真空溅镀机的卷出装置及其使用方法与流程

1.本发明涉及分卷机构技术领域，尤其涉及一种真空溅镀机的卷出装置及其使用方法。


背景技术：

2.在cof载带的生产工艺中，会涉及到溅镀工艺，将pi膜作为基材，在pi膜（聚酰亚胺薄膜）表面溅镀金属层。现有技术中，溅镀时采用的设备大多为真空溅镀机，真空溅镀机内部设有溅镀区、主动轮和被动轮，主动轮和被动轮分别位于溅镀区的左右两侧，pi膜的一端卷绕在主动轮上，pi膜的另一端卷绕在被动轮上，主动轮可以与电机连接，由电机驱动主动轮转动，被动轮内部设有转轴，转轴的两端被固定在真空溅镀机的舱壁上（也就是说，转轴是不能转动的），转轴与被动轮之间设有轴承。当主动轮转动时，可以带动被动轮转动，pi膜会连续地从被动轮移动至主动轮上，并且pi膜在移动的过程中会经过溅镀区。当进行溅镀时，金属溅镀物不仅会溅镀在pi膜的表面，有可能也会溅镀到被动轮的轴承上，久而久之，会使得被动轮内的轴承卡顿，轴承卡顿后，被动轮也将无法转动（被动轮本身是没有驱动源的，是依靠主动轮转动实现转动的），但是主动轮仍然被电机驱动而转动，这样会导致pi膜被拉紧卡住，导致无法正常输送，甚至出现pi膜损伤的情况。并且，被动轮出现无法转动的情况时，工作人员必须关闭真空溅镀机，打开真空溅镀机舱门进行检查，清理轴承表面的溅镀物或者更换轴承。而真空溅镀机关闭后再重新启动，需要预热8小时候才能正常作业，导致工作效率降低。


技术实现要素：

3.本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中真空溅镀机内的pi膜输送容易出现卡顿导致pi膜输送无法正常进行的技术问题。本发明提供一种真空溅镀机的卷出装置及其使用方法，能够减少真空溅镀机内pi膜输送出现卡顿的情况，保证pi膜能够正常传输，减少开舱门的次数，提高工作效率。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空溅镀机的卷出装置，包括：被动轮，所述被动轮的内部中空且左右贯通，转轴，所述转轴设置在所述被动轮的内部，且贯穿所述被动轮，所述转轴与所述被动轮为同轴设置；第一轴承，所述第一轴承套设在所述转轴上，且所述第一轴承位于所述被动轮的左端，所述第一轴承的外壁与所述被动轮的内壁固定连接；第二轴承，所述第二轴承套设在所述转轴上，且所述第二轴承位于所述被动轮的右端，所述第二轴承的外壁与所述被动轮的内壁固定连接；第三轴承，所述第三轴承套设在所述转轴的左端；第一轴承座，所述第一轴承座固定在真空溅镀机的内壁上，所述第三轴承安装于所述第一轴承座内部，所述第三轴承的外壁与所述第一轴承座固定连接；第四轴承，所述第四轴承套设在所述转轴的右端；第二轴承座，所述第二轴承座固定在真空溅镀机的内壁上，所述第四轴承安装于所述第二轴承座的内部，所述第四轴承的外壁与所述第二轴承座固定连接。本发明通过第三轴承和第四轴承，当第一轴承和第二轴承出现卡顿时，使
得pi膜仍然能够正常传送，既能防止pi膜被损坏，又可以提高工作效率。
5.进一步地，所述第一轴承、第二轴承、第三轴承及第四轴承均为陶瓷轴承。
6.进一步地，所述第一轴承包括第一轴承内圈、第一滚珠及第一轴承外圈，所述第一轴承外圈的内侧与所述第一轴承内圈的外侧通过所述第一滚珠连接，所述第一轴承内圈套设在所述转轴上，所述第一轴承内圈的内壁与所述转轴固定连接，所述第一轴承外圈的外壁与所述被动轮的内壁固定连接；所述第二轴承包括第二轴承内圈、第二滚珠及第二轴承外圈，所述第二轴承外圈的内侧与所述第二轴承内圈的外侧通过所述第二滚珠连接，所述第二轴承内圈套设在所述转轴上，所述第二轴承内圈的内壁与所述转轴固定连接，所述第二轴承外圈的外壁与所述被动轮的内壁固定连接。
7.进一步地，所述第一轴承座包括第一支撑座和第一固定盖，所述第一支撑座与所述第一固定盖之间可拆卸连接；所述第一支撑座具有第一容纳槽，所述第一容纳槽的侧壁上设有第一台阶面，所述第一容纳槽位于所述第一台阶面左侧的部分直径为d1，所述第一容纳槽位于所述第一台阶面右侧的部分直径为d2，d1小于d2；所述第一固定盖具有第一通孔，所述第一通孔的侧壁上设有第二台阶面，所述第一通孔位于所述第二台阶面左侧的部分直径为d3，所述第一通孔位于所述第二台阶面右侧的部分直径为d4，d3大于d4；且d2=d3，当第一支撑座与第一固定盖连接时，所述第一容纳槽位于第一台阶面右侧的部分与第一通孔位于第二台阶面左侧的部分能够拼接形成第一容置空间，所述第三轴承安装于所述第一容置空间内。
8.进一步地，所述第三轴承包括第三轴承内圈、第三滚珠及第三轴承外圈，所述第三轴承外圈的内侧与所述第三轴承内圈的外侧通过所述第三滚珠连接，所述第三轴承内圈套设在所述转轴的左端，所述第三轴承内圈的内壁与所述转轴左端固定连接，所述第三轴承外圈的外壁与所述第一容置空间的侧壁紧密贴合；所述第三轴承内圈的内径为d1，所述第三轴承外圈的外径为d2，所述转轴的左端设有第三台阶面，所述转轴位于所述第三台阶面左侧的部分直径为d3，所述转轴位于所述第三台阶面右侧的部分直径为d4，d3小于d4，且d1=d3，d2=d2=d3。
9.进一步地，所述第二轴承座包括第二支撑座和第二固定盖，所述第二支撑座与所述第二固定盖之间可拆卸连接；所述第二支撑座具有第二容纳槽，所述第二容纳槽的侧壁上设有第四台阶面，所述第二容纳槽位于所述第四台阶面右侧的部分直径为d5，所述第二容纳槽位于所述第四台阶面左侧的部分直径为d6，d5小于d6；所述第二固定盖具有第二通孔，所述第二通孔的侧壁上设有第五台阶面，所述第二通孔位于所述第五台阶面右侧的部分直径为d7，所述第二通孔位于所述第五台阶面左侧的部分直径为d8，d7大于d8；且d6=d7，当第二支撑座与第二固定盖连接时，所述第二容纳槽位于第四台阶面左侧的部分与第二通孔位于第五台阶面右侧的部分能够拼接形成第二容置空间，所述第四轴承安装于所述第二容置空间内。
10.进一步地，所述第四轴承包括第四轴承内圈、第四滚珠及第四轴承外圈，所述第四轴承外圈的内侧与所述第四轴承内圈的外侧通过所述第四滚珠连接，所述第四轴承内圈套设在所述转轴的右端，所述第四轴承内圈的内壁与所述转轴右端固定连接，所述第四轴承外圈的外壁与所述第二容置空间的侧壁紧密贴合；所述第四轴承内圈的内径为d5，所述第四轴承外圈的外径为d6，所述转轴的右端设有第六台阶面，所述转轴位于所述第六台阶面
右侧的部分直径为d7，所述转轴位于所述第六台阶面左侧的部分直径为d8，d7小于d8，且d5=d7，d6=d2=d3。
11.进一步地，还包括左防护组件和右防护组件，所述左防护组件位于所述被动轮的左端，所述右防护组件位于所述被动轮的右端；所述左防护组件包括左分离式轴承挡环和左保护罩，所述左保护罩与所述左分离式轴承挡环固定连接；所述左分离式轴承挡环套设在所述转轴上，且所述左分离式轴承挡环与所述被动轮的左端面固定连接；所述右防护组件包括右分离式轴承挡环和右保护罩，所述右保护罩与所述右分离式轴承挡环固定连接；所述右分离式轴承挡环套设在所述转轴上，且所述右分离式轴承挡环与所述被动轮的右端面固定连接。
12.进一步地，所述左保护罩为筒形，其包括第一圆形底板以及环设在所述第一圆形底板外周的第一侧壁，所述第一侧壁朝靠近所述被动轮的方向延伸，所述第一圆形底板的中心处设有第一中心孔，所述第一中心孔用于所述转轴穿过，所述第一圆形底板与所述左分离式轴承挡环固定连接；所述第一侧壁的内径大于所述被动轮的外径，当左保护罩与所述左分离式轴承挡环固定连接时，所述第一侧壁将所述被动轮的部分外表面覆盖住；所述右保护罩为筒形，其包括第二圆形底板以及环设在所述第二圆形底板外周的第二侧壁，所述第二侧壁朝靠近所述被动轮的方向延伸，所述第二圆形底板的中心处设有第二中心孔，所述第二中心孔用于所述转轴穿过，所述第二圆形底板与所述右分离式轴承挡环固定连接；所述第二侧壁的内径大于所述被动轮的外径，当右保护罩与所述右分离式轴承挡环固定连接时，所述第二侧壁将所述被动轮的部分外表面覆盖住。
13.本发明还提供一种真空溅镀机的卷出装置的使用方法，采用如上所述的真空溅镀机的卷出装置，真空溅镀机内部还设有卷取装置，卷取装置包括主动轮、主动轴和电机，主动轴贯穿主动轮，主动轴与电机的输出端连接；被动轮外表面卷绕有待溅镀的pi膜，pi膜的一端卷绕在主动轮外表面，溅镀时，主动轮由电机驱动转动，使得pi膜能够从被动轮连续地移动至主动轮上；所述真空溅镀机的卷出装置的使用方法包括以下步骤：s1：当主动轮转动时，pi膜会被连续地卷绕在主动轮外表面，使得被动轮上的pi膜逐渐向主动轮移动，pi膜的移动能够带动被动轮转动，被动轮转动后能够通过第一轴承和第二轴承带动转轴转动，转轴转动能够带动第三轴承和第四轴承转动；第一轴承座和第二轴承座被固定在真空溅镀机的舱壁上。
14.s2：当第一轴承和第二轴承出现卡顿时，使得被动轮、第一轴承、第二轴承及转轴形成为一个固定的整体；此时，主动轮转动仍然会带动被动轮转动，由于第三轴承和第四轴承的存在，转轴仍能够跟随被动轮一起转动，保证pi膜的正常传送。
15.本发明的有益效果如下：本发明的真空溅镀机的卷出装置及其使用方法，通过增加第三轴承5和第四轴承7，使得第一轴承3和第二轴承4出现卡顿时，被动轮1仍然能够转动，从而使得pi的输送和溅镀工作能够正常运行。并且，本发明能够减少打开真空溅镀机舱门的次数（打开一次就需要停机一次），提升pi膜溅镀工作的效率和产能。
附图说明
16.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
17.图1是本发明的真空溅镀机的卷出装置的结构示意图。
18.图2是本发明的第一轴承的结构示意图。
19.图3是本发明的第二轴承的结构示意图。
20.图4是本发明的第一轴承座的结构示意图。
21.图5是本发明的第二轴承座的结构示意图。
22.图6是本发明的第三轴承的结构示意图。
23.图7是本发明的第四轴承的结构示意图。
24.图8是本发明的左、右防护组件的结构示意图。
25.图9是本发明的左、右防护组件的立体图。
26.图10是本发明的左、右防护罩的结构示意图。
27.图11是本发明的真空溅镀机的卷出装置使用方法的流程图。
28.图中：1、被动轮，2、转轴，3、第一轴承，4、第二轴承，5、第三轴承，6、第一轴承座，7、第四轴承，8、第二轴承座，21、第三台阶面，22、第六台阶面，31、第一轴承内圈，32、第一滚珠，33、第一轴承外圈，41、第二轴承内圈，42、第二滚珠，43、第二轴承外圈，51、第三轴承内圈，52、第三滚珠，53、第三轴承外圈，61、第一支撑座，62、第一固定盖，611、第一容纳槽，612、第一台阶面，621、第一通孔，622、第二台阶面，63、第一容置空间，71、第四轴承内圈，72、第四滚珠，73、第四轴承外圈，81、第二支撑座，82、第二固定盖，811、第二容纳槽，812、第四台阶面，821、第二通孔，822、第五台阶面，83、第二容置空间，91、左防护组件，92、右防护组件，911、左分离式轴承挡环，912、左保护罩，921、右分离式轴承挡环，922、右保护罩，9121、第一圆形底板，9122、第一侧壁，9123、第一中心孔，9221、第二圆形底板，9222、第二侧壁，9223、第二中心孔。
具体实施方式
29.现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
30.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
31.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本
发明中的具体含义。
32.实施例一如图1至图10所示，一种真空溅镀机的卷出装置，包括：被动轮1，被动轮1的内部中空且左右贯通。转轴2，转轴2设置在被动轮1的内部，且贯穿被动轮1，转轴2与被动轮1为同轴设置。第一轴承3，第一轴承3套设在转轴2上，且第一轴承3位于被动轮1的左端，第一轴承3的外壁与被动轮1的内壁固定连接（例如是过盈配合）。第二轴承4，第二轴承4套设在转轴2上，且第二轴承4位于被动轮1的右端，第二轴承4的外壁与被动轮1的内壁固定连接（例如是过盈配合）。第三轴承5，第三轴承5套设在转轴2的左端。第一轴承座6，第一轴承座6固定在真空溅镀机的内壁上，第三轴承5安装于第一轴承座6内部，第三轴承5的外壁与第一轴承座6固定连接（例如是过盈配合）。第四轴承7，第四轴承7套设在转轴2的右端。第二轴承座8，第二轴承座8固定在真空溅镀机的内壁上，第四轴承7安装于第二轴承座8的内部，第四轴承7的外壁与第二轴承座8固定连接（例如是过盈配合）。也就是说，在本实施例中，卷出装置共有四个轴承，第一轴承3、第二轴承4、第三轴承5及第四轴承7均为陶瓷轴承。本实施例通过在转轴2的左右两端分别设置第三轴承5和第四轴承7，使得第一轴承3和第二轴承4卡顿时，转轴2仍然可以转动，从而带动被动轮1继续转动，使得pi膜的传送能够正常运行。
33.在本实施例中，第一轴承3包括第一轴承内圈31、第一滚珠32及第一轴承外圈33，第一轴承外圈33的内侧与第一轴承内圈31的外侧通过第一滚珠32连接，第一轴承内圈31套设在转轴2上，第一轴承内圈31的内壁与转轴2固定连接（例如是过盈配合），第一轴承外圈33的外壁与被动轮1的内壁固定连接（例如是过盈配合）。第二轴承4包括第二轴承内圈41、第二滚珠42及第二轴承外圈43，第二轴承外圈43的内侧与第二轴承内圈41的外侧通过第二滚珠42连接，第二轴承内圈41套设在转轴2上，第二轴承内圈41的内壁与转轴2固定连接（例如是过盈配合），第二轴承外圈43的外壁与被动轮1的内壁固定连接（例如是过盈配合）。
34.在本实施例中，第一轴承座6包括第一支撑座61和第一固定盖62，第一支撑座61与第一固定盖62之间可拆卸连接（例如可以通过螺钉连接）。第一支撑座61远离第一固定盖62所在的一端可以是固定在真空溅镀机内的舱壁上。第一支撑座61具有第一容纳槽611，第一容纳槽611的侧壁上设有第一台阶面612，第一容纳槽611位于第一台阶面612左侧的部分直径为d1，第一容纳槽611位于第一台阶面612右侧的部分直径为d2，d1小于d2。第一固定盖62具有第一通孔621，第一通孔621的侧壁上设有第二台阶面622，第一通孔621位于第二台阶面622左侧的部分直径为d3，第一通孔621位于第二台阶面622右侧的部分直径为d4，d3大于d4。且d2=d3，当第一支撑座61与第一固定盖62连接时，第一容纳槽611位于第一台阶面612右侧的部分与第一通孔621位于第二台阶面622左侧的部分能够拼接形成第一容置空间63，第三轴承5安装于第一容置空间63内。
35.在本实施例中，第三轴承5包括第三轴承内圈51、第三滚珠52及第三轴承外圈53，第三轴承外圈53的内侧与第三轴承内圈51的外侧通过第三滚珠52连接，第三轴承内圈51套设在转轴2的左端，第三轴承内圈51的内壁与转轴2左端固定连接（例如是过盈配合），第三轴承外圈53的外壁与第一容置空间63的侧壁紧密贴合（例如可以是过盈配合）。第三轴承内圈51的内径为d1，第三轴承外圈53的外径为d2，转轴2的左端设有第三台阶面21，转轴2位于第三台阶面21左侧的部分直径为d3，转轴2位于第三台阶面21右侧的部分直径为d4，d3小于d4，且d1=d3，d2=d2=d3。这样，使得转轴2的左端能够能更好地与第三轴承5连接。
36.在本实施例中，第二轴承座8包括第二支撑座81和第二固定盖82，第二支撑座81与第二固定盖82之间可拆卸连接（例如是通过螺钉连接）。第二支撑座81远离第二固定盖82的一端可以是固定在真空溅镀机内的舱壁上。第二支撑座81具有第二容纳槽811，第二容纳槽811的侧壁上设有第四台阶面812，第二容纳槽811位于第四台阶面812右侧的部分直径为d5，第二容纳槽811位于第四台阶面812左侧的部分直径为d6，d5小于d6。第二固定盖82具有第二通孔821，第二通孔821的侧壁上设有第五台阶面822，第二通孔821位于第五台阶面822右侧的部分直径为d7，第二通孔821位于第五台阶面822左侧的部分直径为d8，d7大于d8。且d6=d7，当第二支撑座81与第二固定盖82连接时，第二容纳槽811位于第四台阶面812左侧的部分与第二通孔821位于第五台阶面822右侧的部分能够拼接形成第二容置空间83，第四轴承7安装于第二容置空间83内。
37.在本实施例中，第四轴承7包括第四轴承内圈71、第四滚珠72及第四轴承外圈73，第四轴承外圈73的内侧与第四轴承内圈71的外侧通过第四滚珠72连接，第四轴承内圈71套设在转轴2的右端，第四轴承内圈71的内壁与转轴2右端固定连接（例如是过盈配合），第四轴承外圈73的外壁与第二容置空间83的侧壁紧密贴合（例如是过盈配合）。第四轴承内圈71的内径为d5，第四轴承外圈73的外径为d6，转轴2的右端设有第六台阶面22，转轴2位于第六台阶面22右侧的部分直径为d7，转轴2位于第六台阶面22左侧的部分直径为d8，d7小于d8，且d5=d7，d6=d2=d3。这样，使得转轴2的右端能够能更好地与第四轴承7连接。
38.在本实施例中，真空溅镀机的卷出装置还包括左防护组件91和右防护组件92，左防护组件91位于被动轮1的左端，右防护组件92位于被动轮1的右端。左防护组件91包括左分离式轴承挡环911和左保护罩912，左保护罩912与左分离式轴承挡环911固定连接（例如是通过螺钉连接）。左分离式轴承挡环911套设在转轴2上（左分离式轴承挡环911与转轴2表面不接触），且左分离式轴承挡环911与被动轮1的左端面固定连接（例如是通过螺钉连接）。右防护组件92包括右分离式轴承挡环921和右保护罩922，右保护罩922与右分离式轴承挡环921固定连接（例如是通过螺钉连接）。右分离式轴承挡环921套设在转轴2上（右分离式轴承挡环921与转轴2表面不接触），且右分离式轴承挡环921与被动轮1的右端面固定连接（例如是通过螺钉连接）。左分离式轴承挡环911和右分离式轴承挡环921例如可以是由两个半环形的挡环拼接组成的环形结构。左分离式轴承挡环911可以将第一轴承3进行遮挡，同时可以用于固定左保护罩912。右分离式轴承挡环921可以将第二轴承4进行遮挡，同时可以用于固定右保护罩922。左防护组件91可以对第一轴承3进行防护，右防护组件92可以对第二轴承4进行防护，减少溅镀时金属溅镀物飞溅到第一轴承3和第二轴承4处，可以减少第一轴承3和第二轴承4出现卡顿的情况，进一步保证pi膜传送能够正常运行。
39.在本实施例中，左保护罩912为筒形，其包括第一圆形底板9121以及环设在第一圆形底板9121外周的第一侧壁9122，第一侧壁9122朝靠近被动轮1的方向延伸，第一圆形底板9121的中心处设有第一中心孔9123，第一中心孔9123用于转轴2穿过，第一圆形底板9121与左分离式轴承挡环911固定连接（例如是一体成型）。第一侧壁9122的内径大于被动轮1的外径，当左保护罩912与左分离式轴承挡环911固定连接时，第一侧壁9122将被动轮1的部分外表面覆盖住，这样可以防止左保护罩912与被动轮1的左端面之间出现缝隙，进一步加强防护。右保护罩922为筒形，其包括第二圆形底板9221以及环设在第二圆形底板9221外周的第二侧壁9222，第二侧壁9222朝靠近被动轮1的方向延伸，第二圆形底板9221的中心处设有第
二中心孔9223，第二中心孔9223用于转轴2穿过，第二圆形底板9221与右分离式轴承挡环921固定连接（例如是一体成型）。第二侧壁9222的内径大于被动轮1的外径，当右保护罩922与右分离式轴承挡环921固定连接时，第二侧壁9222将被动轮1的部分外表面覆盖住，这样可以防止右保护罩922与被动轮1的右端面之间出现缝隙，进一步加强防护。
40.实施例二一种真空溅镀机的卷出装置的使用方法，采用如上的真空溅镀机的卷出装置。在本实施例中，真空溅镀机内部还设有卷取装置，卷取装置包括主动轮、主动轴和电机，主动轴贯穿主动轮，主动轴与电机的输出端连接；被动轮外表面卷绕有待溅镀的pi膜，pi膜的一端卷绕在主动轮外表面，溅镀时，主动轮由电机驱动转动，使得pi膜能够从被动轮连续地移动至主动轮上。
41.如图11所示，真空溅镀机的卷出装置的使用方法包括以下步骤：s1：当主动轮转动时，pi膜会被连续地卷绕在主动轮外表面，使得被动轮1上的pi膜逐渐向主动轮移动，pi膜的移动能够带动被动轮1转动，被动轮1转动后能够通过第一轴承3和第二轴承4带动转轴2转动，转轴2转动能够带动第三轴承5和第四轴承7转动；第一轴承座6和第二轴承座8被固定在真空溅镀机的舱壁上。
42.需要说明的是，第一轴承3和第二轴承4能够正常工作时，被动轮1转动的速度与转轴2转动的速度是不相等的。第一轴承3和第二轴承4承担了主要的实现被动轮1转动的作用。
43.s2：当第一轴承3和第二轴承4出现卡顿时，使得被动轮1、第一轴承3、第二轴承4及转轴2形成为一个固定的整体；此时，主动轮转动仍然会带动被动轮1转动，由于第三轴承5和第四轴承7的存在，转轴2仍能够跟随被动轮1一起转动，保证pi膜的正常传送。
44.需要说明的是，当第一轴承3和第二轴承4出现卡顿时，被动轮1、第一轴承3、第二轴承4及转轴2就相当于一个整体。被动轮1转动的速度与转动2转动的速度是相等的。也就是说，由于设置了第三轴承5和第四轴承7，使得转轴2的左右两端变成了活动的，当第一轴承3和第二轴承4出现卡顿时，第三轴承5和第四轴承7承担了主要的实现被动轮1转动的作用。
45.综上所述，本发明的真空溅镀机的卷出装置及其使用方法，通过增加第三轴承5和第四轴承7，使得第一轴承3和第二轴承4出现卡顿时，被动轮1仍然能够转动，从而使得pi的输送和溅镀工作能够正常运行。并且，本发明能够减少打开真空溅镀机舱门的次数（打开一次就需要停机一次），提升pi膜溅镀工作的效率和产能。
46.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要如权利要求范围来确定其技术性范围。