一种高温高真空退火炉的制作方法

技术特征：
1.一种高温高真空退火炉，其特征在于：包括进样室组件(1)、退火室组件(2)及抽真空组件，其中抽真空组件包括离子泵(3)、分子泵(7)及机械泵(8)，所述进样室组件(1)包括进样室腔体(25)、样品库(27)及手动传递杆机械手(29)，所述退火室组件(2)包括退火室腔体(15)、上加热器(16)及下加热器(21)，所述离子泵(3)、退火室腔体(15)、进样室腔体(25)及分子泵(7)依次连接，该分子泵(7)与所述机械泵(8)通过管路相连，所述离子泵(3)与退火室腔体(15)之间、退火室腔体(15)与进样室腔体(25)之间以及进样室腔体(25)与分子泵(7)之间均设置有插板阀；所述退火室腔体(15)内设有固定的上加热器(16)及可上下升降的下加热器(21)，所述进样室腔体(25)内设有可上下升降的多层样品库(27)，该进样室腔体(25)的一侧安装有用于在进样室腔体(25)与退火室腔体(15)之间移动退火样品的手动传递杆机械手(29)。2.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述上加热器(16)包括上壳体、热屏蔽层(19)及石墨加热片(20)，该上壳体连接于所述退火室腔体(15)顶部安装的退火室上法兰(30)上，所述上壳体内设有热屏蔽层(19)，该热屏蔽层(19)内部安装有石墨加热片(20)；所述热屏蔽层(19)外部的上壳体由内至外分为相互独立的保温壳层(18)及水冷壳层(17)，该保温壳层(18)连通有放气管(32)，所述水冷壳层(17)分别连通有进水管(33)及出水管(34)。3.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述下加热器(21)通过第一焊接波纹管升降机构(23)驱动上下升降，该下加热器(21)包括下壳体、热屏蔽层(19)及石墨加热片(20)，所述下壳体与第一焊接波纹管升降机构(23)相连，该下壳体内设有热屏蔽层(19)，所述热屏蔽层(19)内部安装有石墨加热片(20)；所述热屏蔽层(19)外部的下壳体由内至外分为相互独立的保温壳层(18)及水冷壳层(17)，该保温壳层(18)连通有放气管(32)，所述水冷壳层(17)分别连通有进水管(33)及出水管(34)。4.根据权利要求3所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述下加热器(21)还包括全金属通气角阀(22)，该全金属通气角阀(22)安装于所述退火室腔体(15)底部连接的退火室下法兰(31)上，一端与所述退火室腔体(15)内部连通，另一端与外部气瓶或气源连通，向所述退火室腔体(15)内通入工艺气体或冷却气体。5.根据权利要求2或3所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述热屏蔽层(19)采用钽片制成，所述保温壳层(18)采用不锈钢焊接而成，该保温壳层(18)内部填充有保温石墨毡，所述水冷壳层(17)采用不锈钢焊接而成，该水冷壳层(17)内部通过进水管(33)及出水管(34)通过入循环冷却水。6.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述退火室腔体(15)上分别安装有挡板观察窗(24)及用于测量真空度的真空规，所述进样室腔体(25)上安装有用于测量真空度的真空规。7.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述下加热器(21)通过第一焊接波纹管升降机构(23)驱动上下升降，该第一焊接波纹管升降机构(23)包括升降电机、支架、丝杠、丝母、波纹管及连接管，波纹管下端的刀口法兰固定于基础上，所述升降电机通过支架安装在波纹管下端的刀口法兰上，该升降电机的输出端连接有所述丝杠，所述丝母与丝杠螺纹连接，该丝母与波纹管上端的刀口法兰相连；所述连接管的一端与波纹管上端的刀口法兰相连，另一端穿入所述退火室腔体(15)内，并与所述下加热器(21)连接。
8.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述样品库(27)通过第二焊接波纹管升降机构(26)驱动上下升降，该第二焊接波纹管升降机构(26)包括升降电机、支架、丝杠、丝母、波纹管及连接管，波纹管上端的刀口法兰固定于基础上，所述升降电机通过支架安装在波纹管上端的刀口法兰上，该升降电机的输出端连接有所述丝杠，所述丝母与丝杠螺纹连接，该丝母与波纹管下端的刀口法兰相连；所述连接管的一端与波纹管下端的刀口法兰相连，另一端穿入所述进样室腔体(25)内，并与所述样品库(27)连接。9.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：所述抽真空组件还包括角阀(11)及电磁隔断阀(13)，该角阀(11)安装于所述进样室腔体(25)上，并通过管路与所述机械泵(8)连接；所述电磁隔断阀(13)的一端安装于分子泵(7)上，另一端通过管路与所述机械泵(8)连接。10.根据权利要求1所述的高温高真空退火炉，其特征在于：每层所述样品库(27)上均设有钼样品托(28)。

技术总结
本发明涉及真空镀膜实验设备，具体地说是一种高温高真空退火炉，离子泵、退火室腔体、进样室腔体及分子泵依次连接，分子泵与机械泵通过管路相连，离子泵与退火室腔体之间、退火室腔体与进样室腔体之间以及进样室腔体与分子泵之间均设置有插板阀；退火室腔体内设有固定的上加热器及可上下升降的下加热器，进样室腔体内设有可上下升降的多层样品库，进样室腔体的一侧安装有手动传递杆机械手。本发明可在真空条件下快速和退火室完成样品交换，保证退火室一直处于高真空状态。本发明的高温高真空退火炉，退火室的冷态极限真空度可达到10-8


技术研发人员：白印 马锦 李昌龙
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
技术研发日：2020.03.19
技术公布日：2021/10/11