一种新能源电力元件表面镀覆装置的制作方法

1.本发明涉及新能源机械技术领域，具体为一种新能源电力元件表面镀覆装置。


背景技术：

2.镀覆又称为镀膜，镀膜指在基材上形成从数纳米到数微米的材料层，材料可以是金属材料、半导体材料以及氧化物氟化物等化合物材料，镀膜的工艺可以最简略的分为化学工艺及物理工艺，化学方法通常是液态或者气态的前体材料经过在固体表面的化学反应，沉积一层固体材料层，物理工艺一般是使用机械的、机电的、热力的方法来产生形成固态薄膜。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射以及pld激光溅射沉积等很多种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。


技术实现要素：

3.（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本发明提供了一种新能源电力元件表面镀覆装置，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。
4.（二）技术方案为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种新能源电力元件表面镀覆装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有罐体，所述罐体表面的上方位置固定连接有抽真空设备，所述罐体内侧面的顶部固定连接有轰击机构，所述轰击机构表面的上方位置固定连接有降尘机构，所述罐体内侧面的底部固定连接有搅拌机构，所述搅拌机构的顶部固定连接有混合机构，所述轰击机构包括连接壁，所述连接壁内侧面的底部固定连接有负压器，所述负压器内侧面的底部固定连接有出风壁，通过设计轰击机构解决了如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题，罐体内部的气体通过过滤环进入连接壁后，通过出风壁回流到罐体，出风壁截面厚度不均使得气流形成定向搅动性更高的风形，使得罐体内部的气体混合地更加充分，电器元件表面镀膜地更加均匀；所述降尘机构包括过滤环，所述过滤环的内侧面与连接壁表面的上方位置固定连接，所述过滤环的表面固定连接有降尘壁，所述降尘壁的内部开设有曲线槽，通过设计降尘机构解决了罐体内部气体中混合的灰尘杂质容易导致电器元件表面出现明显颗粒的问题，灰尘颗粒随着保护气体从进风口进入曲线槽，由于曲线槽的特殊形状，配合振动器降低灰尘的运动速度，使得灰尘沉降在曲线槽的内部，冷却管造成的温差提高了灰尘的沉降速率。
5.优选的，所述连接壁内侧面的中部位置固定连接有轰击枪，所述连接壁的底部固定连接有渗透壁，所述渗透壁的顶部固定连接有靶材，所述靶材的表面固定连接有厚度检测器。
6.优选的，所述降尘壁远离连接壁一端的下方位置固定连接有进风口，所述降尘壁
的顶部固定连接有振动器，所述降尘壁的数量为若干个，且每两个降尘壁之间的位置固定连接有冷却管。
7.优选的，所述搅拌机构包括通气管和气控阀，所述通气管的顶部固定连接有机构壁，所述气控阀的底部与罐体内侧面的底部固定连接，通过设计搅拌机构解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌的问题，不同的保护气体相互混合后输送难以保证气体的浓度，在该装置中，通过设置若干个不同的通气管，通气管内部通入不同的保护气体，再通过气控阀、搅拌叶以及负压器等机构的配合使用，达到混合保护气体以及镀膜材料的目的。
8.优选的，所述机构壁的表面固定连接有喷头，所述机构壁的内侧面固定连接有搅拌叶，所述搅拌叶远离机构壁的一端与混合机构的底部固定连接。
9.优选的，所述混合机构包括台体，所述台体的表面开设有孔，所述台体内侧面的下方位置固定连接有弹性网，所述弹性网表面的中部位置固定连接推动体，通过搅拌机构、混合机构、轰击机构以及降尘机构等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。
10.优选的，所述推动体的底端与气控阀的底部固定连接，所述推动体表面的下方位置与搅拌叶远离机构壁的一端固定连接，所述推动体表面的上方位置滑动连接有温度检测器，通过设计混合机构解决了被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜的问题，电器元件放置在弹性网上，气控阀通过控制推动体的运动，从而控制弹性网上电器元件的非规则运动，混合叶的旋转搅动电器元件，使得元件与空气中均匀的靶材蒸发离子相接触，温度检测器的输出端与轰击枪的输入端电性连接，为避免出现元件表面过烧的问题，及时停止轰击枪作业。
11.优选的，所述温度检测器表面的上方位置固定连接有限位片，所述限位片远离温度检测器的一端与台体的顶部固定连接，所述限位片的底部固定连接有转动器，所述转动器的输出端固定连接有混合叶。
12.（三）有益效果本发明提供了一种新能源电力元件表面镀覆装置。具备以下有益效果：（1）、该新能源电力元件表面镀覆装置，通过搅拌机构、混合机构、轰击机构以及降尘机构等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。
13.（2）、该新能源电力元件表面镀覆装置，通过设计搅拌机构解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌的问题，不同的保护气体相互混合后输送难以保证气体的浓度，在该装置中，通过设置若干个不同的通气管，通气管内部通入不同的保护气体，再通过气控阀、搅拌叶以及负压器等机构的配合使用，达到混合保护气体以及镀膜材料的目的。
14.（3）、该新能源电力元件表面镀覆装置，通过设计混合机构解决了被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜的问题，电器元件放置在弹性网上，气控阀通过控制推动体的运动，从而控制弹性网上电器元件的非规则运动，混合叶的旋转搅动电器元件，使得元件与空气中均匀的靶材蒸发离子相接触，温度检测器的输出端与轰击枪的输入端电性连
接，为避免出现元件表面过烧的问题，及时停止轰击枪作业。
15.（4）、该新能源电力元件表面镀覆装置，通过设计轰击机构解决了如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题，罐体内部的气体通过过滤环进入连接壁后，通过出风壁回流到罐体，出风壁截面厚度不均使得气流形成定向搅动性更高的风形，使得罐体内部的气体混合地更加充分，电器元件表面镀膜地更加均匀。
16.（5）、该新能源电力元件表面镀覆装置，通过设计降尘机构解决了罐体内部气体中混合的灰尘杂质容易导致电器元件表面出现明显颗粒的问题，灰尘颗粒随着保护气体从进风口进入曲线槽，由于曲线槽的特殊形状，配合振动器降低灰尘的运动速度，使得灰尘沉降在曲线槽的内部，冷却管造成的温差提高了灰尘的沉降速率。
附图说明
17.图1为本发明整体的结构示意图；图2为本发明内部的结构示意图；图3为本发明轰击机构的结构示意图；图4为本发明降尘机构的结构示意图；图5为本发明搅拌机构的结构示意图；图6为本发明混合机构的结构示意图。
18.图中：1、底座；2、罐体；3、抽真空设备；4、轰击机构；41、连接壁；42、负压器；43、出风壁；44、轰击枪；45、渗透壁；46、靶材；47、厚度检测器；5、降尘机构；51、过滤环；52、降尘壁；53、曲线槽；54、进风口；55、振动器；56、冷却管；6、搅拌机构；61、通气管；62、机构壁；63、喷头；64、气控阀；65、搅拌叶；7、混合机构；71、台体；72、弹性网；73、推动体；74、温度检测器；75、限位片；76、转动器；77、混合叶。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.如图1
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6所示，本发明提供一种技术方案：一种新能源电力元件表面镀覆装置，包括底座1，底座1的顶部固定连接有罐体2，罐体2表面的上方位置固定连接有抽真空设备3，罐体2内侧面的顶部固定连接有轰击机构4，轰击机构4表面的上方位置固定连接有降尘机构5，罐体2内侧面的底部固定连接有搅拌机构6，搅拌机构6包括通气管61和气控阀64，通气管61的顶部固定连接有机构壁62，机构壁62的表面固定连接有喷头63，机构壁62的内侧面固定连接有搅拌叶65，搅拌叶65远离机构壁62的一端与混合机构7的底部固定连接，气控阀64的底部与罐体2内侧面的底部固定连接，搅拌机构6的顶部固定连接有混合机构7，混合机构7包括台体71，台体71的表面开设有孔，台体71内侧面的下方位置固定连接有弹性网72，弹性网72表面的中部位置固定连接推动体73，推动体73的底端与气控阀64的底部固定连接，推动体73表面的下方位置与搅拌叶65远离机构壁62的一端固定连接，推动体73表面的上方位置滑动连接有温度检测器74，温度检测器74表面的上方位置固定连接有限位片75，
限位片75远离温度检测器74的一端与台体71的顶部固定连接，限位片75的底部固定连接有转动器76，转动器76的输出端固定连接有混合叶77，轰击机构4包括连接壁41。
21.当罐体2内部的气体通过过滤环51进入连接壁41后，通过出风壁43回流到罐体2，出风壁43截面厚度不均使得气流形成定向搅动性更高的风形，使得罐体2内部的气体混合地更加充分，电器元件表面镀膜地更加均匀，通过设计降尘机构5解决了罐体2内部气体中混合的灰尘杂质容易导致电器元件表面出现明显颗粒的问题，连接壁41内侧面的中部位置固定连接有轰击枪44，连接壁41的底部固定连接有渗透壁45，渗透壁45的顶部固定连接有靶材46，靶材46的表面固定连接有厚度检测器47，连接壁41内侧面的底部固定连接有负压器42，负压器42内侧面的底部固定连接有出风壁43；通过搅拌机构6、混合机构7、轰击机构4以及降尘机构5等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材46蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题，降尘机构5包括过滤环51，过滤环51的内侧面与连接壁41表面的上方位置固定连接，过滤环51的表面固定连接有降尘壁52，降尘壁52远离连接壁41一端的下方位置固定连接有进风口54，降尘壁52的顶部固定连接有振动器55，降尘壁52的数量为若干个，且每两个降尘壁52之间的位置固定连接有冷却管56，降尘壁52的内部开设有曲线槽53。
22.使用时：该新能源电力元件表面镀覆装置通过搅拌机构6、混合机构7、轰击机构4以及降尘机构5等机构的配合使用，解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌，被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜，如何使得靶材46蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。
23.首先，不同的保护气体相互混合后输送难以保证气体的浓度，在该装置中，通过设置若干个不同的通气管61，通气管61内部通入不同的保护气体，再通过气控阀64、搅拌叶65以及负压器42等机构的配合使用，达到混合保护气体以及镀膜材料的目的，电器元件放置在弹性网72上，气控阀64通过控制推动体73的运动，从而控制弹性网72上电器元件的非规则运动，混合叶77的旋转搅动电器元件，使得元件与空气中均匀的靶材46蒸发离子相接触，温度检测器74的输出端与轰击枪44的输入端电性连接，为避免出现元件表面过烧的问题，及时停止轰击枪44作业。
24.当罐体2内部的气体通过过滤环51进入连接壁41后，通过出风壁43回流到罐体2，出风壁43截面厚度不均使得气流形成定向搅动性更高的风形，使得罐体2内部的气体混合地更加充分，电器元件表面镀膜地更加均匀，通过设计降尘机构5解决了罐体2内部气体中混合的灰尘杂质容易导致电器元件表面出现明显颗粒的问题，灰尘颗粒随着保护气体从进风口54进入曲线槽53，由于曲线槽53的特殊形状，配合振动器55降低灰尘的运动速度，使得灰尘沉降在曲线槽53的内部，冷却管56造成的温差提高了灰尘的沉降速率。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
26.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。