一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备的制作方法

技术特征：
1.一种动态气体隔离装置，其特征在于，包括：隔离管道，包括呈间隔设置的扩张管道段以及等截面管道段，所述扩张管道段的截面宽度沿远离所述等截面管道段的方向呈逐渐增大设置，所述等截面管道段的截面宽度沿远离所述扩张管道段的方向保持不变，所述扩张管道段与所述等截面管道段之间贯设有进气口；以及，供气装置，包括高纯气源和连接管道，所述连接管道的两端分别连通至所述进气口以及所述高纯气源；其中，所述扩张管道段连通至高清洁腔内，所述等截面管道段连通至次清洁腔内。2.如权利要求1所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述隔离管道还包括设于所述等截面管道段端部的缓冲段，所述缓冲段沿远离所述等截面管道段的方向，截面宽度呈逐渐增大设置。3.如权利要求1所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述连接管道内设置有加速结构，所述加速结构用以增加所述连接管道内的气体流速。4.如权利要求3所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述连接管道包括拉瓦尔管道段，所述拉瓦尔管道段中间位置形成有一窄喉，所述拉瓦尔管道段处于所述窄喉两侧的截面直径均沿远离所述窄喉的方向呈逐渐增大设置，所述拉瓦尔管道段的两端分别连通至所述高纯气源与所述进气口处，所述拉瓦尔管道段形成所述加速结构。5.如权利要求4所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述连接管道还包括交接段，所述交接段设于所述拉瓦尔管道段与所述进气口之间，所述交接段的截面直径沿远离所述拉瓦尔管道段的方向呈逐渐增大设置。6.如权利要求5所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述交接段的内侧壁呈弧形设置。7.如权利要求1所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述进气口设置有多个，多个所述进气口沿所述隔离管道的周向间隔设置；所述供气装置对应所述进气口设置有多个。8.如权利要求7所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述进气口设置有两个，两个所述进气口沿所述隔离管道的轴线呈对称设置；所述供气装置对应所述进气口设置有两个。9.如权利要求1所述的动态气体隔离装置，其特征在于，所述隔离管道的截面呈圆形或矩形设置。10.一种极紫外光刻设备，其特征在于，包括：高清洁腔；次清洁腔，内设置有放气源；以及，动态气体隔离装置，设于所述高清洁腔与所述次清洁腔之间，所述动态气体隔离装置为如权利要求1至9中任意一项所述的动态气体隔离装置。

技术总结
本发明提供一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备，动态气体隔离装置包括隔离管道以及供气装置；隔离管道包括呈间隔设置的扩张管道段以及等截面管道段，扩张管道段的截面宽度沿远离等截面管道段的方向呈逐渐增大设置，等截面管道段的截面宽度沿远离扩张管道段的方向保持不变，扩张管道段与等截面管道段之间贯设有进气口；供气装置包括高纯气源和连接管道，连接管道的两端分别连通至进气口以及高纯气源；其中，所述扩张管道段连通至高清洁腔内，所述等截面管道段连通至次清洁腔内。等截面管道段内截面宽度不变，使得流入等截面管道段内的气流量增加，提高隔离管道的抑制效果，而无需加大气流量，且压强低，提高光束的透过率。提高光束的透过率。提高光束的透过率。


技术研发人员：孙家政 王魁波 丁金滨 吴晓斌 马翔宇 季艺雯
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2021.06.15
技术公布日：2021/9/21