激光分束器的制作方法

技术特征：
1.一种激光分束器，其特征在于，包括表面具有条带图案的衍射光学元件，所述条带图案由多个单周期图案循环排布组成，每个所述单周期图案包括交替排布的多个相位基准条带和多个相位调制条带；对于相同的入射光，所述相位调制条带的输出光相对于所述相位基准条带的输出光的相位延迟为(k ρ)π，其中，k＝
±
1,
±
3,
±
5,......，ρ的取值区间为[0.12,0.25]和[
‑
0.25,
‑
0.12]。2.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1
×
7分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的设计位置依次为：0、0.2265625a、0.6484375a、0.875a和a，其中a为所述单周期图案的宽度；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在
±
1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在
±
0.004a以内。3.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1
×
7分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的归一化设计位置依次为：0、0.2109375、0.6640625、0.875和1；0、0.21875、0.65625、0.875和1；0、0.2265625、0.6484375、0.875和1；0、0.234375、0.640625、0.875和1；0、0.203125、0.65625、0.859375和1；0、0.2109375、0.6484375、0.859375和1；0、0.21875、0.640625、0.859375和1；0、0.1953125、0.6484375、0.84375和1；0、0.203125、0.640625、0.84375和1；0、0.234375、0.359375、0.59375和1；0、0.21875、0.359375、0.578125和1；0、0.234375、0.34375、0.578125和1；0、0.203125、0.359375、0.5625和1；0、0.2109375、0.3515625、0.5625和1；0、0.21875、0.34375、0.5625和1；0、0.1953125、0.3515625、0.546875和1；0、0.203125、0.34375、0.546875和1；或者0、0.2109375、0.3359375、0.546875和1；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在
±
1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在
±
0.004以内。4.根据权利要求3所述的激光分束器，其特征在于，其中k＝1，ρ的取值范围是[
‑
0.222，
‑
0.209]。5.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1
×
9分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的设计位置依次为：0、0.1953125a、0.265625a、0.453125a、0.5234375a、0.71875a和a，其中a为所述单周期图案的宽度；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差
均在
±
1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在
±
0.004a以内。6.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1
×
9分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的归一化设计位置依次为：0、0.1953125、0.28125、0.3203125、0.5546875、0.59375、0.6796875、0.875和1；0、0.1953125、0.2890625、0.328125、0.546875、0.5859375、0.6796875、0.875和1；0、0.171875、0.25、0.2890625、0.5703125、0.609375、0.6875、0.859375和1；0、0.1796875、0.2578125、0.296875、0.5625、0.6015625、0.6796875、0.859375和1；0、0.1796875、0.265625、0.3046875、0.5546875、0.59375、0.6796875、0.859375和1；0、0.0390625、0.1328125、0.328125、0.453125、0.6484375、0.7421875、0.78125和1；0、0.0390625、0.125、0.3203125、0.4453125、0.640625、0.7265625、0.765625和1；0、0.0390625、0.125、0.3046875、0.4453125、0.625、0.7109375、0.75和1；0、0.0390625、0.1171875、0.296875、0.4375、0.6171875、0.6953125、0.734375和1；0、0.0390625、0.1171875、0.2890625、0.4296875、0.6015625、0.6796875、0.71875和1；或者0、0.1953125、0.265625、0.453125、0.5234375、0.71875和1；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在
±
1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在
±
0.004以内。7.根据权利要求6所述的激光分束器，其特征在于，其中k＝1，ρ的取值区间为[
‑
0.164，
‑
0.158]。8.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1
×
13分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的设计位置依次为：0、0.1328125a、0.2265625a、0.3125a、0.359375a、0.4453125a、0.5390625a、0.671875a和a；其中a为所述单周期图案的宽度，k＝1，ρ的取值区间为[
‑
0.145，
‑
0.127]，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在
±
1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在
±
0.004a以内。9.根据权利要求1
‑
8中任一项所述的激光分束器，其特征在于，所述衍射光学元件为透射式衍射光学元件，所述相位基准条带的深度d1为0；所述相位调制条带的深度d2为：其中，λ为入射光波长，所述衍射光学元件采用同一种透光材料制造，n为所述透光材料的折射率。10.根据权利要求1
‑
8中任一项所述的激光分束器，其特征在于，所述衍射光学元件为透射式衍射光学元件，所述衍射光学元件采用第一透光材料和第二透光材料制造，所述相位基准条带的厚度和所述相位调制条带的厚度相等；其中所述第一透光材料的折射率n1和所述第二透光材料的折射率n2满足：
其中，λ为入射光波长，d为所述衍射光学元件的厚度。11.根据权利要求1
‑
8中任一项所述的激光分束器，其特征在于，所述衍射光学元件为反射式衍射光学元件，当相位基准条带的表面的深度为0时，相位调制条带的凹槽或凸台深度d3为：其中，λ为入射光波长，当深度d3为正时，相位调制条带为条带状凹槽，当深度d3为负时，相位调制条带为条带状凸台。

技术总结
本申请涉及相位基准条带一种激光分束器，其包括表面具有条带图案的衍射光学元件，所述条带图案由多个单周期图案循环排布组成，每个所述单周期图案包括交替排布的多个相位基准条带和多个相位调制条带；对于相同的入射光，所述相位调制条带的输出光相对于所述相位基准条带的输出光的相位延迟为(k ρ)π，其中，k＝


技术研发人员：刘劲松 杨尔辅
受保护的技术使用者：苏州奥谱顿光电科技有限公司
技术研发日：2020.12.30
技术公布日：2021/9/14