一种钢筋撕碎用超硬刀盘及制备方法与流程

技术特征：
1.一种钢筋撕碎用超硬刀盘，其特征在于：包括基体和在基体上形成的类金刚石薄膜，所述类金刚石薄膜通过si
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o
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n三元共掺杂；所述n原子数为si、o和n原子总数量的16%
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21%。2.根据权利要求1所述的钢筋撕碎用超硬刀盘，其特征在于：所述类金刚石薄膜和基体之间设置有wc中间层。3.根据权利要求1所述的钢筋撕碎用超硬刀盘，其特征在于：所述类金刚石薄膜的厚度为1.5
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3μm。4.根据权利要求1所述的钢筋撕碎用超硬刀盘，其特征在于：所述基体为钢材。5.根据权利要求1
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4任一项所述的钢筋撕碎用超硬刀盘的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1）基体的清洗：用乙醇和去离子水分别清洗基体的表面；将经过步骤清洗的基体放入到等离子体化学气相沉积系统的腔室中，然后将腔室抽真空；在真空条件下用热丝离子源对基体用ar

进行80
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100分钟的蚀刻，电流为80
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120a，偏置电压为180
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220v，氩气流量为200
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300sccm；2)将完成步骤1）清洗的基体在乙炔、n2和六甲基二硅氧烷混合气流的环境下进行90
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150分钟沉积；沉积时腔室压力在 0.8
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1.0 pa 之间，基板温度为 300
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350℃；3）将完成步骤2）的基体在300
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500℃的温度下退火3
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5小时。6.根据权利要求5所述的钢筋撕碎用超硬刀盘的制备方法，其特征在于：所述步骤2）中在沉积时，使用频率为30
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50khz的脉冲直流电源向基体施加600
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800v的偏压，直流磁体线圈电流为2a。7.根据权利要求5所述的钢筋撕碎用超硬刀盘的制备方法，其特征在于：所述步骤2）之前完成中间层的制备，中间层的制备包括以下步骤：使用5kw直流功率的wc靶在 150
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200℃下将wc中间层磁溅射到基板上50分钟，ar作为工作气体。8.根据权利要求5所述的钢筋撕碎用超硬刀盘的制备方法，其特征在于：所述步骤2）中乙炔气体流速为200
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300 sccm；n2流速为4
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40 sccm；六甲基二硅氧烷气体流速为10
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15 sccm。

技术总结
一种钢筋撕碎用超硬刀盘，包括基体和在基体上形成的类金刚石薄膜，类金刚石薄膜通过Si


技术研发人员：林涛 李松庆 李泽 赵勇 沈湘洪 龚佳兴 杨岱璋 费望龙 刘昌林
受保护的技术使用者：长沙中金智能装备有限公司
技术研发日：2021.09.03
技术公布日：2021/10/8