描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描画数据生成方法与流程

技术特征：
1.一种描画装置，在基板上描画规定图案，其中，具有：载物台，用于载置具有多个对准标记的基板；拍摄部，对载置于所述载物台的所述基板的所述对准标记进行拍摄；数据处理部，生成描画数据；以及照射部，基于所述描画数据，向载置于所述载物台的所述基板照射光；所述数据处理部执行如下处理：数据获取处理，获取表示包含规定图案的初始描画区域的初始描画数据；第一分割处理，基于所述初始描画数据，生成表示以初始网格宽度对所述初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据；第一标记位置确定处理，基于所述拍摄部对第一基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第一基板的所述对准标记的位置；第一重新配置处理，基于所述第一基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第一网格区域；第一合成处理，根据通过所述第一重新配置处理而重新配置后的各所述第一网格区域的位置，对所述第一分割数据所表示的各所述第一网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第一描画区域的第一描画数据；第二分割处理，基于所述第一描画数据，生成表示以比所述初始网格宽度大的网格宽度对所述第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据；第二标记位置确定处理，基于所述拍摄部对第二基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第二基板的所述对准标记的位置；第二重新配置处理，基于所述第二基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第二网格区域；以及第二合成处理，根据通过所述第二重新配置处理而重新配置后的各所述第二网格区域的位置，对各所述第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。2.如权利要求1所述的描画装置，其中，所述第二分割处理包括如下处理：所述数据处理部通过以相互不同的多个事先网格宽度对所述第一描画区域进行分割，从而针对每个所述事先网格宽度，生成表示多个所述第二网格区域的各描画内容的事先分割数据，所述第二重新配置处理包括如下处理：所述数据处理部基于所述第二基板的所述对准标记的位置，从多个所述事先分割数据中选择一个事先分割数据，对所选择的所述事先分割数据所表示的各所述第二网格区域进行重新配置。3.如权利要求1或2所述的描画装置，其中，所述第二重新配置处理包括如下处理：所述数据处理部基于所述第二基板相对于所述第一基板具有的各所述对准标记间的变形，来决定所述网格宽度。4.如权利要求3所述的描画装置，其中，所述第二重新配置处理包括如下处理：所述数据处理部基于相邻的两个所述对准标记
间的变形，来决定所述网格宽度。5.如权利要求3或4所述的描画装置，其中，所述第二重新配置处理包括如下处理：所述数据处理部基于位于角部的两个所述对准标记间的变形，来决定所述网格宽度。6.一种数据处理装置，生成在基板上描画规定图案的描画装置所使用的描画数据，其中，包括：处理器；以及存储器，与所述处理器电连接，所述处理器执行如下处理：数据获取处理，获取表示包含规定图案的初始描画区域的初始描画数据；第一分割处理，基于所述初始描画数据，生成表示以初始网格宽度对所述初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据；第一标记位置确定处理，基于对第一基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第一基板的对准标记的位置；第一重新配置处理，基于所述第一基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第一网格区域；第一合成处理，根据通过所述第一重新配置处理而重新配置后的各所述第一网格区域的位置，对所述第一分割数据所表示的各所述第一网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第一描画区域的第一描画数据；第二分割处理，基于所述第一描画数据，生成表示以比所述初始网格宽度大的网格宽度对所述第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据；第二标记位置确定处理，基于对第二基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第二基板的所述对准标记的位置；第二重新配置处理，基于所述第二基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第二网格区域；以及第二合成处理，根据通过所述第二重新配置处理而重新配置后的各所述第二网格区域的位置，对各所述第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。7.一种描画方法，在基板上描画规定图案，其中，所述描画方法包括如下处理：数据获取处理，获取表示包含规定图案的初始描画区域的初始描画数据；第一分割处理，基于所述初始描画数据，生成表示以初始网格宽度对所述初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据；第一标记位置确定处理，基于对第一基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第一基板的对准标记的位置；第一重新配置处理，基于所述第一基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第一网格区域；
第一合成处理，根据通过所述第一重新配置处理而重新配置后的各所述第一网格区域的位置，对所述第一分割数据所表示的各所述第一网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第一描画区域的第一描画数据；第一描画处理，基于所述第一描画数据，对所述第一基板进行描画；第二分割处理，基于所述第一描画数据，生成表示以比所述初始网格宽度大的网格宽度对所述第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据；第二标记位置确定处理，基于对第二基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第二基板的对准标记的位置；第二重新配置处理，基于所述第二基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第二网格区域；第二合成处理，根据通过所述第二重新配置处理而重新配置后的各所述第二网格区域的位置，对各所述第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据；以及第二描画处理，基于所述第二描画数据，对所述第二基板进行描画。8.一种描画数据生成方法，生成在基板上描画规定图案的描画装置所使用的描画数据，其中，所述描画数据生成方法包括如下处理：数据获取处理，获取表示包含规定图案的初始描画区域的初始描画数据；第一分割处理，基于所述初始描画数据，生成表示以初始网格宽度对所述初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据；第一标记位置确定处理，基于对第一基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第一基板的对准标记的位置；第一重新配置处理，基于所述第一基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第一网格区域；第一合成处理，根据通过所述第一重新配置处理而重新配置后的各所述第一网格区域的位置，对所述第一分割数据所表示的各所述第一网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第一描画区域的第一描画数据；第二分割处理，基于所述第一描画数据，生成表示通过以比所述初始网格宽度大的网格宽度对所述第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据；第二标记位置确定处理，基于对第二基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第二基板的对准标记的位置；第二重新配置处理，基于所述第二基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第二网格区域；以及第二合成处理，根据通过所述第二重新配置处理而重新配置后的各所述第二网格区域的位置，对各所述第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。

技术总结
数据处理装置生成表示以初始网格宽度对初始描画数据所表示的初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据，基于第一基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第一网格区域的位置，对各第一网格区域的描画内容进行合成，生成第一描画数据。数据处理装置生成表示以比初始网格宽度大的网格宽度对第一描画数据所表示的第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据，基于第二基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第二网格区域的位置，对各第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。第二描画数据。第二描画数据。


技术研发人员：鉈落信也 八坂智 增田胜太 中津智史
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.03.18
技术公布日：2021/9/27