掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置与流程

1.本技术涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置。


背景技术：

2.随着电子设备的快速发展，用户对显示装置的要求越来越高，并且显示装置的屏占比也越来越大。传统的电子设备如手机、平板电脑等，由于需要集成诸如前置摄像头、听筒以及红外感应元件等，往往在显示装置上设置通孔或盲孔，以使外界光线能够通过显示面板上的孔区进入位于屏幕下方的感光元件内。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供了一种掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置，能够去除在透光区处的阴极层等膜层。
4.第一方面，本技术实施例提供了一种掩膜板组件，用于制备显示装置，显示装置具有透光区和环绕于透光区周侧的显示区，透光区的透光率大于显示区的透光率，显示装置包括位于显示区内的多个像素开口，掩膜板组件包括第一掩膜板和第二掩膜板。
5.第一掩膜板包括第一边框、位于第一边框内的第一遮挡部、连接第一边框和第一遮挡部的第一连接部、及由第一连接部围合形成的第一蒸镀开口，和/或由第一边框、第一遮挡部以及第一连接部共同围合形成的第一蒸镀开口，第一蒸镀开口对应于至少部分像素开口位置，第一遮挡部对应于透光区的位置；
6.第二掩膜板与第一掩膜板配合使用，第二掩膜板包括第二边框、位于第二边框内的第二遮挡部、连接第二边框和第二遮挡部的第二连接部、及由第二连接部围合形成的第二蒸镀开口，和/或由第二边框、第二遮挡部以及第二连接部共同围合形成的第二蒸镀开口，第二蒸镀开口对应于至少两个像素开口之间的位置，第二遮挡部对应于透光区的位置。
7.在一些实施例中，第一蒸镀开口与像素开口一一对应设置，且第一蒸镀开口的尺寸大于像素开口的尺寸。
8.在一些实施例中，第二蒸镀开口在第一方向上的延伸尺寸小于或等于在第一方向上相邻两个像素开口之间的最小距离，多个像素开口沿第一方向间隔设置。
9.在一些实施例中，第二蒸镀开口在第一方向上的延伸长度大于对应第一连接部在第一方向上的延伸长度。
10.在一些实施例中，第一蒸镀开口与多个像素开口对应设置。
11.在一些实施例中，第一蒸镀开口与第一方向上间隔设置的多列像素开口对应设置。
12.在一些实施例中，第一连接部包括沿第一方向延伸的多条第一子段，以及沿第二方向延伸的多条第二子段，第一遮挡部通过第一子段连接于第一边框，多条第一子段沿第二方向间隔设置，第二子段连接相邻第一子段，第一方向与二方向相交。
13.和/或，第二连接部包括沿第一方向延伸的多条第三子段，以及沿第二方向延伸的多条第四子段，第二遮挡部通过第三子段连接于第二边框，多条第三子段沿第二方向间隔设置，第四子段连接相邻第三子段。
14.在一些实施例中，第一掩膜板还包括第三蒸镀开口，第三蒸镀开口由第一子段、第一边框以及第一遮挡部共同围合形成，且沿第二方向位于第一遮挡部的至少一侧，第二掩膜板还包括第三遮挡部，第三遮挡部位于第二遮挡部在第二方向上的至少一侧，且与第三蒸镀开口对应设置。
15.或者，第二掩膜板还包括第四蒸镀开口，第四蒸镀开口由第三子段、第二边框以及第二遮挡部共同围合形成，且沿第二方向位于第二遮挡部的至少一侧，第一掩膜板还包括第四遮挡部，第四遮挡部位于第一遮挡部在第二方向上的至少一侧，且与第四蒸镀开口对应设置。
16.在一些实施例中，第二掩膜板的厚度大于第一掩膜板的厚度。
17.在一些实施例中，第一连接部的厚度在靠近第一蒸镀开口的方向上呈逐渐减小的趋势。
18.在一些实施例中，第一连接部的厚度在靠近第一蒸镀开口的方向上呈梯度减小。
19.第二方面，本技术实施例提供了一种显示装置的蒸镀方法，利用前述任一实施方式的掩膜板组件进行蒸镀，蒸镀方法包括：
20.s100、提供第一基板。
21.s110、利用第一掩膜板在第一基板上形成第一图案部，第一图案部包括间隔设置的多个第一子部，第一子部位于透光区的外部且与至少一个像素开口对应设置。
22.s120、利用第二掩膜板在第一基板上形成第二图案部，第二图案部包括多个第二子部，第二子部位于透光区的外部且位于至少两个像素开口之间，且与第一子部的至少部分边缘连接，以使第一图案部与第二图案部共同形成共通层。
23.第三方面，本技术实施例提供了一种显示装置，包括由前述实施方式中的蒸镀方法制成的共通层。
24.本技术实施例提供的一种掩膜板组件、显示装置的蒸镀方法及显示装置，在实现阴极层形成孔区结构的同时，可以通过改变第一掩膜板和第二掩膜板的厚度和改变第一蒸镀开口和第二蒸镀开口的尺寸形状，实现对像素开口内和像素开口外的阴极材料的尺寸形状进行分别调节，从而满足特定阴极层结构的制备需要，具有更强的实用性。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是现有技术中的显示装置的内部结构示意图；
27.图2是本技术实施例提供的掩膜板组件中的一种第一掩膜板的结构示意图；
28.图3是本技术实施例提供的掩膜板组件中的一种第二掩膜板的结构示意图；
29.图4是图1中a-a处的一种剖面结构示意图；
30.图5是图1中a-a处的又一种剖面结构示意图；
31.图6是本技术实施例提供的掩膜板组件中的又一种第一掩膜板的结构示意图；
32.图7是本技术实施例提供的掩膜板组件中的还一种第一掩膜板的结构示意图；
33.图8是本技术实施例提供的掩膜板组件中的还一种第二掩膜板的结构示意图；
34.图9是图1中a-a处的还一种剖面结构示意图；
35.图10是本技术实施例提供的掩膜板组件中的还一种第一掩膜板的剖面结构示意图；
36.图11是本技术实施例提供的一种显示装置的蒸镀方法的流程图；
37.图12a至图12c是本技术实施例提供的一种显示装置的蒸镀方法的过程示意图。
38.标记说明：
39.1、第一掩膜板；11、第一边框；12、第一遮挡部；13、第一连接部；131、第一子段；132、第二子段；14、第一蒸镀开口；15、第三连接部；16、第三蒸镀开口；
40.2、第二掩膜板；21、第二边框；22、第二遮挡部；23、第二连接部；24、第二蒸镀开口；25、第四连接部；26、第三遮挡部；
41.3、显示装置；31、透光区；32、显示区；321、像素开口；33、第一基板；34、第一图案部；341、第一子部；35、第二图案部；351、第二子部；
42.x、第一方向；y、第二方向。
具体实施方式
43.下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例对本技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本技术，而不是限定本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解。
44.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
45.随着显示面板的发展，需要将越来越多的感光器件集成到显示面板中例如在显示面板中形成有透光孔，并将摄像头等感光元件设置于透光孔中透光孔通常设置于显示面板的显示区内，外界光线通过透光孔传播至感光元件中，以实现感光功能。
46.目前显示面板中的透光孔主要以通孔的形式存在，这是由于显示面板中的某些共通层例如发光单元中的阴极层的透光率较低，设置成通孔可以保证透光效果。但是在相同的条件下，通孔形式下透光孔的孔边框尺寸会大于盲孔形式下透光孔的孔边框尺寸，从而影响显示装置的屏占比以及显示效果。因此如何去除透光孔处的阴极层等膜层，以提高盲孔形式下透光孔的光透过率，是亟待解决的问题。
47.为解决上述问题，请参阅图1至图4，本技术实施例提供了一种掩膜板组件，用于制
备显示装置3，显示装置3具有透光区31和环绕于透光区31周侧的显示区32，透光区31的透光率大于显示区32的透光率，显示装置3包括位于显示区32内的多个像素开口321。
48.透光区31的透光率大于显示区32的透光率，使得显示装置3在透光区31对应位置处可以集成感光元件，实现例如摄像头的感光元件的屏下集成。同时位于透光区31周侧的显示区32内设置有像素开口321，像素开口321用于限定发光单元的位置，发光单元用于显示发光，以实现显示装置3的显示效果。其中，透光区31的形状可以为圆形、方形或者其他不规则形状，本技术实施例对此不作限制。
49.掩膜板组件包括第一掩膜板1和第二掩膜板2，第一掩膜板1包括第一边框11、位于第一边框11内的第一遮挡部12、连接第一边框11和第一遮挡部12的第一连接部13，及由第一连接部13围合形成的第一蒸镀开口14，和/或由第一边框11、第一遮挡部12以及第一连接部13共同围合形成的第一蒸镀开口14，第一蒸镀开口14并对应于至少部分像素开口321的位置，第一遮挡部12对应于透光区31的位置。
50.第二掩膜板2与第一掩膜板1配合使用，第二掩膜板2包括第二边框21，位于第二边框21内的第二遮挡部22、连接第二边框21和第二遮挡部22的第二连接部23、及由第二连接部23围合形成的第二蒸镀开口24，和/或由第二边框21、第二遮挡部22以及第二连接部23共同围合形成的第二蒸镀开口24，第二蒸镀开口24对应于至少两个像素开口321之间的位置，第二遮挡部22对应于透光区31的位置。
51.需要说明的是，本技术实施例提供的掩膜板组件可以用于形成不同的共通层，其中共通层包括但不限于空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入层以及阴极层等，本技术实施例对此不作限定，此外本技术后续将以制备阴极层为例对掩膜板组件的结构进行解释说明。
52.可以理解的是，在本技术实施例中第一遮挡部12与第二遮挡部22均与显示装置3的透光区31对应设置，其中对应设置是指在使用第一掩膜板1对显示装置3进行蒸镀时，透光区31位于第一遮挡部12在显示装置3的正投影内；在使用第二掩膜板2对显示装置3进行蒸镀时，透光区31位于第二遮挡部22在显示装置3的正投影内。因此在使用第一掩膜板1和第二掩膜板2中任一者进行蒸镀时，透光区31对应位置处不会蒸镀上阴极材料，即利用本技术实施例提供的掩膜板组件所形成的阴极层会在透光区31位置处形成孔区结构，从而能够提高透光区31的透光率。
53.第一边框11和第二边框21的外轮廓相同，第一连接部13用于将第一边框11和第一遮挡部12连接一体，第二连接部23用于将第二边框21和第二遮挡部22连接一体。其中，第一连接部13围合形成的第一蒸镀开口14，和/或第一边框11、第一遮挡部12以及第一连接部13共同围合形成的第一蒸镀开口14，其中第一蒸镀开口14与像素开口321相对应，即在使用第一掩膜板1进行蒸镀时，像素开口321与第一蒸镀开口14在显示装置3的正投影重合或部分交叠。第二连接部23围合形成的第二蒸镀开口24，和/或第二边框21、第二遮挡部22以及第二连接部23共同围合形成的第二蒸镀开口24，其中第二蒸镀开口24与至少两个像素开口321之间的区域相对应，即在使用第二掩膜板2进行蒸镀时，相邻像素开口321之间的区域与第二蒸镀开口24在显示装置3的正投影重合或部分交叠。
54.在使用本技术实施例提供的掩膜板组件时，首先使用第一掩膜板1在像素开口321位置处蒸镀阴极材料，形成多个第一子部341，然后使用第二掩膜板2在相邻像素开口321之
间的区域蒸镀阴极材料，形成多个第二子部351，第二子部351用于将相邻的第一子部341连接一体，从而形成整面状的阴极层。本技术实施例在实现阴极层形成孔区结构的同时，可以通过改变第一掩膜板1和第二掩膜板2的厚度和改变第一蒸镀开口14和第二蒸镀开口24的尺寸形状，实现对像素开口321内和像素开口321外的阴极材料的尺寸形状进行分别调节，从而满足特定阴极层结构的制备需要，具有更强的实用性。
55.可以理解的是，第一掩膜板1除了有用于连接第一边框11和第一遮挡部12的第一连接部13外，还可以有多个第三连接部15，第三连接部15能够连接第一边框11上的相对两个边缘，并且多个第三连接部15同样可以围合形成多个第一蒸镀开口14，和/或第一边框11、第一遮挡部12以及第一连接部13共同围合形成多个第一蒸镀开口14，本技术实施例对第一连接部13与第三连接部15的尺寸形状不作限定，只要满足第一蒸镀开口14可以与至少部分像素开口321位置对应即可。
56.同样的，第二掩膜板2除了有用于连接第二边框21和第二遮挡部22的第二连接部23外，还可以有多个第四连接部25，第四连接部25能够连接第二边框21上的相对两个边缘，并且多个第四连接部25同样可以围合形成多个第二蒸镀开口24，和/或第一边框21、第一遮挡部22以及第一连接部23共同围合形成多个第二蒸镀开口24，本技术实施例对第二连接部23与第四连接部25的尺寸形状不作限定，只要满足第二蒸镀开口24可以与至少两个像素开口321之间的位置对应即可。
57.在一些实施例中，第一蒸镀开口14与像素开口321一一对应设置，且第一蒸镀开口14的尺寸大于像素开口321的尺寸。
58.第一蒸镀开口14与像素开口321一一对应设置，是指在使用第一掩膜板1进行蒸镀时，单个像素开口321位于单个第一蒸镀开口14在显示装置3的正投影内。第一掩膜板1蒸镀形成的第一子部341的大小由第一蒸镀开口14的尺寸决定，本技术实施例将第一蒸镀开口14的尺寸设置为大于像素开口321的尺寸，使得第一掩膜板1蒸镀形成的第一子部341能够至少部分位于像素开口321外，进而有助于控制第一子部341和第二子部351的连接位置能够在相邻像素开口321之间，即位于像素开口321外。
59.在一些实施例中，第二蒸镀开口24在第一方向x上的延伸尺寸小于或等于在第一方向x上相邻两个像素开口321之间的最小距离，多个像素开口321沿第一方向x间隔设置。
60.像素开口321通常为阵列排布，在这种情况下，第一方向x可以为像素开口321的排列方向，其中第一方向x可以为显示装置3的行方向，也可以为显示装置3的列方向，本技术实施例以第一方向x为显示装置3的行方向为例进行说明。
61.由本技术实施例提供的掩膜板组件形成的显示装置3能够保证显示均一性。具体地说，本技术实施例通过控制第二蒸镀开口24在第一方向x上的延伸尺寸小于或等于在第一方向x上相邻两个像素开口321之间的最小尺寸，使得第二掩膜板2蒸镀形成的第二子部351能够仅填充于相邻两个像素开口321之间的区域，避免第二子部351进入至像素开口321内，而位于像素开口321内的阴极材料仅由第一掩膜板1蒸镀形成，因此可以保证各像素开口321内的阴极材料具有相同的厚度尺寸，进而保证显示装置3的显示均一性。
62.请参阅图1至图3以及图5，在一些实施例中，第二蒸镀开口24在第一方向x的延伸长度大于对应第一连接部13在第一方向x上的延伸长度。
63.由前述内容可知，第一掩膜板1用于在像素开口321对应位置处蒸镀第一子部341，
而第二掩膜板2蒸镀出的第二子部351用于将相邻第一子部341连接一体。其中，第一连接部13在第一方向x上的延伸长度即为相邻第一子部341在第一方向x上的间距大小，本技术实施例通过控制第二蒸镀开口24与第一连接部13在第一方向x的长度之间的关系，使得第二掩膜板2蒸镀形成的第二子部351能够沿显示装置3的厚度方向至少部分覆盖第一掩膜板1蒸镀形成的第一子部341，从而保证第一子部341和第二子部351的连接可靠性，提高产品良品率。
64.请参阅图1和图6，在一些实施例中，第一蒸镀开口14与多列像素开口321对应设置。
65.第一蒸镀开口14与像素开口321的数量均为多个，且第一蒸镀开口14的数量小于像素开口321的数量，一个第一蒸镀开口14能够对应多个像素开口321设置，即在使用第一掩膜板1进行蒸镀时，单个第一蒸镀开口14在显示装置3的正投影能够覆盖多列像素开口321。其中，第一蒸镀开口14与像素开口321数量比可以为1:2或1:3或1:4等等，本技术实施例对此不作限制。
66.在一些实施例中，第一蒸镀开口14与第一方向x间隔设置的多列像素开口321对应设置。
67.在本技术实施例中，第一掩膜板1的第一蒸镀开口14为条状结构，且与多像素开口321对应设置，即在使用第一掩膜板1进行蒸镀时，单个第一蒸镀开口14在显示装置3的正投影能够覆盖第一方向x上的多列像素开口321。这种设计可以在制备显示装置3时，适度降低第一掩膜板1与显示装置3之间的对位精度，从而提高制备形成的显示装置3的产品良品率。可选地，一个第一蒸镀开口14与第一方向x上的所有像素开口321对应设置。
68.请参阅图7和图8，在一些实施例中，第一连接部13包括沿第一方向x延伸的多个第一子段131，以及沿第二方向y延伸的多个第二子段132，第一遮挡部12通过第一子段131连接于第一边框11，多条第一子段131沿第二方向y间隔设置，第二子段132连接于相邻第一子段131。
69.第一子段131用于连接第一遮挡部12与第一边框11，第二子段132用于连接不同的第一子段131，第一子段131和第二子段132共同构成第一连接部13。这种设计有利于更好地将第一遮挡部12与第一边框11固定连接，从而保证第一掩膜板1的整体结构稳定，有利于多次重复使用。第二掩膜板2的第二蒸镀开口24与第二子段132对应设置，即在使用第一掩膜板1和第二掩膜板2分别进行蒸镀时，第二蒸镀开口24在显示装置3的正投影能够与第二子段132在显示装置3的正投影重合或部分交叠，以使第二子段132对应位置处能够填充有阴极材料。
70.在一些实施例中，第二连接部包括沿第一方向延伸的多条第三子段，以及沿第二方向延伸的多条第四子段，第二遮挡部通过第三子段连接于第二边框，多条第三子段沿第二方向间隔设置，第四子段连接相邻第三子段。
71.可以理解的是，本技术实施例中的第一掩膜板1和第二掩膜板2的结构可以参考前述实施例设置，本技术实施例对此不再赘述。
72.如图7和图8所示，在一些实施例中，第一掩膜板1还包括第三蒸镀开口16，第三蒸镀开口16由第一子段131、第一边框11以及第二遮挡部22共同围合形成，且沿第二方向y位于第一遮挡部12的至少一侧，第二掩膜板2包括第三遮挡部26，第三遮挡部26位于第二遮挡
部22在第二方向y的至少一侧，且与第三蒸镀开口16对应设置。
73.第三蒸镀开口16的尺寸大于第一蒸镀开口14，第三蒸镀开口16可以沿第二方向y位于第一遮挡部12的两侧，也可以沿第二方向y仅设置在第一遮挡部12的一侧。在使用第一掩膜板1蒸镀时，由于第三蒸镀开口16的存在，因此可以对第一遮挡部12沿第二方向y的至少一侧区域进行完全蒸镀，以在透光区31外的至少一侧蒸镀上连续且呈面状结构的阴极材料。此外，第二掩膜板2在与第三蒸镀开口16对应位置处设置有第三遮挡部26，即在使用第一掩膜板1和第二掩膜板2分别进行蒸镀时，第三遮挡部26在显示装置3的正投影与第三蒸镀开口16在显示装置3上的正投影重合或部分交叠。这种设计可以保证在蒸镀过程中，第三蒸镀开口16对应位置处只会使用第一掩膜板1蒸镀一次，从而确保第一蒸镀开口14与第三蒸镀开口16中的阴极材料厚度相同。
74.在一些实施例中，第二掩膜板还包括第四蒸镀开口，第四蒸镀开口由第三子段、第二边框以及第二遮挡部共同围合形成，且沿第二方向位于第二遮挡部的至少一侧，第一掩膜板还包括第四遮挡部，第四遮挡部位于第一遮挡部在第二方向上的至少一侧，且与第四蒸镀开口对应设置。
75.可以理解的是，本技术实施例中的第一掩膜板1和第二掩膜板2的结构可以参考前述实施例设置，本技术实施例对此不再赘述。
76.请一并参阅图1至图3以及图9，在一些实施例中，第二掩膜板2的厚度大于第一掩膜板1的厚度。
77.在显示装置3中，为了保证显示装置3各处显示均一性，因此需要确保各处发光单元的结构趋于一致，进一步地，需要保证位于像素开口321内的阴极层的厚度保证一致。本技术实施例利用第一掩膜板1在各像素开口321对应位置处蒸镀形成厚度均一的第一子部341，从而保证显示装置3的显示均一性。
78.同时为了增大相邻两个像素开口321对应的阴极材料之间的信号传导性能，本技术实施例还将第二掩膜板2的厚度设置为大于第一掩膜板1的厚度，使得第二掩膜板2蒸镀形成的位于相邻像素开口321之间的第二子部351能够具有更大厚度，即降低阴极层在相邻像素开口321之间位置处的阻抗大小，相对于现有显示装置3中的阴极层，本技术实施例提供的掩膜板组件可以在保证显示装置3的显示均一性的前提下，增大阴极层的信号传递能力。
79.可以理解的是，在使用第二掩膜板2进行蒸镀的时长要大于使用第一掩膜板1进行蒸镀的时长，以使形成的第二子部351相比于第一子部341具有更大的厚度尺寸。
80.请参阅图2和图10，在一些实施例中，第一连接部13的厚度在靠近第一蒸镀开口14的方向上呈逐渐减小的趋势。
81.本技术实施例将第一连接部13靠近第一蒸镀开口14的边缘厚度减薄处理，从而使得第一连接部13靠近第一蒸镀开口14的边缘位置与带蒸镀显示装置3之间形成空隙，以使部分阴极材料可以顺着空隙沉积到第一连接部13的下方区域，有利于后续与第二掩膜板蒸镀形成的阴极材料实现更大面积的接触。
82.在一些实施例中，第一连接部13的厚度在靠近第一蒸镀开口14的方向上呈梯度减小。
83.可以理解的是，第一掩膜板1沿厚度方向具有相对的蒸镀面和玻璃面，其中玻璃面
是靠近显示装置3的一面，蒸镀面是靠近蒸镀源的一面，减薄位置是第一连接部13由玻璃面沿厚度方向向内凹陷形成。本技术实施例通过将第一连接部13的厚度设置为梯度变化，从而更有利于对沉积至第一连接部13下方区域中的阴极材料的把控，以符合实际生产需要。
84.第二方面，本技术实施例提供了一种蒸镀方法，利用前述任一实施方式的掩膜板组件蒸镀，请参阅图11和图12，蒸镀方法包括：
85.s100、提供第一基板。
86.s110、利用第一掩膜板在第一基板上形成第一图案部，第一图案部包括间隔设置的多个第一子部，第一子部位于透光区的外部且与至少一个像素开口对应设置。
87.s120、利用第二掩膜板在第一基板上形成第二图案部，第二图案部包括多个第二子部，第二子部位于透光区的外部且位于至少两个像素开口之间，且与第一子部的至少部分边缘连接，以使第一图案部与第二图案部共同形成共通层。
88.请参阅图12a，在步骤s100中，第一基板33上具有多个像素开口321，用于设置多个发光单元，以实现显示效果。
89.请参阅图12b，在步骤s110中，第一图案部34的第一子部341与第一掩膜板的第一蒸镀开口一一对应，多个第一子部341环绕设置在显示装置的透光区的外侧，一个第一子部341与至少一个像素开口321对应设置，主要用于形成发光单元。可选地，一个第一子部341与多个第一像素开口321对应设置。
90.请参阅图12c，在步骤s120中，第二图案部35的第二子部351与第二掩膜板的第二蒸镀开口一一对应，多个第二子部351主要起到信号传导作用，用于将间隔设置的多个第一子部341连接一体，第一图案部34与第二图案部35共同形成共通层。其中共通层包括但不限于空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入层以及阴极层等。
91.第三方面，本技术实施例提供了一种显示装置，包括由前述蒸镀方法制备形成的共通层。本发明实施例提供的显示装置，可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的显示装置，本发明对此不作具体限制。需要说明的是，显示装置可以为有机发光显示装置，本技术对此不做限制。
92.虽然本技术所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本技术而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本技术所属技术领域内的技术人员，在不脱离本技术所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本技术的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
93.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的其他连接方式的替换等，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本技术的保护范围之内。