用于AG玻璃的加工设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于ag玻璃的加工设备，其特征在于，包括具有门阀(11)的工艺室(10)、能够在所述工艺室(10)内旋转的转台、能够安装于所述转台的转架(20)、第一等离子产生装置(31)、第二等离子产生装置(32)、偏压装置(50)以及用于对所述工艺室(10)抽真空的真空装置(40)；所述转台设置于所述工艺室(10)的中心区域，所述转架(20)的侧面具有安装待加工玻璃基板的安装面；各等离子产生装置设置于所述工艺室(10)的侧壁上，所述等离子产生装置的工作面朝向所述转架(20)的侧面，所述第一等离子产生装置(31)具有第一气源入口，所述第一气源入口连接清洗气源，所述清洗气源包括惰性气体源；所述第二等离子产生装置(32)具有第二气源入口，所述第二气源入口连接蚀刻气源，所述蚀刻气源包括惰性气体源含氟气体源；所述偏压装置(50)的正极与所述工艺室(10)的腔壁连接，负极与所述转架(20)连接。2.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述真空装置(40)与所述工艺室(10)的连接部与所述门阀(11)相对设置，在二者相对方向的两侧沿所述工艺室(10)的周向分别排布有多个所述第一等离子产生装置(31)和多个所述第二等离子产生装置(32)。3.一种用于ag玻璃的加工设备，其特征在于，包括具有门阀(11)的工艺室(10)、能够在所述工艺室(10)内旋转的转台、能够安装于所述转台的转架(20)、等离子产生装置(30)、偏压装置(50)以及用于对所述工艺室(10)抽真空的真空装置(40)；所述转台设置于所述工艺室(10)的中心区域，所述转架(20)的侧面具有安装待加工玻璃基板的安装面；所述等离子产生装置(30)设置于所述工艺室(10)的侧壁上，所述等离子产生装置(30)的工作面朝向所述转架(20)的侧面，所述等离子产生装置(30)具有气源入口，所述气源入口可择一连通清洗气源和蚀刻气源，所述清洗气源包括惰性气体源，所述蚀刻气源包括惰性气体源和含氟气体源；所述偏压装置(50)的正极与所述工艺室(10)的腔壁连接，负极与所述转架(20)连接。4.根据权利要求3所述的加工设备，其特征在于，所述等离子产生装置(30)沿所述工艺室(10)的周向分布有多个。5.根据权利要求1-4任一项所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备具有等离子清洗状态和等离子蚀刻状态，在所述等离子清洗状态，所述工艺室(10)的本底真空度小于或者等于8.0*10-4
pa，工作气压为1.0*10-1
～3pa；等离子产生装置的功率为1.5～5kw，频率为13.56mhz；所述清洗气源的惰性气体供气流量为150sccm～500sccm；在所述等离子蚀刻状态，所述工艺室(10)的本底真空度小于或者等于8.0*10-4
pa，工作气压为1pa～60pa；等离子产生装置的功率为1.5～5kw；频率为13.56mhz，蚀刻时间为20～40min；偏压装置(50)的偏压为400～1800v，功率为1.5～4.5kw，频率为13.56mhz；所述蚀刻气源的惰性气体与含氟气体的供气量的配比为9:1～2:1。6.根据权利要求1-4任一项所述的加工设备，其特征在于，所述工艺室的侧壁外设置有安装法兰，所述安装法兰设置有贯通所述侧壁的安装孔；等离子产生装置为感性耦合等离子体产生装置，包括相互连接的射频源(33)和离子源本体(34)，所述射频源(33)安装于所述安装法兰，所述离子源本体(34)设置有气源入口和气源出口，所述离子源本体(34)穿过
所述安装孔伸入所述工艺室(10)内，且所述气源出口朝向所述转架(20)。7.根据权利要求1-4任一项所述的加工设备，其特征在于，所述清洗气源和蚀刻气源均还包括氧气源，所述氧气源的供气流量为0～200sccm。8.根据权利要求1-4任一项所述的加工设备，其特征在于，所述转架(20)呈多面棱柱结构，所述棱柱结构的各棱柱面均形成所述安装面。9.根据权利要求8所述的加工设备，其特征在于，在所述转架(20)旋转至所述安装面与所述等离子产生装置正对的状态时，所述安装面与所述等离子产生装置之间的距离为20～80mm。10.根据权利要求1-4任一项所述的加工设备，其特征在于，所述转台的转动速度为10～100转/分钟。

技术总结
本实用新型提供了一种用于AG玻璃的加工设备，包括具有门阀的工艺室、转台、能够安装于所述转台的转架、等离子产生装置、偏压装置以及用于对所述工艺室抽真空的真空装置；所述转台设置于所述工艺室的中心区域，所述转架具有安装待加工的玻璃基板的安装面；所述等离子产生装置设置于所述工艺室的侧壁，具有气源入口，清洗气源和蚀刻气源可为其供气，所述清洗气源包括惰性气体源，所述蚀刻气源包括惰性气体源和含氟气体源；所述偏压装置能够在所述等离子产生装置与所述转架之间形成偏压。采用本实用新型的加工设备能够高效率、无污染地利用玻璃基板制造出AG玻璃，且制造的AG玻璃的防眩光表面凹凸结构均匀，解析度好。解析度好。解析度好。


技术研发人员：邬文波 赵成伟
受保护的技术使用者：西实显示高新材料（沈阳）有限公司
技术研发日：2021.10.27
技术公布日：2022/5/17