1.本发明属于光学照明技术领域，具体涉及一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片。
背景技术：
2.紫外光学发展迅速，被广泛应用于军事探测、生物工程、国防科技、工业生产等各个领域中，同时也是目前杀菌消毒的重要手段。特别是《新型冠状病毒感染的肺炎诊疗方案(试行第五版)》中指出病毒对紫外线敏感，紫外线应用于杀菌消毒具有环境友好，杀菌效率高等优点，目前普遍采用辐射254nm波长的低压汞灯作为紫外杀菌灯，但254nm能穿透皮肤角质层和人眼角膜，对人体皮肤和眼睛造成伤害。近期研究表明远紫外光(光谱范围200～230nm)能够有效杀菌消毒，却不会对人的眼睛和皮肤造成伤害，这一发现迅速卷起远紫外光(光谱范围200～230nm)研究热潮。krcl准分子灯辐射出的谱带很窄(半宽度<14nm)，大部分辐射能量集中在222nm，没有基态自吸收，不含汞，是远紫外光实际应用最广的光源，所以灯的功率密度可以做到很大222nm具有良好的安全性，但是krcl准分子灯发射的光谱除了峰值波长为222nm的主波长外，还包括236nm和257nm波长附近两个强度非常小的次峰，尽管强度很低，但对应的皮肤和人眼光化学紫外伤害作用系数较大，还是会对眼睛和皮肤产生影响，因此krcl准分子灯用作人机共存的杀菌光源时，必须采用滤光片来滤除长波(230～280nm)紫外辐射。本发明提出了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，可以在200～230nm有较高的透过率，同时滤除235～265nm范围内的辐射，对于提高krcl准分体灯等远紫外光源的生物安全性，实现人机共存杀菌。
技术实现要素：
3.针对现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，远紫外光(200～230nm)透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止。
4.本发明提供的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，所述滤光片包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为jgs2石英玻璃，如图1所示，所述光学石英玻璃的远紫外光(200～230nm)透过率达80％以上。所述滤光膜采用“空气|lhlhl...hlh|基片”的26层薄膜设计。
5.具体的，h表示高折射率膜层，所述高折射率膜层采用hfo2，折射率为2.15，透明区从紫外衍射到红外(0.22～12μm)，化学、物理性能稳定，耐腐蚀性强。
6.具体的，l表示低折射率膜层，所述低折射率膜层采用sio2，折射率为1.46，透明区一直延伸到真空紫外(0.18～8μm)，光吸收很小，膜层牢固，且抗磨耐腐蚀。
7.优选地，所述hfo2的质量分数为51％～55％。
8.优选地，单层所述高折射率膜层质量分数为3.5％～5.0％，单层所述低折射率膜层质量分数为2.3％～9.7％。
9.优选地，所述高折射率膜层厚度为28～40nm，所述低折射率膜层厚度为40～55nm。
10.相比于现有技术，本发明具有以下有益效果：
11.本发明公开的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，所述滤光片在jgs2石英玻璃上采用“空气|lhlhl...hlh|基片”的26层薄膜设计，得到远紫外光(200～230nm)透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止的远紫外光高透滤光片，可以应用于krcl、krbr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。
附图说明
12.图1为光学石英玻璃紫外透过率曲线
13.图2为一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片的紫外透过率曲线
具体实施方式
14.下文将结合附图以及具体实施案例对本发明的技术方案做更进一步的详细说明。应当了解，下列实施例仅为示例性地说明和解释本发明，而不应被解释为对本发明保护范围的限制。凡基于本发明上述内容所实现的技术均涵盖在本发明旨在保护的范围内。
15.本发明提供的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，所述滤光片包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为jgs2石英玻璃，如图1所示，所述光学石英玻璃的远紫外光(200～230nm)透过率达80％以上。所述滤光膜采用“空气|lhlhl...hlh|基片”的26层薄膜设计。
16.具体的，h表示高折射率膜层，所述高折射率膜层采用hfo2；l表示低折射率膜层，所述低折射率膜层采用sio2。
17.优选地，所述hfo2的质量分数为51％～55％。
18.优选地，单层所述高折射率膜层质量分数为3.5％～5.0％，例如可以分别是3.5％、4％、4.3％、4.7％、5％等，但不限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。单层所述低折射率膜层质量分数为2.3％～9.7％，例如可以分别是2.4％、2.8％、3.2％、5.7％、7.3％、8.9％、9.5％等，但不限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19.优选地，所述高折射率膜层厚度为28～40nm，例如可以分别是28nm、32nm、36nm、38nm、40nm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。所述低折射率膜层厚度为40～55nm，例如可以分别是42nm、47nm、51nm、53nm、55nm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.具体的，涂覆hfo2高折射率膜层时，在2700℃下电子束蒸发定型；
21.具体的，涂覆sio2低折射率膜层时，在1600℃下电子束蒸发定型；
22.适用紫外
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可见分光光度计(安捷伦cary 5000)对制备得到的远紫外光(200～230nm)带通滤光片进行紫外透过率测试，所得结果如图2所示。
23.以上，对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明不限定于上述实施方式。凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述滤光片包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为jgs2石英玻璃。所述滤光膜采用“空气|lhlhl...hlh|基片”的26层薄膜设计(h表示高折射率膜层，l表示低折射率膜层)。2.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述高折射率膜层采用hfo2，所述低折射率膜层采用sio2。3.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述hfo2的质量分数为51％～55％，单层所述高折射率膜层质量分数为3.5％～5.0％，单层所述低折射率膜层质量分数为2.3％～9.7％。4.根据权利要求1所述的一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，其特征在于，所述高折射率膜层厚度为28～40nm，所述低折射率膜层厚度为40～55nm。
技术总结
本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃，所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计(H表示高折射率膜层，L表示低折射率膜层)。高折射率膜层采用HfO2，所述低折射率膜层采用SiO2。制备得到的滤光片可以在远紫外光(200～230nm)范围内透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止，可以应用于KrCl、KrBr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。存杀菌。存杀菌。
技术研发人员：徐池
受保护的技术使用者：厦门中科关爱光电研究院有限公司
技术研发日：2021.07.01
技术公布日：2021/9/24
再多了解一些
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