一种可精确控制厚度的软膜复制设备的制作方法

1.本实用新型涉及复刻设备技术领域，具体为一种可精确控制厚度的软膜复制设备。


背景技术：

2.纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术，通过纳米压印胶，将模板上的微纳结构转移到待加工基片上。通常使用电子束刻蚀等手段，在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为纳米压印模板，再以此模板进行纳米压印。模板制作制作周期较长并且制作成本昂贵，因此，为防止使用过程中模板过早的损坏，在实际生产过程中，首先需要将硅片或其他硬模板上的结构复制到工作模板上，使用用工作模板进行纳米压印生产，以提高模板使用寿命。而现有的复制设备在使用的过程中大多操作复杂，为此，我们提出一种可精确控制厚度的软膜复制设备。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种可精确控制厚度的软膜复制设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台，所述工作台的中心处固定装配有基板托盘，所述基板托盘的表面吸附固定有硅片，所述基板托盘的底部固定安装有加热板，所述工作台的顶部通过调节机构装配有盖板，所述盖板的中心处开设有装配槽，所述装配槽内固定装配有玻璃板，所述盖板的底部吸附固定有工作模板。
5.优选的，所述基板托盘的表面均匀开设有第一真空吸附槽，所述第一真空吸附槽与第一连接槽相连通，所述工作台的内腔固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端通过连接管与第一连接槽相连接。
6.优选的，所述盖板的底部位于装配槽的外侧壁开设有第二真空吸附槽，所述第二真空吸附槽与第二连接槽相连通。
7.优选的，所述调节机构包括与盖板相螺接的调节螺杆，所述调节螺杆的底部插接至工作台内，所述调节螺杆的顶部固定安装有把手块，所述调节螺杆的数量为三个，三个所述调节螺杆呈三角形分布。
8.优选的，所述调节螺杆的底部插接于转动架内，所述转动架转动连接于工作台内，所述转动架的中心处开设有插槽，所述转动架的内腔装配有贯穿至插槽内的卡块，所述卡块与卡槽相卡接，所述卡槽开设在调节螺杆的底部，所述卡块与转动架的内腔之间固定安装有弹簧。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种可精确控制厚度的软膜复制设备，设置有基板托盘，通过基板托盘对硅片进行吸附固定，通过盖板对工作模板进行吸附固定，通过调节机构可以稳定的控制盖板向下移动，从而完成硅片与工作模板相贴合后，可以
通过加热板对基板托盘的加热，使其完成对工作模板的复制操作，通过本装置不仅可以使对工作模板的复制更加简单、方便，而且通过呈三角形设置的调节机构可以保证盖板下降过程的稳定，使其涂抹在硅片表面的复刻滴胶更加均匀的分布在硅片与工作模板之间。
附图说明
10.图1为本实用新型的结构示意图。
11.图2为图1中的a处细节图。
12.图3为本实用新型的俯视图。
13.图中：1、工作台，2、基板托盘，3、硅片，4、加热板，5、调节机构，51、调节螺杆，52、把手块，6、盖板，7、装配槽，8、玻璃板，9、工作模板，10、第一真空吸附槽，11、第一连接槽，12、真空泵，13、第二真空吸附槽，14、第二连接槽，15、转动架，16、插槽，17、卡块，18、卡槽，19、弹簧。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台1，工作台1的中心处固定装配有基板托盘2，基板托盘2的表面吸附固定有硅片3，基板托盘2的底部固定安装有加热板4，基板托盘2的表面均匀开设有第一真空吸附槽10，基板托盘2的表面均匀设有与第一真空吸附槽10相连通的真空孔，第一真空吸附槽10与第一连接槽11相连通，工作台1的内腔固定安装有真空泵12，真空泵12的输出端通过连接管与第一连接槽11相连接，真空泵12电连接外部电源，真空泵12通电开启后可以通过第一真空吸附槽10对硅片3进行吸附固定，硅片3也可以为其他硬模具，加热板4电连接外部电源，通过加热板4可以对基板托盘2进行加热。
16.工作台1的顶部通过调节机构5装配有盖板6，盖板6的中心处开设有装配槽7，装配槽7内固定装配有玻璃板8，盖板6的底部吸附固定有工作模板9，盖板6的底部位于装配槽7的外侧壁开设有第二真空吸附槽13，第二真空吸附槽13与第二连接槽14相连通，盖板6的底部均匀开设有与第二真空吸附槽13相连通的真空孔，通过第二连接槽14与外部真空泵进行连接，当外部真空泵通电开启后可以使盖板6对底部的工作模板9进行吸附固定，第二连接槽14与外部真空泵之间通过软连接管连接，保证盖板6可以进行移动。
17.调节机构5包括与盖板6相螺接的调节螺杆51，调节螺杆51的底部插接至工作台1内，调节螺杆51的顶部固定安装有把手块52，调节螺杆51的数量为三个，三个调节螺杆51呈三角形分布，通过转动调节螺杆51可以调节盖板6的高度，使工作模板9与硅片3相接触，进行复刻操作，通过设置呈三角形分布的调节螺杆51保证工作模板9与硅片3的更加稳定，当工作模板9与硅片3贴合后，保证工作模板9与硅片3之间的复刻胶分布均匀。
18.调节螺杆51的底部插接于转动架15内，转动架15转动连接于工作台1内，转动架15的中心处开设有插槽16，转动架15的内腔装配有贯穿至插槽16内的卡块17，卡块17与卡槽
18相卡接，卡槽18开设在调节螺杆51的底部，卡块17与转动架15的内腔之间固定安装有弹簧19，通过设置转动架15使调节螺杆51的转动更加流畅，方便调节螺杆51与工作台1进行装配，通过弹簧19所产生的弹力，使卡块17插接至卡槽18内，对调节螺杆51的位置进行限定。
19.工作原理：在使用的过程中，通过转动调节螺杆51，使盖板6向上移动，然后分别将硅片3吸附固定于基板托盘2的表面，将工作模板9吸附固定于盖板6的底部，将适量的模板复刻胶滴入到硅片3的中心处，通过转动调节螺杆51使盖板6缓慢下降，调节螺杆51的下降高度一致，直至工作模板9与硅片3相接触后，复刻胶铺满硅片3的表面，然后开启加热板4对基板托盘2进行加热，使复刻胶固化后脱模，完成对工作模具9的复制。
20.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
21.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。