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双溢流阀的双级罗茨泵的制作方法

2021-10-27 02:26:18 来源:中国专利 TAG:
专利名称:双溢流阀的双级罗茨泵的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种双溢流阀的双级罗茨泵,属于真空技术领域。
背景技术
罗茨真空泵是一种无内压缩的旋转变容积式真空泵。由装在泵体内的一对平行轴上的两个转子构成,轴端齿轮驱动同步运转。近年来,罗茨泵在石油化工、冶金、造纸、食品及电子行业等领域得到了广泛的应用。由于罗茨泵一般不能单独使用,需要串联前级泵,连接成机组形式。为了使机组得到较高的真空度,前级泵往往串联两台或三台罗茨泵,有的甚至串联四台,不但占用了大量空间,也增加了设备的成本及日后的维护费用。双级罗茨泵的推出就很好的解决了这些问题,简化了机组形式,但是双级罗茨泵不能在大气压下直接启动,必须由前级泵把系统抽到较高的真空度(约1000Pa-2000Pa)才能启动,且双级罗茨泵进排气口压差不能太高(约3000Pa-6000Pa),否则会造成前级泵负载过大,这些问题制约着双级罗茨泵的推广使用。

实用新型内容根据以上现有技术中的不足,本实用新型要解决的技术问题是:提供一种能够在大气压下直接启动、操作便捷且能够提高真空机组抽气效率的双溢流阀的双级罗茨泵。本实用新型所述的双溢流阀的双级罗茨泵,包括电机和泵体,泵体中设置一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴,主动转子轴连接电机,主动转子轴、从动转子轴上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮,泵体包括前泵体和后泵体,前、后泵体接触的壁上设有气道,前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子,每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上,前泵体、后泵体上均设置进气端和排气端,每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道,通道中安装溢流阀,后泵体上设置与前级泵连通的侧口。工作时,从前泵体的排气端排出的气体通过气道进入后泵体的进气端,再由后泵体的排气端排向与双级罗茨泵串联的前级泵,当前级泵不能及时把这些气体排出时,造成后泵体排气端与进气端的压差升高,当压差高于后泵体的溢流阀阀体的重量时,后泵体中的溢流阀打开,气体重新进入双级罗茨泵中,在后泵体内通过溢流阀自循环,直到这些气体被前级泵逐渐抽出,前泵体的溢流阀具有同样的作用。本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是:本双级罗茨泵通过设置双溢流阀,能在大气压下直接启动,不用等待其前级泵,而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害,操作更加便捷,并提高了真空机组的抽气效率。

图1是本实用新型的结构示意图;图2是前泵体的剖面示意图;[0010]图3是后泵体的剖面示意图。图中:1、电机;2、前泵体;3、转子;4、后泵体;5、溢流阀;6、溢流阀;7、泵腔;8、排气端;9、气道;10、通道;11、进气端;12、排气端;13、侧口 ;14、通道;15、从动转子轴;16、进
气端;17、主动转子轴;18、泵腔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述:如图f 3所示,双溢流阀的双级罗茨泵,包括电机I和泵体,泵体中设置一对平行安装的主动转子轴17、从动转子轴15,主动转子轴17连接电机1,主动转子轴17、从动转子轴15上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮,泵体包括前泵体2和后泵体4,前、后泵体接触的壁上设有气道9,前、后泵体的泵腔7、18中分别设置一对转子3,每对转子3相互垂直的安装在主动转子轴17和从动转子轴15上,前泵体2上设置进气端11、排气端8以及连通进气端11和排气端8的通道10,通道10中安装溢流阀6,后泵体4上设置与前级泵连通的侧口 13、进气端16、排气端12以及连通进气端16和排气端12的通道14,通道14中安装溢流阀5。工作时,被抽真空系统中的气体通过前泵体的进气端11,经过前泵体2中旋转的转子,被排到前泵体的排气端8,排气端是封闭的,气体会沿着箭头所指的方向,由前、后泵体接触的壁上的气道9进入后泵体的进气端16,在后泵体4中转子的旋转作用下,气体最终被排向排气端12,并通过侧口 13排向与双级罗茨泵串联的前级泵,如果双级罗茨泵压缩的气体过多,前级泵无法及时抽出,就会造成后泵体排气端12与进气端16的压差升高,当压差高于后泵体4的溢流阀阀体的重量时,后泵体4中的溢流阀5打开,气体重新进入双级罗茨泵中,在后泵体4内通过溢流阀5自循环,直到这些气体被前级泵逐渐抽出,前泵体的溢流阀6具有同样的作用。本双级罗茨泵在前、后两个泵体上都设计了溢流阀,在大气压下能直接启动,不用等待其前级泵,而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害,操作更加便捷,并提高了真空机组的抽气效率。
权利要求1.一种双溢流阀的双级罗茨泵,包括电机(I)和泵体,其特征在于:泵体中设置一对平行安装的主动转子轴(17)、从动转子轴(15),主动转子轴(17)连接电机(1),主动转子轴(17)、从动转子轴(15)上分别装配相啮合的主动齿轮、从动齿轮,泵体包括前泵体(2)和后泵体(4),前、后泵体接触的壁上设有气道(9),前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子(3),每对转子相互垂直的安装在主动转子轴(17)和从动转子轴(15)上,前、后泵体上均设置进气端和排气端,每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道,通道中安装溢流阀,后泵体(4)上设置与前级泵连通 的侧口( 13)。
专利摘要本实用新型属于真空技术领域,具体涉及一种双溢流阀的双级罗茨泵,包括电机和泵体,泵体中设置一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴,主动转子轴连接电机,泵体包括前泵体和后泵体,前、后泵体接触的壁上设有气道,前、后泵体的泵腔中分别设置一对转子,每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上,前泵体、后泵体上均设置进气端和排气端,每个泵体中都设有连通进气端、排气端的通道,通道中安装溢流阀,后泵体上设置与前级泵连通的侧口。本双级罗茨泵通过设置双溢流阀,能在大气压下直接启动,不用等待其前级泵,而且不会因前级泵负载过大对泵或电机造成损害,操作更加便捷,并提高了真空机组的抽气效率。
文档编号F04C29/12GK203081752SQ20132004248
公开日2013年7月24日 申请日期2013年1月25日 优先权日2013年1月25日
发明者胡立昌, 肖庆涛, 闫既明 申请人:淄博沃德气体设备有限公司
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