用于超声指纹和触摸感测的装置和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年12月22日提交的题为“apparatus and method for ultrasonic fingerprint and touch sensing”的美国专利申请第17/247,781号的优先权,在此通过引用并入本文。技术领域3.本公开总体上涉及超声指纹传感器和用于使用这种系统的方法。
用于超声指纹和触摸感测的装置和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年12月22日提交的题为“apparatus and method for ultrasonic fingerprint and touch sensing”的美国专利申请第17/247,781号的优先权,在此通过引用并入本文。技术领域3.本公开总体上涉及超声指纹传感器和用于使用这种系统的方法。
单腔室可流动膜的形成和处理相关技术的交叉引用本技术要求于2020年9月8日提交的发明名称为“single chamber flowable film formation and treatments(单腔室可流动膜的形成和处理)”的美国专利申请第17/014,224号的权益和优先权,所述申请的全部内容通过引用并入本文。2.本技术涉及以下申请(均于2020年9月8日同时提交),其发明名称为:“semiconductor processing chambers for deposition and etch(