真空溅镀机的卷出装置及其使用方法与流程

技术特征：
1.一种真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，包括：被动轮（1），所述被动轮（1）的内部中空且左右贯通，转轴（2），所述转轴（2）设置在所述被动轮（1）的内部，且贯穿所述被动轮（1），所述转轴（2）与所述被动轮（1）为同轴设置；第一轴承（3），所述第一轴承（3）套设在所述转轴（2）上，且所述第一轴承（3）位于所述被动轮（1）的左端，所述第一轴承（3）的外壁与所述被动轮（1）的内壁固定连接；第二轴承（4），所述第二轴承（4）套设在所述转轴（2）上，且所述第二轴承（4）位于所述被动轮（1）的右端，所述第二轴承（4）的外壁与所述被动轮（1）的内壁固定连接；第三轴承（5），所述第三轴承（5）套设在所述转轴（2）的左端；第一轴承座（6），所述第一轴承座（6）固定在真空溅镀机的内壁上，所述第三轴承（5）安装于所述第一轴承座（6）内部，所述第三轴承（5）的外壁与所述第一轴承座（6）固定连接；第四轴承（7），所述第四轴承（7）套设在所述转轴（2）的右端；第二轴承座（8），所述第二轴承座（8）固定在真空溅镀机的内壁上，所述第四轴承（7）安装于所述第二轴承座（8）的内部，所述第四轴承（7）的外壁与所述第二轴承座（8）固定连接。2.如权利要求1所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第一轴承（3）、第二轴承（4）、第三轴承（5）及第四轴承（7）均为陶瓷轴承。3.如权利要求2所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第一轴承（3）包括第一轴承内圈（31）、第一滚珠（32）及第一轴承外圈（33），所述第一轴承外圈（33）的内侧与所述第一轴承内圈（31）的外侧通过所述第一滚珠（32）连接，所述第一轴承内圈（31）套设在所述转轴（2）上，所述第一轴承内圈（31）的内壁与所述转轴（2）固定连接，所述第一轴承外圈（33）的外壁与所述被动轮（1）的内壁固定连接；所述第二轴承（4）包括第二轴承内圈（41）、第二滚珠（42）及第二轴承外圈（43），所述第二轴承外圈（43）的内侧与所述第二轴承内圈（41）的外侧通过所述第二滚珠（42）连接，所述第二轴承内圈（41）套设在所述转轴（2）上，所述第二轴承内圈（41）的内壁与所述转轴（2）固定连接，所述第二轴承外圈（43）的外壁与所述被动轮（1）的内壁固定连接。4.如权利要求1所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第一轴承座（6）包括第一支撑座（61）和第一固定盖（62），所述第一支撑座（61）与所述第一固定盖（62）之间可拆卸连接；所述第一支撑座（61）具有第一容纳槽（611），所述第一容纳槽（611）的侧壁上设有第一台阶面（612），所述第一容纳槽（611）位于所述第一台阶面（612）左侧的部分直径为d1，所述第一容纳槽（611）位于所述第一台阶面（612）右侧的部分直径为d2，d1小于d2；所述第一固定盖（62）具有第一通孔（621），所述第一通孔（621）的侧壁上设有第二台阶面（622），所述第一通孔（621）位于所述第二台阶面（622）左侧的部分直径为d3，所述第一通孔（621）位于所述第二台阶面（622）右侧的部分直径为d4，d3大于d4；且d2=d3，当第一支撑座（61）与第一固定盖（62）连接时，所述第一容纳槽（611）位于第一台阶面（612）右侧的部分与第一通孔（621）位于第二台阶面（622）左侧的部分能够拼接形成第一容置空间（63），所述第三轴承（5）安装于所述第一容置空间（63）内。5.如权利要求4所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第三轴承（5）包括第三轴承内圈（51）、第三滚珠（52）及第三轴承外圈（53），所述第三轴承外圈（53）的内侧与所述第三轴承内圈（51）的外侧通过所述第三滚珠（52）连接，所述第三轴承内圈（51）套设在所
述转轴（2）的左端，所述第三轴承内圈（51）的内壁与所述转轴（2）左端固定连接，所述第三轴承外圈（53）的外壁与所述第一容置空间（63）的侧壁紧密贴合；所述第三轴承内圈（51）的内径为d1，所述第三轴承外圈（53）的外径为d2，所述转轴（2）的左端设有第三台阶面（21），所述转轴（2）位于所述第三台阶面（21）左侧的部分直径为d3，所述转轴（2）位于所述第三台阶面（21）右侧的部分直径为d4，d3小于d4，且d1=d3，d2=d2=d3。6.如权利要求1所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第二轴承座（8）包括第二支撑座（81）和第二固定盖（82），所述第二支撑座（81）与所述第二固定盖（82）之间可拆卸连接；所述第二支撑座（81）具有第二容纳槽（811），所述第二容纳槽（811）的侧壁上设有第四台阶面（812），所述第二容纳槽（811）位于所述第四台阶面（812）右侧的部分直径为d5，所述第二容纳槽（811）位于所述第四台阶面（812）左侧的部分直径为d6，d5小于d6；所述第二固定盖（82）具有第二通孔（821），所述第二通孔（821）的侧壁上设有第五台阶面（822），所述第二通孔（821）位于所述第五台阶面（822）右侧的部分直径为d7，所述第二通孔（821）位于所述第五台阶面（822）左侧的部分直径为d8，d7大于d8；且d6=d7，当第二支撑座（81）与第二固定盖（82）连接时，所述第二容纳槽（811）位于第四台阶面（812）左侧的部分与第二通孔（821）位于第五台阶面（822）右侧的部分能够拼接形成第二容置空间（83），所述第四轴承（7）安装于所述第二容置空间（83）内。7.如权利要求6所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述第四轴承（7）包括第四轴承内圈（71）、第四滚珠（72）及第四轴承外圈（73），所述第四轴承外圈（73）的内侧与所述第四轴承内圈（71）的外侧通过所述第四滚珠（72）连接，所述第四轴承内圈（71）套设在所述转轴（2）的右端，所述第四轴承内圈（71）的内壁与所述转轴（2）右端固定连接，所述第四轴承外圈（73）的外壁与所述第二容置空间（83）的侧壁紧密贴合；所述第四轴承内圈（71）的内径为d5，所述第四轴承外圈（73）的外径为d6，所述转轴（2）的右端设有第六台阶面（22），所述转轴（2）位于所述第六台阶面（22）右侧的部分直径为d7，所述转轴（2）位于所述第六台阶面（22）左侧的部分直径为d8，d7小于d8，且d5=d7，d6=d2=d3。8.如权利要求1所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，还包括左防护组件（91）和右防护组件（92），所述左防护组件（91）位于所述被动轮（1）的左端，所述右防护组件（92）位于所述被动轮（1）的右端；所述左防护组件（91）包括左分离式轴承挡环（911）和左保护罩（912），所述左保护罩（912）与所述左分离式轴承挡环（911）固定连接；所述左分离式轴承挡环（911）套设在所述转轴（2）上，且所述左分离式轴承挡环（911）与所述被动轮（1）的左端面固定连接；所述右防护组件（92）包括右分离式轴承挡环（921）和右保护罩（922），所述右保护罩（922）与所述右分离式轴承挡环（921）固定连接；所述右分离式轴承挡环（921）套设在所述转轴（2）上，且所述右分离式轴承挡环（921）与所述被动轮（1）的右端面固定连接。9.如权利要求8所述的真空溅镀机的卷出装置，其特征在于，所述左保护罩（912）为筒形，其包括第一圆形底板（9121）以及环设在所述第一圆形底板（9121）外周的第一侧壁（9122），所述第一侧壁（9122）朝靠近所述被动轮（1）的方向延伸，所述第一圆形底板（9121）的中心处设有第一中心孔（9123），所述第一中心孔（9123）用于所述转轴（2）穿过，所述第一圆形底板（9121）与所述左分离式轴承挡环（911）固定连接；所述第一侧壁（9122）的内径大于所述被动轮（1）的外径，当左保护罩（912）与所述左分离式轴承挡环（911）固定连接时，所述第一侧壁（9122）将所述被动轮（1）的部分外表面覆盖住；所述右保护罩（922）为筒形，其
包括第二圆形底板（9221）以及环设在所述第二圆形底板（9221）外周的第二侧壁（9222），所述第二侧壁（9222）朝靠近所述被动轮（1）的方向延伸，所述第二圆形底板（9221）的中心处设有第二中心孔（9223），所述第二中心孔（9223）用于所述转轴（2）穿过，所述第二圆形底板（9221）与所述右分离式轴承挡环（921）固定连接；所述第二侧壁（9222）的内径大于所述被动轮（1）的外径，当右保护罩（922）与所述右分离式轴承挡环（921）固定连接时，所述第二侧壁（9222）将所述被动轮（1）的部分外表面覆盖住。10.一种真空溅镀机的卷出装置的使用方法，其特征在于，采用如权利要求1
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9任一项所述的真空溅镀机的卷出装置，真空溅镀机内部还设有卷取装置，卷取装置包括主动轮、主动轴和电机，主动轴贯穿主动轮，主动轴与电机的输出端连接；被动轮外表面卷绕有待溅镀的pi膜，pi膜的一端卷绕在主动轮外表面，溅镀时，主动轮由电机驱动转动，使得pi膜能够从被动轮连续地移动至主动轮上；所述真空溅镀机的卷出装置的使用方法包括以下步骤：s1：当主动轮转动时，pi膜会被连续地卷绕在主动轮外表面，使得被动轮（1）上的pi膜逐渐向主动轮移动，pi膜的移动能够带动被动轮（1）转动，被动轮（1）转动后能够通过第一轴承（3）和第二轴承（4）带动转轴（2）转动，转轴（2）转动能够带动第三轴承（5）和第四轴承（7）转动；第一轴承座（6）和第二轴承座（8）被固定在真空溅镀机的舱壁上；s2：当第一轴承（3）和第二轴承（4）出现卡顿时，使得被动轮（1）、第一轴承（3）、第二轴承（4）及转轴（2）形成为一个固定的整体；此时，主动轮转动仍然会带动被动轮（1）转动，由于第三轴承（5）和第四轴承（7）的存在，转轴（2）仍能够跟随被动轮（1）一起转动，保证pi膜的正常传送。

技术总结
本发明公开了一种真空溅镀机的卷出装置，包括转轴设置在被动轮的内部，且贯穿被动轮；第一轴承套设在转轴上，且第一轴承位于被动轮的左端；第二轴承套设在转轴上，且第二轴承位于被动轮的右端；第三轴承套设在转轴的左端；第一轴承座固定在真空溅镀机的内壁上，第三轴承安装于第一轴承座内部，第三轴承的外壁与第一轴承座固定连接；第四轴承套设在转轴的右端；第二轴承座固定在真空溅镀机的内壁上，第四轴承安装于第二轴承座的内部，第四轴承的外壁与第二轴承座固定连接。利用本发明，当第一轴承和第二轴承出现卡顿时，PI膜仍然能够正常传送，既能防止PI膜被损坏，又可以提高工作效率。率。率。


技术研发人员：蔡水河 陈伟勋
受保护的技术使用者：常州欣盛半导体技术股份有限公司
技术研发日：2021.10.25
技术公布日：2021/11/24