一种新型声光子晶体结构的制作方法

技术特征：

1.一种新型声光子晶体结构，其特征在于：包括有本体，其本体由多个结构完全一样的单胞结构规则排列构成；

每一个所述的单胞结构均包括有一方形硅(1)、一方形孔(2)和四组弹性梁(3)，所述的方形孔(2)按方形硅(1)的轮廓等比缩小的设置在方形硅(1)内部的正中间，四组所述的弹性梁(3)按十字分布设置在方形硅(1)的四条边上；

其中，每一组所述的弹性梁(3)均包括有依次连接第一直线段(31)、连接段(33)和第二直线段(32)，所述的第一直线段(31)和第二直线段(32)均沿着远离方形硅(1)的方向垂直的设置在方形硅(1)的边上，所述的第一直线段(31)和第二直线段(32)之间具有间隔且两者的末端由所述的连接段(33)相连；

所述的方形硅(1)和四组弹性梁(3)的组成材料均为硅。

2.根据权利要求1所述的一种新型声光子晶体结构，其特征在于：所述的方形硅(1)和四组弹性梁(3)所采用的硅的折射率为3.5。

3.根据权利要求2所述的一种新型声光子晶体结构，其特征在于：所述的本体的晶格常数为a，所述的方形硅(1)的边长为b，所述的方形孔(2)的边长为c，所述的弹性梁(3)的宽度为d，所述的第一直线段(31)、连接段(33)和第二直线段(32)的宽度均为f；

具体的，a＝666nm，b＝0.55a,c＝0.1a,d＝0.1a,f＝0.025a。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种新型声光子晶体结构，其特征在于：若干所述的单胞结构沿横向排列形成一结构层，所述的结构层沿纵向设置有至少两层，各所述的结构层共同组成所述的本体。

技术总结
本发明公开了一种新型声光子晶体结构，包括有本体，其本体由多个结构完全一样的单胞结构规则排列构成；每一个单胞结构均包括有一方形硅、一方形孔和四组弹性梁，方形孔按方形硅的轮廓等比缩小的设置在方形硅内部的正中间，四组所述的弹性梁按十字分布设置在方形硅的四条边上；每一组弹性梁均包括有依次连接第一直线段、连接段和第二直线段；方形硅和四组弹性梁的组成材料均为硅。本发明具有以下优点和效果：本发明的新型声光子晶体结构具有良好的双重带隙宽带特性，能通过可调控的几何参数同时获得较宽的声子与光子完全带隙，使该声光子晶体结构能更好地应用于工程领域。

技术研发人员：向家伟;马幸福
受保护的技术使用者：温州大学
技术研发日：2021.04.01
技术公布日：2021.07.02