一种磁盘装置用悬架的制作方法

一种磁盘装置用悬架
1.交叉应用(相关申请参考)
2.本技术基于2020年3月11日在日本的先前申请(专利申请2020
‑
041726)，享有记载于该先前申请中的全部事项的优先权。
技术领域
3.本发明涉及用于诸如硬盘装置等磁盘装置用悬架。


背景技术：

4.用于个人计算机等信息处理装置中的硬盘装置(hdd)包括绕主轴旋转的磁盘，绕枢轴旋转的滑架等。滑架具有致动臂，并且通过诸如音圈马达等定位马达在磁盘的轨道的宽度方向上绕枢轴旋转。
5.磁盘装置用悬架(以下简称为悬架)安装在所述致动臂上。悬架包括承载梁和与承载梁重叠配置的挠曲部。在挠曲部的前端附近形成有万向部，万向部上设有构成磁头的滑块。滑块上设置有用于读取或写入数据的访问元件(转换器)。上述承载梁、挠曲部以及滑块构成头部万向组件。
6.所述万向部具有搭载滑块的衔片和形成于衔片两侧的一对悬臂梁。所述悬臂梁均具有向挠曲部两侧的外侧突出的形状。所述两个悬臂梁的长度方向的两端部附近分别通过例如激光焊接等方式固定于承载梁上。所述两个悬臂梁均可以在厚度方向上如弹簧般弯曲，对确保衔片的万向运动起到了重要作用。
7.为了提高磁盘记录的密度，需要进一步缩小头部万向组件，并且需要进一步提高滑块在磁盘的记录表面上的定位精度。因此，在确保磁头万向组件的万向运动达到要求的基础上，需要极力减小挠曲部的摇晃。如美国专利第6967821号说明书或特开2010
‑
86630号公报中所记载，已知为了抑制挠曲部的摇晃，在悬架的一部分上设置减震材料。
8.在减小振动输入时的挠曲部的摇晃方面，抑制悬臂梁的摇晃是可能有效果的。为此，考虑在悬臂梁本身上设置减震材料。即通过将减震材料粘附于悬臂梁上，使悬臂梁和减震材料一体运动。但是，将减震材料粘附于悬臂梁上，在可抑制挠曲部的摇晃的同时，会出现挠曲部的刚度增大的问题。如果将在悬臂梁的长度方向上延伸的减震材料粘附于悬臂梁上的挠曲部与不具有减震材料的挠曲部相比较的话，由于具有减震材料的挠曲部在俯仰方向和侧倾方向的刚度增加，对万向运动来说是不优选的。


技术实现要素：

9.本发明的目的在于提供一种磁盘装置用悬架，其可以在有效抑制挠曲部的摇晃的同时，抑制挠曲部的刚度的增加。
10.根据一个实施例的磁盘用悬架，包括承载梁、挠曲部和减震材料。所述挠曲部具有搭载有滑块的衔片，和与所述衔片相连的悬臂梁，并且所述挠曲部与所述承载梁相重叠。所述减震材料粘附于所述承载梁上。所述悬臂梁具有与所述承载梁相对的臂，和从所述臂延
伸且在臂的厚度方向上折返的折返部。并且，所述折返部粘附于所述减震材料上。
11.所述承载梁例如具有第1表面，和所述第1表面相反的的第2表面，以及从所述第1表面至所述第2表面贯通的开口。所述悬臂梁设置于所述第1表面，所述减震材料粘附于所述第2表面的同时与所述开口的至少一部分重叠，所述折返部通过所述开口粘附于所述减震材料上。
12.所述臂具有与所述开口重叠的弯曲部，所述折返部可以从所述弯曲部延伸。在这种情况下，所述悬臂梁可以具有从所述承载梁的宽度方向上的两侧延伸出的一对所述折返部。
13.所述一对折返部可以并列在所述臂的宽度方向上。作为其他例，所述一对折返部可以设置于偏离所述臂的延伸方向的位置。所述折返部的前端可以具有至少一个凹部或凸部。
14.所述臂具有开口，所述折返部可以从所述臂的所述开口的内边缘延伸。
15.所述磁盘装置用悬架还可以具有设置于所述折返部和所述减震材料之间的绝缘层。在这种情况下，所述折返部可以经由所述绝缘层粘附于所述减震材料上。
16.所述挠曲部可以具有一对分别具有所述臂和所述折返部的所述悬臂梁。在这种情况下，例如所述减震材料设置于所述一对悬臂梁上，并且该减震材料彼此分离。作为其他例，所述减震材料可以具有和所述一对悬臂梁重叠的大小。
17.通过上述结构的磁盘装置用悬架，可以提供一种可以有效抑制挠曲部的摇晃的同时，提高挠曲部的刚度的磁盘装置用悬架。
附图说明
18.作为本说明一部分的附图图示了本发明的当前优选实施例，结合前述的发明概要以及以下优选实施例的详细说明，以更好地阅述本发明本质。
19.图1为磁盘装置的一例简要侧视图。
20.图2为图1所示的磁盘装置的简要剖视图。
21.图3为根据第1实施例的磁盘装置用悬架的简要侧视图。
22.图4为图3所示的悬架从滑块侧看的简要侧视图。
23.图5为图4所示的悬架的简要平面图。
24.图6为沿图5中的f6
‑
f6的悬架的简要剖视图。
25.图7为根据第1实施例的悬架的第1振动控制部和第2振动控制部的结构的简要平面图。
26.图8为沿图7中的f8
‑
f8的第1振动控制部的剖视图。
27.图9为根据对照例的悬架的简要平面图。
28.图10为具有减震材料的悬架和不具有减震材料的悬架的挠曲部的刚度示意图。
29.图11为根据第2实施例的悬架的简要平面图。
30.图12为根据第3实施例的悬架的简要平面图。
31.图13为根据第4施例的悬架的简要平面图。
32.图14为根据第4实施例的折返部的形状的一例平面图。
33.图15为根据第5实施例的悬架的简要平面图。
34.图16为根据第6实施例的悬架的简要平面图。
35.图17为根据第7实施例的悬架的简要平面图。
36.图18为沿图17中的f18
‑
f18的第1振动控制部的简要剖视图。
37.图19为根据第8实施例的悬架的简要平面图。
具体实施方式
38.以下参照附图对几个实施例进行说明。
39.第1实施例
40.图1为磁盘装置(hdd)1的一例简要侧视图。该磁盘装置1具有磁盒2，绕主轴3旋转的多个磁盘4，绕枢轴5偏转的滑架6，用于驱动滑架6的定位用马达(音圈马达)7。磁盒2通过未图示的盖密封。
41.图2为磁盘装置1的一部分的简要剖视图。如图1和图2所示，滑块6上设有多个臂(滑架臂)8。各臂8的前端部设有悬架10。各臂10的前端部上设有构成磁头的滑块11。当磁盘4高速旋转时，磁盘4和滑块11之间由于空气流入形成空气轴承。
42.当滑架6通过定位用马达7旋转时，通过悬架10沿磁盘4的直径方向的移动，滑块11可移动至磁盘4所期望的轨道。
43.图3是根据本实施例的悬架10的简要侧视图。悬架10具备固定于滑架6的臂8(如图1和图2所示)的基板20、承载梁21、和挠曲部22。基板20上形成有插入于形成于臂8的孔8a(如图2所示)的凸台20a。
44.挠曲部22延承载梁配置。承载梁21以及挠曲部22均延悬架10的长度方向延伸。以下将与长度方向x垂直的方向称为悬架10、承载梁21以及挠曲部22的宽度方向y。摇摆方向s定义为如承载梁21的前端附近的弧形箭头所示。
45.图4为从滑块11侧看悬架10的前端部的一部分的简要侧视图。承载梁21具有如图4所示的第1表面21a、如图3所示的第2表面21b。第1表面21a为设有挠曲部22的面。减震材料25可如图3所示设于第2表面21b上。
46.如图4所示，在形成磁头的滑块11的前端部上设有如mr元件的可转换磁信号和电信号的元件28。通过这些元件28，可以对磁盘4进行数据写入或读取等的访问。滑块11、承载梁21以及挠曲部22构成了磁头万向组件(head gimbal assembly)。
47.挠曲部22具有由薄不锈钢板制成的金属基底40、沿金属基底40设置的配线部41。金属基底40的厚度比承载梁21的厚度小。金属基底40的厚度优选为12～25μm，一例为20μm。承载梁21的厚度例如为30μm。配线部41的一部通过滑块11用端子41a与滑块11的元件28电连接。
48.图5为从滑块11侧看悬架10的前端部附近的简要平面图。挠曲部22具有衔片45、第1悬臂梁51和第2悬臂梁52。衔片45上搭载有滑块11。第1悬臂梁51和第2悬臂梁52在宽度方向y上设置于衔片45的两外侧。
49.第1悬臂梁51和第2悬臂梁52具有向衔片45的宽度方向的两外侧伸出的形状。衔片45、第1悬臂梁51和第2悬臂梁52均为金属基底40的一部分，通过例如蚀刻形成各自的轮廓。
50.图6为沿图5中的f6
‑
f6的悬架10的简要剖视图。在承载梁21的前端附近，形成有向衔片45突出的凹部55。凹部55有前端55a与衔惩45相接。衔片45以凹部55的前端55a为中心
摇动，可以执行所期望的万向运动。衔片45、第1悬臂梁51、第2悬臂梁52以及凹部55等构成万向部56。
51.如图4和图5所示，第1悬臂梁设于衔片45的一侧的外侧，沿挠曲部22的长度方向x延伸。第2悬臂梁52设于衔惩45的另一侧的外侧，沿挠曲部22的长度方向x延伸。
52.第1悬臂梁51具有第1基端部51a、第1基端臂51b、第1前端臂51c、和第1接续部51d。第1基端部51a通过固定部61固定于承载梁21上。第1基端臂51b从第1基端部51a向挠曲部22的前端延伸。第1前端臂51c的一端与第1基端臂51b相连，另一侧与挠曲部22的前端部22a相连。第1接续部51d连接第1基端臂51b的前端和衔片45的一侧。前端部22a通过固定部62固定于承载梁21的前端附近。固定部61、62通过例如激光点焊等方式形成。
53.第2悬臂梁52具有和第1悬臂梁51相同的形状。即，第2悬臂梁52具有第2基端部52a、第2基端臂52b、第2前端臂52c和第2接续部52d。第2基端部52a通过例如激光点焊等方式形成的固定部63，固定于承载梁21上。
54.如上所述，第1悬臂梁51的在长度方向x上的两端部通过固定部61、62支撑。并且，第2悬臂梁52的在长度方向x上的两部通过固定部62、63支撑。由此，位于第1悬臂梁51的固定部61、62之间的部分和位于第2悬臂梁52的固定部62、63之间的部分可以在金属基底40的厚度方向上弯曲。由此，衔片45可以通过第可以通过第1悬臂梁51和第2悬臂梁52被弹性支撑，以凹部55为支点摇动。
55.万向部56上搭载有第1微驱动元件65和第2微驱动元件66。这些微驱动元件65、66分别由压电材料制成，设于宽度方向y上的滑块11的两侧。第1微驱动元件65的两端部65a、65b分别固定于衔片45的驱动支持部70、71。第2微驱动元件66的两端部66a、66b分别固定于衔片45的驱动支持部72、73。
56.微驱动元件65、66具有使衔片45在摇摆方向s上(如图3所示)旋转移动的功能。在图4和图5的示例中，衔片45的一侧和第1悬臂梁51之间设有用于抑制衔片45的过度摇晃的限制构件75。衔片45的另一侧和第2悬臂梁52之间也设有限制构件76。
57.如图3～5所示，根据本实施例的悬架10具备用于抑制挠曲部22的振动的第1振动控制部80和第2振动控制部90。第1振动控制部80设于第1悬臂梁51的第1基端部51a附近，第2振动控制部90设于第2悬臂梁52的第2基端部52a附近。下面对上述第1振动控制部80和第2振动控制部90的详细情况进行说明。
58.图7为示出第1振动控制部80和第2振动控制部90附近的悬架10的结构的简要平面图。图8为沿图7中的f8
‑
f8的第1振动控制部80的简要剖视图。
59.如图7所示，承载梁21在第1基端部51a附近具有贯通第1表面21a至第2表面21b的第1开口。第1基端臂51b的一部分与第1开口81重叠。并且，第1基端臂51b在与第1开口81重叠的位置具有第1弯曲部51e。第1基端部51a和第1弯曲部51e之间的第1基端臂51b向靠近悬架10的宽度方向y上的中心c的方向延伸。相反地，第1弯曲部51e和第1前端臂51c(如图5所示)之间的第1基端臂51b向远离中心c的方向延伸。
60.第1开口81和粘附于承载梁21的第2表面21b上的第1减震材料82重叠。在图7的示例中，第1减震材料82占了整个第1开口81，但第1减震材料82可以仅占第1开口81的一部分。
61.第1悬臂梁51还具有从第1基端臂51b的第1弯曲部51e延伸出来的一对第1折返部51f、51g。第1折返部51f通过将从第1基端臂51b宽度方向y上的一侧延伸出来的部分沿第1
基端臂51b的厚度方向折返而形成。同样地，第1折返部51g通过将人第1基端臂51b的另一侧延伸出来的部分沿第1基端臂51b的厚度方向折返而形成。
62.在图7的示例中，第1折返部51f、51g在长度方向x上的位置相吻合。即，第1折返部51f、51g在宽度方向上并列。并且，第1折返部51f、51g的各个前端彼此相对。
63.第1折返部51f的一部分位于第1基端臂51b的下方，并粘附于暴露在第1开口81内的第1减震材料82上。同样地，第1折返部51g的一部分位于第1基端臂51b的下方，并粘附于暴露在第1开口81内的第1减震材料82上。在本实施例中，第1开口81、第1减震材料82以及第1折返部51f、51g构成第1振动控制部80。
64.承载梁21在第2基端部52a附近具有贯通第1表面21a至第2表面21b的第2开口91。第2开口91被粘附于承载梁21的第2表面21b的第2减震材料92所占。第2减震材料92可以仅占第2开口91的一部分。第2减震材料92和第1减震材料82在宽度方向y上分离。
65.第2基端臂52b具有第2弯曲部52e。并且，第2悬臂梁52具有从第2基端臂52延伸出来的一对第2折返部52f、52g。第2折返部52f的一部分位于第2基端臂52b的下方，并粘附于暴露在第2开口91内的第2减震材料92上。同样地，第2折返部52g的一部分位于第2基端臂52b的下方，并且粘附于暴露在第2开口91内的第2减震材料92上。
66.在图7所示的示例中，第2基端臂52b、第2折返部52f、52g、第2开口91和第2减震材料92具有和第1基端臂51b、第1折返部51f、51g、第1开口81和第1减震材料82以中心c为对称轴的轴对称形状。第2开口91、第2减震材料92和第2折返部52f、52g构成第2振动控制部90。
67.如图8所示，第1基端臂51b(第1弯曲部51e)和承载梁21的第1表面21a平行。第1折返部51f、51g具有位于第1基端臂51b和第1减震材料82之间的平坦部511和连接第1基端臂51b和平坦部511的弯曲部512。弯曲部512的一部分和平坦部511位于第1开口81内。
68.平坦部511和第1基端臂51b平行。弯曲部512弯曲成圆弧状。平坦部511和弯曲部512不与承载梁21接触。第1折返部51f、51g的平坦部511和第1基端臂51b之间分别设有间隙g1。
69.第1折返部51f、51g的平坦部511分别具有前端513。所述前端513经由间隙g2彼此相对。在图8的示例中，间隙g2大于间隙g1(g2＞g1)。作为其他例，间隙g2可以小于等于g1(g2≦g1)。
70.第1减震材料82具有粘弹性层(viscoelastic material layer)83和约束板(constrained plate)84。粘弹性层83由变形时可发挥粘性抵抗的高分子材料(例如丙烯酸树脂)制成，具有粘着性。粘弹性层83的厚度例如为51μm。约束板84由聚酯等合成树脂制成，并层压在粘弹性层83上。约束板84的厚度例如为51μm。
71.第1减震材料82通过粘弹性层83粘附于第2表面21b的第1开口81的周围。第1折返部51f、51g的平坦部511分别粘附于粘弹性层83上。
72.第2振动控制部90的剖面结构和图8所示的第1振动控制部80的剖面结构相同。即，第2减震材料92具有粘弹性层和约束板，第2折返部52f、52g具有平坦部和弯曲部，第2折返部52f、52g的平坦部分别粘附于第2减震材料92的粘弹性层上。
73.下面对根据本实施例的悬架10的作用进行说明。
74.当通过定位用马达7偏转滑架(如图1和图2所示)时，通过悬架10在磁盘4的直径方向上移动，使磁头的滑块11移动至磁盘4的记录表面的期望轨道上，当对微驱动元件65、66
施加电压时，微驱动元件65、66根据电压而变形，使得承载梁21可以在摇摆方向s(如图3所示)上微小量移动。
75.根据本实施例的悬架10在一对悬臂梁51、52的基端部51a、52a附近(根部)分别具有振动控制部80、90。当输入使挠曲部22振动的能量时，该振动能量通过折返部51f、51g、52f、52g传递至减震材料82、92。此时，减震材料82、92的各粘弹性层83变形，产生由于构成粘弹性层83分子的摩擦引起的内部阻力。因此，振动能量转换成热能，并且可以抑制挠曲部22的摇晃。
76.在此处，参考对照例对根据本实施例的悬架10的效果作进一步的说明。图9为根据对照例的悬架200的简要平面图。该悬架200和本实施例一样具备含有第1悬臂梁211和第2悬臂梁212的挠曲部210，和万向部220。
77.并且，第1悬臂梁211上设有第1减震材料213，第2悬臂梁212上设有第2减震材料214。减震材料213、214仅与悬臂梁211、212粘着，并在悬臂梁211、212的长度方向上延伸。
78.即使是上述结构的悬架200，也可以抑制万向部220的摇晃。但是，和下面将要说明的具有减震材料213、214的悬架相比，挠曲部的刚度变大。
79.图10为具有如图9所示的减震材料213、214的悬架200和不具有减震材料的悬架之间挠曲部的刚度图。图10中的e、f分别表示图9所示的对照例的悬架200的俯仰方向的刚度和侧倾方向的刚度。图10中的g、h分别表示不具有减震材料213、214的悬架的俯仰方向的刚度和侧倾方向的刚度。
80.从此图中可知，具有减震材料213、214的悬架200中的挠曲部的刚度e、f与不具有减震材料213、214的悬架相比均增加了约13％。由于增加了这部分刚度，可能对悬架200的万向运动产生不良影响。
81.与此相反，在根据本实施例的悬架10中，从悬臂梁51、52的基端臂51b、52b延伸出来的折返部51f、51g、52f、52g通过开口81、91粘附于减震材料82、92上。如果这样的结构的话，基端臂51b、52b或前端臂51c、52c无法通过减震材料82、92直接被约束，因此可以抑制由于减震材料82、92对悬臂梁51、52的刚度造成的影响。
82.并且，由于折返部51f、51g、52f、52g是从基端臂51b、52b延伸出来的一部分，因此可以抑制由于所述折返部的弯曲对悬臂梁51、52的功能造成的影响。
83.另外，在根据图9所示的对照例的悬架200中，减震材料213、214与承载梁的设有挠曲部210的面(相当于本实施例中的第1表面21a)相对。由于将悬架200组装到磁盘装置中时使用的梳状装配工具(shipping comb)与所述承载梁的设有所述挠曲部210的所述面接触，因此梳状装配工具有可能干涉减震材料213、214，减震材料213、214有可能破损。与此相反，在根据本实施例的悬架10中，承载梁21的第2表面21b上设有减震材料82、92。如果是这种结构的话，可以抑制减震材料82、92和梳状装配工具之间的干涉。
84.另外，假如不设折返部51f、51g、52f、52g的话，则需要用于将第1基端臂51b的振动传递至第1减震材料82的隔离物。与此相反，在本实施例中，作为悬臂梁51、52的一部分的折返部51f、51g、52f、52g起到了隔离物的作用，因此可以在减少构件数量的同时简化制造工序。
85.除了上述效果以外，本实施例还可以获得各种合适的效果。
86.通过本实施例公开的振动控制部80、90的结构仅是一例。在下面第2～第8实施例
中，将示出其他可适用于振动控制部80、90的结构。对于各实施例中未特别提及的部分，可应用和第1实施例的结构相同的构造。
87.第2实施例
88.图11为根据第2实施例的悬架10的一部分的简要平面图。和图7所示的不同之处在于，该悬架10的第1悬臂梁51不具有第1折返部51g，并且第2悬臂梁52不具有第2折返部52g。
89.从通过将悬臂梁51、52分别良好地粘附于减震材料82、92来提高振动控制力的观点来看，如第1实施例地，在悬臂梁51、52上分别设置2个折返部使减震材料82、92和折返部的接触面积变大是优选的。但是，即使是如本实施例第1悬臂梁51具有1个第1折返部51f，第2悬臂梁51具有1个第2折返部52f的结构，也能够抑制挠曲部22的摇晃。
90.图11所示的第1折返部51f在宽度方向上y上具有比图7所示的第1折返部51f更长的形状。同样地，图11所示的第2折返部52f在宽度方向上具有比图7所示的第2折返部52f更长的形状。如果像这样增大折返部51f、52f的话，折返部51f、52f和减震材料82、92的接触面积变大，从而可以提高振动控制部80、90的振动控制力。
91.另外，图11中的折返部51f、52f可以分别设于图7所示的折返部51g、52g处。另外，第1悬臂梁51或第2悬臂梁52所具有折返部的数量不限于如第1实施例的2个，或如本实施例的1个，也可以是3个。
92.第3实施例
93.图12为根据第3实施例的悬架10的一总会发的简要平面图。该悬架10和图7所示的不同之处在于，该悬架10的第1折返51f、51g以及第2折返部52f、52g的位置与图7所示不同。
94.在图12的示例中，第1折返部51f、51g的位置在长度方向x(或第1基端臂51b的延伸方向)上偏离。具体地，第1折返部51f位于第1弯曲部51e和第1基端部51a之间，第1折返部51g位于第1弯曲部e和第1前端臂51c(如图5所示)之间。
95.同样地，第2折返部52f、52g的位置也在长度方向x(或第2基端臂52b的延伸方向)上偏离。具体地，第2折返部52f位于第2弯曲部52e和第2基端部52a之间，第2折返部52g位于第2弯曲部52e和第2前端臂52c(如图5所示)之间。
96.在图12的示例中，第1折返部51f向第1延伸方向d1延伸。相反，第1折返部51g向与第1延伸方向d1不同的第2延伸方向d2延伸。所述延伸方向d1、d2例如与长度方向x以及宽度方向y相交。同样地，第2折返部52f、52g也向不同的方向延伸。
97.如图12所示的第1折返部51f、51g比图7的示例长。即使在这种情况下，由于第1折返部51f、51g在长度方向x上偏离，第1折返部51f、51g不在第1基端臂51b的下部接触。因此，如果是图12的结果的话，第1折返部51f、51g和第1减震材料82的接触面积增加，可以提高振动控制力。第2折返部52f、52g也可以获得相同的效果。
98.第4实施例
99.图13为根据第4实施例的悬架10的一部分的简要平面图。该悬架10在第1折返部51f、51g以及第2折返部52f、52g的形状方面与图7的示例不同。即，第1折返部51f、51g在第1基端臂51b的下部在长度方向x上扩大的同时，前端呈蛇行状。同样地，第2折返部52f、52g在第2基端臂52b的下部在长度方向x上扩大的同进，前端呈蛇行状。
100.图14为根据本实施例的第1折返部51f的形状的一例示意图，相当于从承载梁21的第2表面21b侧看第1折返部51f的平面图。同样的形状也可应用于第1折返部51g以及第2折
返部52f、52g上。
101.在如图14所示的第1折返部51f中，平坦部511的前端513具有在宽度方向y上凹陷的2个凹部513a。从另一角度来看，前端513具有3个与凹部513a相邻的凸部513b。并且，前端513具有的凹部513a以及凸部513b的数量可比图示示例多或少。
102.在这样前端513具有凹部513a及凸部513b呈非直线状的情况下，前端513可以深陷第1减震材料82，并抑制平坦部511和第1减震材料82的剥离。
103.另外，在图14所示的第1折返部51f中，平坦部511的长度方向x上的宽w1比弯曲部512的长度方向x上的宽w2大。由此，由于和第1减震材料82接触的平坦部511的面积增加，可以更好的抑制平坦部511和第1减震材料82的剥离。
104.另外，图14所示示例的形状也可以全部应用于折返部51f、51g、52f、52g，也可以仅适用于一部分。并且，图14所示例的形状也可以应用于其他实施例中公开的折返部。
105.第5实施例
106.图15为根据第5实施例的悬架10的一部分的简要平面图。在该悬架10中，第1悬臂梁51的第1基端臂51b在第1弯曲部51e附近具有第1臂开口51h。第1臂开口51h至少一部分与第1开口81重叠。并且，第1悬臂梁51具有从第1臂开口51h的内边缘延伸出来的第1折返部51i。
107.第1折返部51i和图8所示的第1折返部51f、51g相同在第1基端臂51b的厚度方向中折返，并在第1基端臂51b的下部粘附于第1减震材料82上。在图15的示例中，第1折返部51i的延伸方向d与长度方向x以及宽度方向y相比均倾斜。
108.在图15的示例中，第2悬臂梁52、第2开口91以及第2减震材料92与第1悬臂梁51、第1开口81以及第1减震材料82具有以中心c为轴的轴对称形状。即，第2基端臂52b具有第2臂开口52h，并且第2折返部52i从该第2臂开口52h的内边缘开始延伸，第2折返部52i在第2基端臂52b的厚度方向上折返，并粘附于第2减震材料92上。
109.如本实施例一样的在第1臂开口51h的内侧设置第1折返部51i的情况，可以使第1基端臂51b平衡地固定于其宽度方向的中心附近。同样地，在第2臂开口52h的内侧设置第2折返部52i时，也可以使第2基端臂52b平衡地固定于其宽度方向的中心附近。
110.第6实施例
111.图16为根据第6实施例的悬架10的一部分的简要平面图。其与图7的示例的不同之处在于，该悬架10不具有上述的第1减震材料82和第2减震材料92，而具有减震材料100，所述减震材料100具有与第1悬臂梁51和第2悬臂梁52双方重叠的大小。
112.减震材料100粘附于承载梁21的第2表面21b(如图3所示)上。减震材料100可以使用和图8所示的第1减震材料82相同的结构。
113.减震材料100具有与第1开口81重叠的第1部分101，与第2开口91重叠的第2部分102，连接所述第1部分101和第2部分102的中间部分103。中间部分103与2个配线部41重叠。在图16的示例中，中间部分103的长度方向x上的宽度比第1部分101以及第2部分102的长度方向x上的宽度小。
114.第1折返部51f、51g通过第1开口81粘附于第1部分101上。第2折返部52f、52g通过第2开口91粘附于第2部分102上。
115.在本实施例这样的用1个减震材100控制悬臂梁51、52双方振动的结构，与使用2个
减震材料82、92相比，可以减少悬架10的构件数量的同时简化制造工序。并且，由于减震材料100和承载梁21的粘着面积变大，因此减震材料100难以从承载梁21上剥离。
116.本实施例的结构可以通过将减震材料100粘附于承载梁21的第2表面21b上来实现。即，如果将减震材料100粘附于第1表面21a的话，减震材料100束缚配线部41可能对挠曲部22的刚度及万向运动造成不良影响。
117.另外，在根据其他实施例的悬架10中，也可以如本实施例地使用减震材料100来代替第1减震材料82和第2减震材料92。
118.第7实施例
119.图17为根据第7实施例的悬架10的一部分的简要平面图。该悬架10的基本结构与图7的示例相同。但是，图17所示的悬架10在第1振动控制部80具有一对第1绝缘层85，第2振动控制部90具有一对第2绝缘层95方面和图7的示例不同。
120.一对第1绝缘层85在第1开口81中分别与第1折返部51f、51g重叠。一对第2绝缘层95在第2开口中分别与第2折返部52f、52g重叠。
121.图18为沿图17中的线f18
‑
18的第1振动控制部80的简要剖视图。第1绝缘层85形成于第1折返部51f、51g的平坦部511的外表面(和第1减震材料82相对的面)。
122.第1绝缘层85夹于平坦部511和第1减震材料82之间。即，在本实施例中，平坦部511经由第1绝缘层85粘附于第1减震材料82上。
123.在图18的示例中，第1绝缘层85的厚度比承载梁21或平坦部511的厚度小。第1绝缘层85通过将例如聚酰亚胺涂覆于平坦部511上并使其硬化而形成。并且，配线部41也含有由聚酰亚胺形成的绝缘层。第1绝缘层85和配线部41的绝缘层通过在第1折返部51f、51g弯曲前对平坦的挠曲部22进行聚酰亚胺成膜和图案化，可以在同一制造工序中形成。
124.在图18的示例中，各第1绝缘层85从第1折返部51f、51g的前端513突出。如图17所示，各第1绝缘层85也在长度方向x中从第1折返部51f、51g的两侧部(平坦部511的两侧部)突出。
125.像这样使各个第1绝缘层大于第1折返部51f、51g，可以使第1折返部51f、51g稳定地与第1减震材料82粘接。从而提高第1减震材料82的振动控制效果。并且，在弯曲挠曲部22形成第1折返部51f、51g时，可以抑制由于与弯曲加工的工具而造成的第1折返部51f、51g的损伤。
126.另一方面，在图18的示例中，各个第1绝缘层85不到达第1折返部51f、51g的弯曲部512。由此，在所述弯曲加工中不易防碍第1折返部51f、51g的变形。并且，可以抑制由于弯曲对第1绝缘层8的损伤。
127.第2振动控制部90的剖面结构与图18所示的第1振动控制部80的剖面结构相同。即，各第2绝缘层95形成于第2折返部52f、52g的平坦部，并介于所述平坦部和第2减震材料92之间。
128.另外，如本实施例的设置绝缘层85、95的结构也可以用于根据其他实施例的悬架10中。绝缘层85、95也可以仅设于悬臂梁51、52所具有的多个折返部的一部分上。
129.第8实施例
130.图19为根据第8实施例的悬架10的一部分的简要平面图。该悬架10在第2悬臂梁52具有第2折返部52g方面与图7的示例不同。
131.即，在图19的示例中，第1悬臂梁51所具有的折返部的数量比第2悬臂梁52所具有的折返部的数量多。作为其他例，第2悬臂梁52所具有的折返部的数量可以多于第1悬臂梁52所具有的折返部的数量。
132.如上所述，即使第1振动控制部80的结构和第2振动控制部90的结构是非对称的，也可以获得悬臂梁51、52的振动控制效果。作为第1振动控制部80的结构和第2振动控制部90的结构是非对称的示例，除了悬臂梁51、52所具有的折返部的数量不同之外，也可以是悬臂梁51、52的折返部的延伸方向不同，悬臂梁51、52的折返部在长度方向x上的位置不同，开口81、92的形状或位置不同，减震材料82、92的形状或位置不同。
133.在实施以上各实施例所公开的发明时，从承载梁或挠曲部的形状、第1振动控制部以及第2振动控制部的设置等具体的形态，到构成磁盘装置用悬架的各要素的具体形态，均可以进行各种各样的变形。例如，不具有微驱动元件65、66的悬架中可以设置和各实施例相同的第1振动控制部以及第2振动控制部。