一种适用于PECVD设备制备氧化层工艺的气路传输系统的制作方法

一种适用于pecvd设备制备氧化层工艺的气路传输系统
技术领域
1.本实用新型属于管式pecvd设备制备氧化层工艺设备技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种适用于pecvd设备制备氧化层工艺的气路传输系统。


背景技术：

2.太阳能电池是一种具有光
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电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏收电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些si
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h、n
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h键，游离出来的h进一步加强了对电池的钝化。
3.随着太阳能电池的发展，展膜工艺越来越多，普通氧化层展膜工艺有笑气氧化，臭氧氧化和热氧。但传统氧化工艺展膜质量和均匀性都有缺陷，因为均匀性不好所以需要展膜厚度较大，影响电池片的成本和质量。有鉴于此，实有必要开发一种适用于pecvd设备制备氧化层工艺的气路传输系统，用以开发新的氧化层工艺。


技术实现要素：

4.本实用新型就是针对上述问题，提供一种能在沉积基体上化学吸附并反应形成沉积膜，从而能制备出较薄且均匀性、一致性好的氧化层膜的适用于pecvd设备制备氧化层工艺的气路传输系统。
5.为了实现本实用新型的上述目的，本实用新型采用如下技术方案，本实用新型包括特气气路、气源气路、反应腔和液态源瓶，反应腔尾部设置有真空泵，其特征在于：
6.所述特气气路包括源管道、第一管道、第二管道、氮气管道和氧气管道。
7.所述气源气路包括氮气气源、氧气气源和氩气气源。
8.所述氮气气源通过特气气路的氮气管道与反应腔连接；所述氧气气源通过特气气路的氧气管道与反应腔连接；所述氩气气源通过特气气路的源管道与反应腔连接，反应腔末端为真空泵。
9.所述第一管道的进口与源管道连接，第一管道的出口与液态源瓶连接；第二管道的进口与液态源瓶连接，第二管道的出口与源管道连接；第一管道和第二管道与源管道的连接点之间设置有开闭阀；第一管道和第二管道上也设置有开闭阀。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一管道和第二管道之间设置具有开闭阀的连通管道，连通管道和第一管道的连接点前端与后端均设置有开闭阀；连通管道和第二管道的连接点前端与后端也均设置有开闭阀；第二管道位于两开闭阀之间设置有分支旁路，分支旁路上设置有开闭阀，分支旁路末端与真空泵相连。
11.本实用新型的有益效果：本实用新型通过鼓泡原理利用氩气对液体源液蒸汽进行推送，可使用开闭阀对氮气、氧气、氩气及携带源气体进行脉冲控制，通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应室，在沉积基体上化学吸附并反应形成沉积膜从而制备较薄并均匀性一致性较好的氧化层膜。
12.本实用新型通过设置分支旁路，配合连通管道和真空泵，可实现惰性气体对第一管道、第二管道和源管道的吹扫，惰性气体不经过反应腔，效率高，不会影响后续工艺流程。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图。
14.图2是手动隔膜阀的图例。
15.图3是气动隔膜阀的图例。
16.附图中1为11为特气气路、12为气源气路、13为液态源瓶、14为反应腔、15为真空泵、101为手动隔膜阀、102为过滤器、103为调压阀、104为气压表、105为流量计、106为气动隔膜阀、107为气体压力传感器、108为单向阀、111为氮气气源、112为氧气气源、113为氩气气源、121为源管道、122为第一管道、123为第二管道、124为氮气管道、125为氧气管道、126为分支旁路。
具体实施方式
17.本实用新型包括特气气路11、气源气路12、反应腔14和液态源瓶13，反应腔14尾部设置有真空泵15，其特征在于：
18.所述特气气路11包括源管道121、第一管道122、第二管道123、氮气管道124和氧气管道125。
19.所述气源气路12包括氮气气源111、氧气气源112和氩气气源113。
20.所述氮气气源111通过特气气路11的氮气管道124与反应腔14连接；所述氧气气源112通过特气气路11的氧气管道125与反应腔14连接；所述氩气气源113通过特气气路11的源管道121与反应腔14连接，反应腔14末端为真空泵15。
21.所述第一管道122的进口与源管道121连接，第一管道122的出口与液态源瓶13连接；第二管道123的进口与液态源瓶13连接，第二管道123的出口与源管道121连接；第一管道122和第二管道123与源管道121的连接点之间设置有开闭阀；第一管道122和第二管道123上也设置有开闭阀。
22.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一管道122和第二管道123之间设置具有开闭阀的连通管道，连通管道和第一管道122的连接点前端与后端均设置有开闭阀；连通管道和第二管道123的连接点前端与后端也均设置有开闭阀；第二管道123位于两开闭阀之间设置有分支旁路126，分支旁路126上设置有开闭阀，分支旁路126末端与真空泵15相连。
23.所述开闭阀为气动隔膜阀106。
24.实施例：本实用新型包括：气源气路11；特气气路12，其连接于所述气源气路11；以及液态源瓶13，其同样连接于特气气路12；以及反应腔14所述气源气路11包括有氮气气源111、氧气气源112和氩气气源113。
25.所述特气气路12包括有源管道121、第一管道122、第二管道123、氮气管道124、氧
气管道125和分支旁路126。
26.所述氮气气源111、氧气气源112和氩气气源113每路包括：手动隔膜阀101、过滤器102、调压阀103、气压表104和流量计105。
27.其中，连接顺序依次为：气源接入手动隔膜阀101，然后连接过滤器102，然后连接调压阀103，然后连接气压表104和流量计105。
28.所述源管道121包括：单向阀108、气动隔膜阀106、和流量计105。
29.其中，连接顺序依次为：氩气气源113接入单向阀108，然后连接气动隔膜阀106，然后连接流量计105。
30.所述第一管道122包括：两个气动隔膜阀106、气体压力传感器107、和流量计105。
31.管道入口连接于所述源管道121的单向阀108与气动隔膜阀106之间；管道出口连接液态源瓶13。
32.其中，连接顺序依次为：从源管道121接入气动隔膜阀106，然后连接流量计105，然后连接气动隔膜阀106；气体压力传感器107连接于流量计105之后气动隔膜阀106之前。
33.所述第二管道123包括：两个气动隔膜阀106和气体压力传感器107。
34.管道入口连接液态源瓶13，管道出口连接于所述源管道121的流量计105之后。
35.其中，连接顺序依次为：从液态源瓶13接入气动隔膜阀106，然后再连接一只气动隔膜阀106；气体压力传感器107连接于两只隔膜阀之间。
36.所述氮气管道124和氧气管道125每路包括一只气动隔膜阀106。
37.其中，两管道入口分别连接于氮气气源111和氧气气源112，出口汇流一起后，并再次与源管道121汇流连接反应腔14入口。
38.所述液态源瓶13进口与出口分别连接一只手动隔膜阀101。
39.液态源瓶13进口管道插入源瓶内液体以下靠近源瓶底部，出口位于液态源瓶内部液面上方靠近源瓶顶部。
40.所述第二管道123的分支旁路126连接于反应腔14出口真空泵。
41.其中，分支旁路126入口连接于所述第二管道123两只气动隔膜阀106之间，出口连接反应腔14出口汇入真空泵。
42.其中，所述第一管道122与所述第二管道123通过具有一只气动隔膜阀106的连通管道相互连接，连通管道的入口位于流量计105之后气动隔膜阀106之前，连通管道的出口位于两只气动隔膜阀106之间。
43.本系统采用惰性气体常来通推送前驱体气体，意为本系统工作时源管道121和氮气管道124常通。
44.首先通过气动隔膜阀控制通入用氩气对液体源液蒸汽进行推送的第一种前驱体的气体脉冲，意为第一管道122和第二管道123打开，使之与基片表面发生化学吸附，形成饱和的新表面
①
。
45.然后通过气动隔膜阀控制第一管道122和第二管道123关闭，用惰性气体净化冲洗反省室。
46.再然后通过气动隔膜阀控制通入用氧气作为第二种前驱体的气体脉冲，意为氧气管道125打开，与表面
①
发生化学反应，形成另一层新表面
②
。
47.最后通过气动隔膜阀控制惰性气体净化冲洗反省室，意为氧气管道125关闭，用惰
性气体净化冲洗反省室，准备进入下一个工艺循环。
48.可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。