一种真空镀膜机腔体的水冷装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机，尤其涉及一种真空镀膜机腔体的水冷装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要通过冷却装置进行冷却，以确保设备正常工作。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种真空镀膜机腔体的水冷装置。
4.本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：
5.一种真空镀膜机腔体的水冷装置，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体的右侧有水箱，所述水箱的顶部固定连接有水泵，所述水泵的顶部中心处固定链接有第一水管，所述第一水管的左端活动连接有转盘，所述转盘的左侧活动连接有进水管，所述进水管的左端贯穿镀膜机本体的右侧靠近顶部处，并固定连接有螺旋管，所述螺旋管的外侧边缘与镀膜机本体的内腔侧壁为相互贴合设置，所述螺旋管的底部固定连接有出水管，所述出水管的右端贯穿镀膜机本体内腔右侧靠近底部处，并固定连接有制冷机，所述制冷机的右侧靠近中心处固定连接有第二水管，所述第二水管的右端与水箱的左侧靠近底部处固定连接，所述转盘的内腔设有调节机构。
6.进一步的，所述调节机构包括圆盘，所述圆盘的右侧有若干菱形板，若干所述菱形板上均开设有第一矩形开口，所述圆盘的右侧固定连接有若干第二转轴，若干所述第二转轴的右端均贯穿相邻第一矩形开口内腔，若干所述菱形板的右侧共同有圆环，所述圆环上开设有若干第二矩形开口，若干所述菱形板右侧均固定连接有第一转轴，若干所述第一转轴的右端均贯穿相邻第二矩形开口内腔。
7.进一步的，所述镀膜机本体的左侧靠近顶部和底部处均固定连接有第一固定块，两个所述第一固定块的前侧中心处均固定连接有第一齿轮，所述镀膜机本体的左侧有门板，所述门板的右侧靠近顶部和底部处均固定连接有第二固定块，两个所述第二固定块的前侧均固定连接有第二齿轮，两个所述第一齿轮均与相邻第二齿轮为相互贴合设置，两个所述第一齿轮的顶部和底部圆心处均铰接有连杆，四个所述连杆远离第一齿轮的一侧均与相邻第二齿轮铰接。
8.进一步的，所述镀膜机本体的内腔顶部中心处固定连接有固定杆，所述固定杆的
底端固定连接有横板，所述横板的底端固定连接有四个基片。
9.进一步的，所述镀膜机本体的底部中心处贯穿设有导管，所述导管的底端固定连接有真空机，所述镀膜机本体的底部靠近左右两侧处均固定连接有支撑杆。
10.相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
11.1、一种真空镀膜机腔体的水冷装置，通过第一水管、进水管、制冷机、螺旋管、圆盘、转盘、菱形板、第一转轴、第二转轴、圆环等机构之间的相互配合，可实现控制调节循环冷却水流的大小；
12.2、一种真空镀膜机腔体的水冷装置，通过门板、第一固定块、第二固定块、第一齿轮、第二齿轮、连杆等机构之间的相互配合，可实现对门板进行三百六十度的角度调节，更加方便日常使用。
13.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
14.图1为本实施例的结构示意图；
15.图2为转环局部右视图；
16.图3为连杆局部俯视图；
17.图4为图1中a处的放大图；
18.图5为图2中b处的放大图。
19.图中：1、镀膜机本体；2、水箱；3、水泵；4、第一水管；5、进水管；6、固定杆；7、横板；8、基片；9、螺旋管；10、出水管；11、制冷机；12、第二水管；13、导管；14、真空机；15、支撑杆；16、转盘；17、圆盘；18、菱形板；19、第一转轴；20、圆环；21、第二转轴；22、第一固定块；23、第二固定块；24、第一齿轮；25、第二齿轮；26、连杆；27、门板。
具体实施方式
20.下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
21.需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
22.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.请参阅图1至图5，一种真空镀膜机腔体的水冷装置，包括镀膜机本体1，镀膜机本
体1的右侧有水箱2，水箱2的顶部固定连接有水泵3，水泵3的顶部中心处固定链接有第一水管4，第一水管4的左端活动连接有转盘16，转盘16的左侧活动连接有进水管5，进水管5的左端贯穿镀膜机本体1的右侧靠近顶部处，并固定连接有螺旋管9，螺旋管9的外侧边缘与镀膜机本体1的内腔侧壁为相互贴合设置，螺旋管9的底部固定连接有出水管10，出水管10的右端贯穿镀膜机本体1内腔右侧靠近底部处，并固定连接有制冷机11，制冷机11的右侧靠近中心处固定连接有第二水管12，第二水管12的右端与水箱2的左侧靠近底部处固定连接，转盘16的内腔设有调节机构，调节机构包括圆盘17，圆盘17的右侧有若干菱形板18，若干菱形板18上均开设有第一矩形开口，圆盘17的右侧固定连接有若干第二转轴21，若干第二转轴21的右端均贯穿相邻第一矩形开口内腔，若干菱形板18的右侧共同有圆环20，圆环20上开设有若干第二矩形开口，若干菱形板18右侧均固定连接有第一转轴19，若干第一转轴19的右端均贯穿相邻第二矩形开口内腔，镀膜机本体1的左侧靠近顶部和底部处均固定连接有第一固定块22，两个第一固定块22的前侧中心处均固定连接有第一齿轮24，镀膜机本体1的左侧有门板27，门板27的右侧靠近顶部和底部处均固定连接有第二固定块23，两个第二固定块23的前侧均固定连接有第二齿轮25，两个第一齿轮24均与相邻第二齿轮25为相互贴合设置，两个第一齿轮24的顶部和底部圆心处均铰接有连杆26，四个连杆26远离第一齿轮24的一侧均与相邻第二齿轮25铰接，镀膜机本体1的内腔顶部中心处固定连接有固定杆6，固定杆6的底端固定连接有横板7，横板7的底端固定连接有四个基片8，镀膜机本体1的底部中心处贯穿设有导管13，导管13的底端固定连接有真空机14，镀膜机本体1的底部靠近左右两侧处均固定连接有支撑杆15。
24.工作原理：本实用新型首先通过启动水泵3，使得水箱2中的水通过水泵3的作用下吸入第一水管4中，之后通过转动转盘16，转盘16转动带动圆盘17转动，圆盘17转动通过若干第二转轴21带动相邻的菱形板18转动，菱形板18转动通过第一转轴19带动圆环20转动，从而使得若干菱形板18分离，因此来控制调节水流的大小，第一水管4中的水，进过转盘16流入进水管5中，进水管5中的水流入螺旋管9中，以此为若干基片8进行散热，螺旋的方式可以使得散热面积更广，散热过后的热水从螺旋管9中进入出水管10中，出水管10中的水流进制冷机11中，进行降温，之后再通过第二水管12流入水箱2中，同时门板27打开时，通过第一齿轮24和第二齿轮25的啮合作用，同时有连杆26的限位作用，使得门板27可以三百六度的方式打开，使得使用时更加便捷，其中第一齿轮24和第二齿轮25都是固定设置，使用命长。
25.上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。