一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。


背景技术：

2.在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，显影的基本过程是：对准曝光(光刻机)
→
曝光后烘
→
显影
→
坚膜
→
显影检测。
3.而匀胶显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23度左右，因此对匀胶显影机中冷板的温度检测精准度要求很高，而目前的匀胶显影机中冷板的温度检测是采用在冷盘背面打斜孔塞入探头的方法进行检测，如此，不仅加工成本增加，且探头塞入深度不固定导致温度感应不准确，不仅影响了冷却效果，还导致硅片的废品率提高，无法满足市场需求。


技术实现要素：

4.为了克服上述技术缺陷，本实用新型的目的是提供一种结构简单，所需成本低，温度感应精准，不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。
5.为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
6.一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括底板、分别相对应固定设于所述底板两侧的侧板，固定设于所述底板上并位于两所述侧板之间的主控制基座和连接板，所述底板上固定设有冷板底座，冷板底座内设有冷板和散热块，所述冷板和散热块经盖板固定设于所述冷板底座内，所述冷板上设有多个可调节定位的硅片定位块和顶孔，所述冷板的底部设有温感压块和均匀分布并依次电性连接的制冷片，温感压块内设有用于检测感应所述冷板温度的温感探头，所述主控制基座上固定安装有气缸和温控控制电路板，气缸的伸缩杆上连接有支架连接块，支架连接块的一端固定设有顶杆并位于所述冷板底座内，顶杆的一端穿过所述散热块并设于所述顶孔内。
7.进一步的，所述冷板的底部还固定设有开关，所述温控控制电路板分别电性连接于开关和所述制冷片。
8.进一步的，所述温感压块上还设有用于安装所述温感探头的安装孔。
9.进一步的，所述散热块包括第一散热块、第二散热块和循环冷却水管，第一散热块和第二散热块之间固定连接，循环冷却水管卡设于第一散热块和第二散热块之间。
10.进一步的，所述第二散热块上设有限位凹槽，所述循环冷却水管经限位凹槽卡设于所述第二散热块上。
11.进一步的，两所述侧板的内侧壁上分别对应设有限位块。
12.进一步的，所述冷板底座分别经所述限位块固定设于所述底板上。
13.进一步的，所述主控制基座上还固定设有防尘盖。
14.综上所述，本实用新型的优点是：该冷却装置，将温控探头设于设有安装孔的温感
压块内，并通过温感压块固定设于冷板底部的进行固定安装，其改变了现有技术直接将探头在冷板背面打斜孔塞入的方法进行固定的安装方式，其不仅简化了工艺，降低成本，且温控探头能更精确的感应冷板整体温度变化，此外，散热块包括第一散热块和第二散热块，能够极大地降低制造成本，将循环冷却水管夹在两散热块之间，保证散热效果，且在循环冷却水管与限位凹槽的间隙用锡水进行填充，不仅能够对循环冷却水管起到稳固作用，还能加强循环冷却水管与散热块的整体性，加大循环冷却水管的有效散热面积，保证良好的散热效果。从而保证硅片生产质量，此外，在冷板上用于硅片定位的硅片定位块是可根据生产硅片的实际大小来调节的，能够满足市场的需求。
附图说明
15.图1是本实用新型一实施例的结构示意图；
16.图2是本实用新型一实施例的爆炸结构示意图；
17.图3是本实用新型中冷板的结构示意图；
18.图4是本实用新型中冷板本体底部的结构示意图；
19.图5是本实用新型中温感压块的结构示意图；
20.图6是本实用新型中散热块的结构示意图；
21.其中，1、底板，2、侧板，3、盖板，4、冷板，401、硅片定位块，402、顶孔，403、制冷片，404、温感压块，4041、安装孔，4042、温感探头，405、开关，5、散热块，501、第一散热块，502、第二散热块，503、循环冷却水管，504、限位凹槽，6、冷板底座，7、限位块，8、主控制基座，9、气缸，10、温控控制电路板，11、支架连接块，12、顶杆，13、防尘盖，14、连接板。
具体实施方式
22.下面将结合附图以及具体实施方式对实用新型作进一步的说明：
23.如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括底板1、分别相对应固定设于所述底板两侧的侧板2，固定设于所述底板1上并位于两所述侧板2之间的主控制基座8和连接板14，所述底板1上固定设有冷板底座6，冷板底座6内设有冷板4和散热块5，所述冷板4和散热块5经盖板3固定设于所述冷板底座6内，所述冷板4上设有多个可调节定位的硅片定位块401和顶孔402，所述冷板4的底部设有温感压块404和均匀分布并依次电性连接的制冷片403，温感压块404内设有用于检测感应所述冷板4温度的温感探头4042，所述主控制基座8上固定安装有气缸9和温控控制电路板10，气缸9的伸缩杆上连接有支架连接块11，支架连接块11的一端固定设有顶杆12并位于所述冷板底座6内，顶杆12的一端穿过所述散热块5并设于所述顶孔402内。
24.其中，所述冷板4的底部还固定设有开关405，所述温控控制电路板10分别电性连接于开关405和所述制冷片403。
25.其中，所述温感压块404上还设有用于安装所述温感探头4042的安装孔4041。
26.其中，所述散热块5包括第一散热块501、第二散热块502和循环冷却水管503，第一散热块501和第二散热块502之间固定连接，循环冷却水管503卡设于第一散热块501和第二散热块502之间。
27.其中，所述第二散热块502上设有限位凹槽504，所述循环冷却水管503经限位凹槽
504卡设于所述第二散热块502上。
28.其中，两所述侧板2的内侧壁上分别对应设有限位块7。
29.其中，所述冷板底座6分别经所述限位块7固定设于所述底板1上。
30.其中，所述主控制基座8上还固定设有防尘盖13。
31.该冷却装置，将温控探头4042设于设有安装孔4041的温感压块404内，并通过温感压块404固定设于冷板4底部的进行固定安装，其改变了现有技术直接将探头在冷板背面打斜孔塞入的方法进行固定的安装方式，其不仅简化了工艺，降低成本，且温控探头4042能更精确的感应冷板4整体温度变化。
32.此外，散热块5包括第一散热块501和第二散热块502，能够极大地降低制造成本，将循环冷却水管503夹在两散热块之间，保证散热效果，且在循环冷却水管503与限位凹槽504的间隙用锡水进行填充，不仅能够对循环冷却水管503起到稳固作用，还能加强循环冷却水管503与散热块5的整体性，加大循环冷却水管503的有效散热面积，保证良好的散热效果。从而保证硅片生产质量。
33.此外，在冷板4上用于硅片定位的硅片定位块401是可根据生产硅片的实际大小来调节的，能够满足市场的需求。
34.综上所述，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。
35.对于本领域的技术人员来说，可根据以上技术方案以及构思，做出其他各种相应的改变以及变形，而所有的这些改变和变形都应该属于本发明权利要求的保护范围之内。