于mems的双梁式微压感测芯体及其制备工艺。
标签:
工艺
mems
压感测芯体
微压感测
2022-04-06
一种矩形回环凹槽微结构的太赫兹超材料及其制备方法与流程
本发明涉及太赫兹超材料技术领域,尤其是一种矩形回环凹槽微结构的太赫兹超材料及其制备方法。
标签:
微结构
材料
凹槽
矩形
制备方法
2022-04-06
包装级热梯度感测的制作方法
包装级热梯度感测
标签:
梯度
2022-04-02
超声换能器制造方法与流程
本公开总体上涉及超声换能器领域,并且更具体地,涉及电容式微机械超声换能器领域,也被称为cmut换能器。
标签:
超声
换能器
被称为
电容
总体上
2022-04-02
MEMS器件、包括MEMS器件的组件,以及操作MEMS器件的方法与流程
mems器件、包括mems器件的组件,以及操作mems器件的方法技术领域本公开涉及微机电系统(mems)器件。具体地,实施例涉及mems器件、包括mems器件的组件、以及操作mems器件的方法。
标签:
器件
组件
操作
方法
微机
2022-04-02
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