超声波传感器的制作方法

技术特征：
1.一种超声波传感器，其具备：第一电极(21c、20)，其设置于具备振动元件(21)的超声波麦克风(2)，该振动元件(21)具有机械振动与电信号之间的转换功能；第二电极(41)，其设置于上述超声波麦克风的外部，以使得所述第二电极(41)与上述第一电极之间的电特性根据附着物(s)对上述超声波麦克风的附着状态而变化；以及第三电极(42)，其设置为抑制由上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因引起的上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化。2.根据权利要求1所述的超声波传感器，其中，上述第三电极设置为夹装在上述第一电极与上述第二电极之间。3.根据权利要求1或2所述的超声波传感器，其中，上述第三电极设置为与上述第一电极或者上述第二电极同电位。4.根据权利要求1～3中任一项所述的超声波传感器，其中，上述第二电极或者上述第三电极设置于用于将上述超声波传感器安装于安装对象(v)的部件亦即辅助部件(8)。5.根据权利要求1～4中任一项所述的超声波传感器，其中，上述第三电极隔着绝缘层(87、97)与上述第一电极或者上述第二电极层叠。6.根据权利要求1～5中任一项所述的超声波传感器，其中，上述超声波麦克风具备麦克风壳体(20)，该麦克风壳体(20)具有：为了进行超声波振动而形成为薄板状的隔膜部(20a)；以及形成为以沿着上述隔膜部的振动方向的指向轴(x)为中心轴的筒状并设置为在上述隔膜部的外边缘部(20c)支承上述隔膜部的隔膜支承部(20b)，上述振动元件固定地支承于上述隔膜部。7.根据权利要求6所述的超声波传感器，其中，上述麦克风壳体由导电性材料形成，上述第一电极与上述麦克风壳体一体化。8.根据权利要求6或者7所述的超声波传感器，其中，上述第三电极设置为抑制由上述附着物对上述隔膜部的外表面且在上述超声波传感器被安装于安装对象(v)的外板(v3)的状态下朝向上述安装对象的外侧露出的检测面(20d)的附着以外的原因引起的上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化，构成为能够基于上述第一电极与上述第二电极之间的电特性，来检测上述附着物对上述检测面的附着。9.根据权利要求8所述的超声波传感器，其中，上述第二电极沿着上述外板的背面(v32)而设置。10.根据权利要求8或者9所述的超声波传感器，其中，上述第三电极沿着上述隔膜支承部而设置。11.根据权利要求8～10中任一项所述的超声波传感器，其中，构成为能够基于上述第一电极与上述第二电极之间的电特性、以及上述第二电极与上述第三电极之间的电特性，来检测上述附着物对上述检测面的附着。12.根据权利要求6～11中任一项所述的超声波传感器，其中，
上述隔膜部形成为在与上述指向轴正交的面内，具有长边方向和短边方向的形状，在上述隔膜支承部的、沿着上述长边方向的部分亦即厚壁部(20f)设置有构成向上述第二电极或者上述第三电极供电的供电线路的导线部(20n)。13.根据权利要求1～12中任一项所述的超声波传感器，其中，上述电特性是静电电容。

技术总结
本发明涉及超声波传感器。超声波传感器(1)具备第一电极(21c；20)、第二电极(41)以及第三电极(42)。上述第一电极设置于具备振动元件(21)的超声波麦克风(2)，该振动元件(21)具有机械振动与电信号之间的转换功能。上述第二电极以其与上述第一电极之间的电特性根据附着物(S)对上述超声波麦克风的附着状态而变化的方式，设置于上述超声波麦克风的外部。上述第三电极设置为抑制由上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因引起的上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化。极与上述第二电极之间的电特性的变化。极与上述第二电极之间的电特性的变化。


技术研发人员：小林研介 野吕觉
受保护的技术使用者：株式会社电装
技术研发日：2020.02.25
技术公布日：2021/10/23