光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置的制作方法

技术特征：
1.一种光波导元件，具备：基板；在所述基板形成的光波导；及控制在所述光波导中传播的光波的电极，其特征在于，所述光波导与所述电极具有相互交叉的交叉部，在所述交叉部处，所述电极形成包含由金属材料构成的多个金属层的多层结构，在所述电极与所述基板之间形成有由树脂材料构成的树脂层。2.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，在所述电极的所述多层结构中，构成为除了最接近所述基板的所述金属层即最下层之外的所述金属层的至少一个层比所述最下层厚。3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其中，所述树脂层形成为沿所述光波导的波导方向的长度比相邻的所述金属层的沿所述光波导的波导方向的长度长。4.根据权利要求3所述的光波导元件，其中，所述树脂层构成为未形成所述相邻的所述金属层的部分的沿所述光波导的波导方向的长度比在所述光波导中传播的光的波长长。5.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，与所述树脂层相邻的所述金属层形成为沿所述光波导的波导方向的长度等于或长于与该金属层相邻的其他的所述金属层的沿所述光波导的波导方向的长度。6.根据权利要求5所述的光波导元件，其中，与所述树脂层相邻的所述金属层构成为未形成所述其他的金属层的部分的沿所述光波导的波导方向的长度比在所述光波导中传播的光的波长长。7.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，所述树脂层形成为，在沿所述光波导的波导方向的两端部处，与该波导方向正交的方向的宽度为所述光波导的宽度以下且随着从所述交叉部分离而变窄。8.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，所述树脂层形成为其厚度在沿所述光波导的波导方向的两端部处随着从所述交叉部分离而变薄。9.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，在构成所述多层结构的所述金属层中的除了形成于最上部的所述金属层之外的至少一个所述金属层形成有狭缝。10.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，所述树脂层跨至少两个所述交叉部地形成。11.一种光调制器，其特征在于，具备：作为进行光的调制的光调制元件的权利要求1～10中任一项所述的光波导元件；收容所述光波导元件的壳体；向所述光波导元件输入光的光纤；及将所述光波导元件输出的光向所述壳体的外部引导的光纤。12.一种光调制模块，其特征在于，具备：
作为进行光的调制的光调制元件的权利要求1～10中任一项所述的光波导元件；及对所述光波导元件进行驱动的驱动电路。13.一种光发送装置，其特征在于，具备：权利要求11所述的光调制器或权利要求12所述的光调制模块；及生成用于使所述光波导元件进行调制动作的电气信号的电子电路。

技术总结
本实用新型提供一种光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置。在光波导元件中，不导致光学特性的劣化或恶化，而有效地降低在光波导与电极的交叉部处可能产生的电极金属引起的波导光的光吸收损失。在具备基板、形成于该基板的光波导、控制在光波导中传播的光波的电极的光波导元件中，光波导与电极具有相互交叉的交叉部，在交叉部处，电极形成包含由金属材料构成的多个金属层的多层结构，在电极与基板之间形成有由树脂材料构成的树脂层。基板之间形成有由树脂材料构成的树脂层。基板之间形成有由树脂材料构成的树脂层。


技术研发人员：本谷将之 菅又徹
受保护的技术使用者：住友大阪水泥股份有限公司
技术研发日：2020.11.26
技术公布日：2021/9/28