一种可精确控制厚度的软膜复制设备的制作方法

技术特征：
1.一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的中心处固定装配有基板托盘(2)，所述基板托盘(2)的表面吸附固定有硅片(3)，所述基板托盘(2)的底部固定安装有加热板(4)，所述工作台(1)的顶部通过调节机构(5)装配有盖板(6)，所述盖板(6)的中心处开设有装配槽(7)，所述装配槽(7)内固定装配有玻璃板(8)，所述盖板(6)的底部吸附固定有工作模板(9)。2.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述基板托盘(2)的表面均匀开设有第一真空吸附槽(10)，所述第一真空吸附槽(10)与第一连接槽(11)相连通，所述工作台(1)的内腔固定安装有真空泵(12)，所述真空泵(12)的输出端通过连接管与第一连接槽(11)相连接。3.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述盖板(6)的底部位于装配槽(7)的外侧壁开设有第二真空吸附槽(13)，所述第二真空吸附槽(13)与第二连接槽(14)相连通。4.根据权利要求1所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述调节机构(5)包括与盖板(6)相螺接的调节螺杆(51)，所述调节螺杆(51)的底部插接至工作台(1)内，所述调节螺杆(51)的顶部固定安装有把手块(52)，所述调节螺杆(51)的数量为三个，三个所述调节螺杆(51)呈三角形分布。5.根据权利要求4所述的一种可精确控制厚度的软膜复制设备，其特征在于：所述调节螺杆(51)的底部插接于转动架(15)内，所述转动架(15)转动连接于工作台(1)内，所述转动架(15)的中心处开设有插槽(16)，所述转动架(15)的内腔装配有贯穿至插槽(16)内的卡块(17)，所述卡块(17)与卡槽(18)相卡接，所述卡槽(18)开设在调节螺杆(51)的底部，所述卡块(17)与转动架(15)的内腔之间固定安装有弹簧(19)。

技术总结
本实用新型公开了一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台，工作台的中心处固定装配有基板托盘，基板托盘的表面吸附固定有硅片，基板托盘的底部固定安装有加热板，工作台的顶部通过调节机构装配有盖板，盖板的中心处开设有装配槽。通过基板托盘对硅片进行吸附固定，通过盖板对工作模板进行吸附固定，可以通过加热板对基板托盘的加热，使其完成对工作模板的复制操作，通过本装置不仅可以使对工作模板的复制更加简单、方便，而且通过呈三角形设置的调节机构可以保证盖板下降过程的稳定，使其涂抹在硅片表面的复刻滴胶更加均匀的分布在硅片与工作模板之间。布在硅片与工作模板之间。布在硅片与工作模板之间。


技术研发人员：冀然
受保护的技术使用者：青岛天仁微纳科技有限责任公司
技术研发日：2021.04.01
技术公布日：2021/9/28