一种装载超薄基板的成膜夹持装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，尤其涉及一种装载超薄基板的成膜夹持装置。


背景技术：

2.根据相关数据显示，2025年全球ftth宽带用户比例将达到59％。ftth:(fiber to the home)光纤到户，是一种光纤通信的传输方法。具体说，ftth是指将光网络单元(onu)安装在住家用户或企业用户处，是光接入系列中除fttd(光纤到桌面)外最靠近用户的光接入网应用类型。
3.市场研究公司point topic提供的数据显示，这种发展趋势将比当前水平高11％。point topic预测，到2025年底全球将有18亿固定宽带用户。而在今年第三季度，全球宽带用户总数就突破了10亿大关。目前ftth使用的滤光片厚度为0.3mm，由于光通讯器件的体积在不断的缩小，上述0.3mm滤光片已无法满足客户要求，压缩滤光片的厚度势在必行。
4.如果使用0.3mm滤光片常规的夹持装置装载基片进行成膜，0.18mm的超薄滤光片将无法成膜。主要原因是0.18mm超薄滤光片重量比0.3mm要轻3g，成膜过程中转动盘需带动夹持装置及基板进行高速旋转，由于基板重量过轻，如果使用常规夹持装置镀膜，基板会脱离，飞出转动盘，严重时会造成镀膜机损坏。
5.综上所述，研究一种成膜夹持装置，使基板在高速旋转不脱离夹持装置，是目前本领域技术人员急需解决的问题。


技术实现要素：

6.为了克服现有技术的不足，与常规夹持装置镀膜相比，本实用新型解决了装载超薄基板高速旋转时，基板会脱离夹持装置，飞出转动盘的问题，具体为一种装载超薄基板的成膜夹持装置，其能够解决前述技术问题中的至少一个。具体地，其技术方案如下：
7.一种装载超薄基板的成膜夹持装置，包括基座主件、设置在所述基座主件上的螺杆和用于放置基板的卡槽；
8.所述基板设置在所述卡槽里，所述卡槽包括第一卡件和第二卡件，所述第一卡件连接所述第二卡件；
9.所述螺杆包括至少一个可调螺杆和至少两个固定螺杆，至少两个所述固定螺杆用于将基板朝同一方向固定，至少一个所述可调螺杆用于将所述基板朝所述第一卡件和所述第二卡件固定。
10.在一个具体实施例中，所述基座主件包括基座本体和底板，所述卡槽和所述螺杆设置在所述底板上，所述底板设置在所述基座本体上，所述基座本体与镀膜机转盘进行耦合，所述基座本体的边沿设置有倒角。
11.在一个具体实施例中，所述基板设置在卡槽里，所述基板与所述底板之间有间隙。
12.在一个具体实施例中，所述间隙为0.008mm至0.12mm。
13.在一个具体实施例中，所述卡槽依次包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧，所述第一侧为所述第一卡件，所述第二侧为所述第二卡件，所述基板放置在所述卡槽里，所述螺杆包括两个所述可调螺杆和两个所述固定螺杆，所述固定螺杆分别在所述第一侧和所述第二侧固定所述基板，所述可调螺杆分别在所述第三侧和所述第四侧固定所述基板。
14.在一个具体实施例中，所述卡槽依次包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧，所述第一侧为所述第一卡件，所述第二侧为第二卡件，所述基板放置在所述卡槽里，所述螺杆包括三个所述固定螺杆和一个所述可调螺杆，所述固定螺杆分别在所述第一侧、所述第二侧和所述第三侧固定所述基板，一个所述可调螺杆在所述第四侧固定所述基板。
15.在一个具体实施例中，所述卡槽为直角卡槽，所述基板依次包括第一边、第二边、第三边和第四边，所述第一边设置在所述第一卡件里，所述第二边设置在所述第二卡件里，所述螺杆包括两个所述可调螺杆和两个所述固定螺杆，所述固定螺杆分别在所述第一卡件和所述第二卡件固定所述基板，所述可调螺杆分别在所述第三边和所述第四边固定所述基板。
16.在一个具体实施例中，所述卡槽为直角卡槽，所述基板的型状为三角形，所述基板依次包括第一边、第二边和第三边，所述第一边设置在所述第一卡件里，所述第二边设置在所述第二卡件里，所述螺杆包括两个所述固定螺杆和一个所述可调螺杆，所述固定螺杆分别在所述第一卡件和所述第一卡件固定所述基板，所述可调螺杆在所述第三边固定所述基板。
17.在一个具体实施例中，所述卡槽为圆形卡槽，所述基板为圆形。
18.在一个具体实施例中，所述第一卡件和所述第二卡件一体成型。
19.本实用新型至少具有以下有益效果：
20.本实用新型提供的一种装载超薄基板的成膜夹持装置，在装载超薄基板高速旋转时，基板不会脱离，实现了基板在高速转盘转动下进行长久且稳定的镀膜。
21.进一步的，两个固定螺杆的作用为固定同一方向的基板，使基板固定，防止基板相互间的叠加，导致崩角及刮伤。
22.进一步的，间隙的作用是防止基板与底板产生摩擦，导致的基板刮伤。
23.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
25.图1是具体实施方式中装载超薄基板的成膜夹持装置的基座本体图；
26.图2是具体实施方式中装载超薄基板的成膜夹持装置中基座本体的侧视图；
27.图3是实施例1中装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽和螺杆在底板上的示意图；
28.图4是实施例1中装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽和螺杆在底板上的侧视图；
29.图5是实施例2中装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽和螺杆的示意图；
30.图6是实施例3中装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽和螺杆的示意图；
31.图7是实施例4中装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽和螺杆在的示意图。
32.主要元件符号说明：
[0033]1‑
基座本体；2
‑
底板；3
‑
第一侧；4
‑
第二侧；5
‑
固定螺杆；6
‑
可调螺杆；7
‑
卡槽；8
‑
第三侧；9
‑
第四侧；10
‑
第一卡件；11
‑
第二卡件；12
‑
第一边；13
‑
第二边；14
‑
第三边；15
‑
第四边；16
‑
基板。
具体实施方式
[0034]
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0035]
本实用新型提供一种装载超薄基板的成膜夹持装置，包括基座主件、设置在基座主件上的螺杆和用于放置基板16的卡槽7。
[0036]
其中，基座主件包括基座本体1和底板2，在本实施例中，基座本体1为圆形，底板2为圆形，卡槽7和螺杆设置在底板2上，螺杆嵌入底板2中，底板2作用是装载超薄的基板16，底板2直径为φ200，底板2设置在基座本体1上，如图1和图2所示，图1为装载超薄基板的成膜夹持装置的基座本体1图，图2为装载超薄基板的成膜夹持装置中基座本体1的侧视图，其中，基座本体1直径为φ220，基座本体1的作用是装载底板2，在离心力的作用下，底板2承受着水平方向外力，垂直方向外力会相互抵消，基座本体1的边沿设置有倒角，倒角可让底板2不会脱离基座本体1。基座本体1与镀膜机转盘进行耦合，起到连接高速转盘和底板2的作用。
[0037]
具体地，基板16设置在卡槽7里，卡槽7包括第一卡件10和第二卡件11，第一卡件10连接第二卡件11；优选的，第一卡件10和第二卡件11一体成型。卡槽7的作用为预固定超薄的基板16。
[0038]
进一步的，基板16与底板2之间有间隙，间隙为0.008mm至0.12mm，优选的，间隙为0.1mm。间隙的作用是防止基板16与底板2产生摩擦，导致的基板16刮伤。
[0039]
具体的，螺杆包括至少一个可调螺杆6和至少两个固定螺杆5，至少两个所述固定螺杆5用于将基板16朝同一方向固定，固定螺杆5分别在第一卡件10和第二卡件11固定基板16，两个固定螺杆5的作用为固定同一方向的基板16，使基板16固定，防止基板16相互间的叠加，导致崩角及刮伤，至少一个可调螺杆6用于将基板16朝第一卡件10和第二卡件11固定，可调螺杆6最终固定基板16。本方案通过基板16的预固定，同向固定，最终固定实现基板16在底板2上的装载。本实用新型解决了装载超薄基板16高速旋转时，基板16会脱离，飞出转动盘的问题，实现了超薄的基板16在高速转盘转动下进行长久且稳定的镀膜。
[0040]
优选的，本实用新型可装载0.1
‑
0.2mm的超薄滤光片。
[0041]
实施例1
[0042]
如图3和图4所示，图3为装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽7和螺杆在底板2上的示意图，图3为装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽7和螺杆在底板2上的侧视图，本实施例提供了一种装载超薄基板的成膜夹持装置，具体技术方案如下所示：
[0043]
在图中，有阴影部分的圆为固定螺杆5，无阴影部分的圆为可调螺杆6。
[0044]
卡槽7为正方形，卡槽7依次包括第一侧3、第二侧4、第三侧8和第四侧9，第一侧3为第一卡件10，第二侧4为第二卡件11，基板16放置在卡槽7里，螺杆包括两个可调螺杆6和两个固定螺杆5，固定螺杆5分别在第一侧3和第二侧4固定基板16，可调螺杆6分别在第三侧8和第四侧9固定基板16。
[0045]
卡槽7为正方形，卡槽7依次包括第一侧3、第二侧4、第三侧8和第四侧9，第一侧3为第一卡件10，第二侧4为第二卡件11，基板16放置在卡槽7里，螺杆包括三个固定螺杆5和一个可调螺杆6，固定螺杆5分别在第一侧3、第二侧4和第三侧8固定基板16，一个可调螺杆6在第四侧9固定基板16。
[0046]
本实施例通过结合上述两种固定基板16的方式，将基板16固定在底板2上，上述两种方式的结合，使得基板16在高速运转下更加的牢固。
[0047]
本实施例1其它特征与具体实施方式相同，不再赘述。
[0048]
实施例2
[0049]
如图5所示，图5为装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽7和螺杆的示意图，本实施例提供了一种装载超薄基板的成膜夹持装置，具体技术方案如下所示：
[0050]
卡槽7为直角卡槽7，基板16依次包括第一边12、第二边13、第三边14和第四边15，第一边12设置在第一卡件10里，第二边13设置在第二卡件11里，螺杆包括两个可调螺杆6和两个固定螺杆5，固定螺杆5分别在第一卡件10和第二卡件11固定基板16，可调螺杆6分别在第三边14和第四边15固定基板16。
[0051]
本实施例2其它特征与具体实施方式相同，不再赘述。
[0052]
实施例3
[0053]
如图6所示，图6为装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽7和螺杆的示意图，本实施例提供了一种装载超薄基板的成膜夹持装置，具体技术方案如下所示：
[0054]
卡槽7为直角卡槽7，基板16的型状为三角形，基板16依次包括第一边12、第二边13和第三边14，第一边12设置在第一卡件10里，第二边13设置在第二卡件11里，螺杆包括两个固定螺杆5和一个可调螺杆6，固定螺杆5分别在第一卡件10和第一卡件10固定基板16，可调螺杆6在第三边14固定基板16。
[0055]
本实施例3其它特征与具体实施方式相同，不再赘述。
[0056]
实施例4
[0057]
如图7所示，图7为装载超薄基板的成膜夹持装置中卡槽7和螺杆的示意图，本实施例提供了一种装载超薄基板的成膜夹持装置，具体技术方案如下所示：
[0058]
卡槽7为圆形卡槽7，基板16为圆形，基板16设置在卡槽7里，在本实施例中，设置了两个固定螺杆5及一个可调螺杆6。
[0059]
本实施例4其它特征与具体实施方式相同，不再赘述。
[0060]
本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本实用新型所必须的。
[0061]
本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。
[0062]
上述本实用新型序号仅仅为了描述，不代表实施场景的优劣。
[0063]
以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施场景，但是，本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。