压力传感器母版及其校准装置的制作方法

1.本实用新型涉及压力传感器校准技术领域，特别涉及一种压力传感器母版及其校准装置。


背景技术：

2.目前，压力传感器的大批量生产，在出厂前需要对其性能进行测试校准。现有的测试校准流程包括：常温测试、高温测试、次品分选、成品打码、冷却等过程。
3.传统作业方式在进行上述校准测试时，往往采用单一测试设备，依次进行单工位的测试与操作。现有的单机校准测试设备主要采用高低温冲击机对少数器件进行测试，通过在一个密封腔体中进行高低温转换而实现高低温转换。因此对测试设备的密封性要求较高，容易造成测试校准出现异常的概率增大。
4.单机校准测试设备与单工位测试的测试过程可控性差、生产测试数据的可追溯性差，造成工人劳动强度高，测试校准效率十分低下。且，针对不同类型的产品需要不同的测试设备去测试，测试成本较高，不同的测试设备占用较大的空间。
5.另外，现有校准过程中，若需要对多个压力传感器进行校准，通常是将多个各自独立的压力传感器各自独自的定位在载板上。此操作耗费时间长，对仪器精度要求高。探针对单颗压力传感器进行校准时，探针容易压伤压力传感器的引脚
6.有鉴于此，需要提供一种新的待校准结构，以克服校准过程中压力传感器的定位难度高、定位不准确的问题以及引脚容易损伤的问题。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种压力传感器母版及其校准设备，通过整合若干压力传感器在本体上进行测试，其能够克服现有的校准过程中压力传感器的定位难度高、定位不准确的问题以及引脚容易损伤的问题。
8.本实用新型提供的一种压力传感器母版，所述压力传感器母版包括：本体；以及连接于所述本体的若干压力传感器；其中，所述本体对应每个压力传感器的连接区域包括多个引脚，所述多个引脚包括输入端引脚、输出端引脚和至少一个连接端引脚，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚分别与所述本体电性隔绝。
9.作为可选的技术方案，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚与所述本体之间通过对应的隔断槽进行电性隔绝。
10.作为可选的技术方案，所述输入端引脚为带供电保护功能的供电端；所述输出端引脚为模拟电压输出端。
11.作为可选的技术方案，所述连接端引脚为通讯引脚。
12.作为可选的技术方案，所述本体上设置多个定位孔。
13.作为可选的技术方案，所述本体还包括镂空槽，所述镂空槽设置于呈阵列排布的若干压力传感器之间。
14.作为可选的技术方案，所述多个引脚还包括接地引脚，所述接地引脚和所述本体为一体式结构。
15.本发明还提供一种校准装置，所述校准装置用于校准如上所述的压力传感器母版上的若干压力传感器。
16.作为可选的技术方案，所述压力传感器母版包括差压压力传感器母版和绝压压力传感器母版；所述校准装置包括检测组件，所述检测组件包括：第一检测站，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件，所述第一载具组件包括第一载板和设置在所述第一载板上的所述差压压力传感器母版；以及第二检测站，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件，所述第二载具组件包括第二载板和设置在所述第二载板上的所述绝压压力传感器母版。
17.作为可选的技术方案，所述第一载板上设置第一定位柱，对应的所述差压压力传感器母版上设置第一定位孔，所述第一定位柱与所述第一定位孔相互配合辅助所述第一载板与所述差压压力传感器母版定位；以及，所述第二载板上设置第二定位柱，对应的所述绝压压力传感器母版上设置第二定位孔，所述第二定位柱与所述第二定位孔相互配合辅助所述第二载板与所述绝压压力传感器母版定位。
18.与现有技术相比，本实用新型提供一种压力传感器母版及其校准设备，整合若干压力传感器在本体上形成待校准的压力传感器母版，测试校准过程中，本体提供抗形变力，避免探针接触引脚时，导致引脚变形的问题。另外，本体上还设置多个定位孔，多个定位孔和校准装置的载板上的定位柱对准，进而压力传感器上待测试的引脚和测试工位中的探针对位更加容易，且准确度更高。
19.以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
附图说明
20.图1为本实用新型的压力传感器校准设备的滑轨、载板及动力装置的示意图。
21.图2是图1中虚线处放大示意图。
22.图3为本实用新型的压力传感器校准设备的整体示意图。
23.图4为本实用新型中待校准的压力传感器母版的俯视图。
24.图5为图3中压力传感器校准设备的常温检测工位的示意图。
25.图6为常温检测工位中差压检测站的分解示意图。
26.图7为常温检测工位中差压检测探针组的示意图。
27.图8为常温检测工位中绝压检测站的分解示意图。
28.图9为常温检测工位中绝压检测探针组的示意图。
29.图10为图3中传感器校准设备的低温箱的示意图。
30.图11为图3中传感器校准设备的高温箱的示意图。
具体实施方式
31.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例及附图，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本
实用新型，并不用于限定本实用新型。
32.如图1和图2所示，压力传感器校准设备100包括沿第一方向延伸的第一滑轨9a和沿第二方向延伸的第二滑轨9b，第一滑轨9a和第二滑轨9b的交界位置包括空白区9c；若干载板111，其可滑动设置于第一滑轨9a和第二滑轨9b中；以及动力装置112，其靠近空白区9c设置；其中，当载板111沿着第一滑轨9a进入空白区9c中，动力装置112推抵空白区9c中的载板111，以使载板111沿着第二滑轨9b滑动，第一方向和第二方向相异。
33.本实施例中，第一滑轨9a和第二滑轨9b的交界位置设置空白区9c，动力装置推抵进入空白区9c中的载板111，使得载板111进行的移动方向由第一方向变换为第二方向。其中，利用滑轨交界位置的空白区进行换向，有助于维持压力传感器校准设备100中载板的循环运行，从上料到收料及其各站测试都是由设备进行，减少人为干涉，提升校准的准确度。
34.如图2所示，空白区9c是指未布置载板111的区域。
35.在一较佳的实施方式中，第一方向垂直于第二方向，但不以此为限。在本实用新型其他实施例中，第一方向和第二方向之间的夹角为锐角或者钝角。
36.如图1所示，第一滑轨9a的数量为两个，第二滑轨9b的数量为两个，其中，两个第一滑轨9a和两个第二滑轨9b构成回字形滑轨。其中，回字形滑轨的四个角落处分别包括空白区9c，对应四个角落处的空白区9c分别设置一一对应的动力装置112。
37.在一较佳的实施方式中，动力装置112例如是气缸，气缸推抵空白区9c中的载板111，使得空白区9c中的载板111换向移动，进而使得载板111在回字形滑轨中循环移动。
38.如图1和图2所示，设置于第一滑轨9a和第二滑轨9b中若干载板111之间彼此紧密连续的排布。
39.以回字形滑轨说明若干载板111的滑动过程，位于第一滑轨9a的上侧端部和下侧端部的空白区9c中未设置载板111，位于第二滑轨9b右侧端部和左侧端部的空白区9c中未设置载板111，其中，以图1所述右下角为起始端。
40.气缸推抵第二滑轨9b右端的载板111，第二滑轨9b中所有的载板111依序向前移动一块载板的距离，此时，第二滑轨9b最左侧的载板111进入到第二滑轨9b左侧端部和第一滑轨9a下侧端部交界的空白区9c中，气缸推抵此处的载板111，载板111滑动至第一滑轨9a中实现换向，同时带动第一滑轨9a中的若干载板111向上移动一块载板的距离。
41.这种利用动力装置、滑轨上的空白区实现载板换向和移动方式可更加准确的控制载板移动的准确度，减少载板移动惯性造成的移动误差。
42.如图1和图3所示，压力传感器校准设备100还包括沿着回字形滑轨依序设置的上料工位1、常温检测工位2、至少一个低温箱3、低温检测工位31、至少一个高温箱4、高温检测工位41、至少一个降温箱5、常温复测工位6、打标工位7以及下料工位8；其中，回字形滑轨贯穿整个压力传感器校准设备100，待检测的产品装载于载板111中，载板111沿着回字形滑轨依次经过常温检测工位2、至少一个低温箱3、低温检测工位31、至少一个高温箱4、高温检测工位41、至少一个降温箱5、常温复测工位6、打标工位7，最后，从下料工位8中流出。
43.上料工位1包括一个4轴机器人、一条水平输送带和多个待检测的产品料盒，产品料盒经由水平输送带在压力传感器校准设备100中输入与输出。
44.如图4所示，本实用新型的另一实施方式中，还提供一种待校准的压力传感器母版2000，其包括本体2001和连接在本体2001上若干压力传感器2002，本体2001上对应每个压
力传感器2002的连接区域包括多个引脚，多个引脚包括输入端引脚2003、输入端引脚2004以及至少一个连接端引脚2005，其中，输入端引脚2003、输入端引脚2004以及至少一个连接端引脚2005分别与本体2001电性隔绝。
45.本实施例中，通过机械切割的方式切断输入端引脚2003、输出端引脚2004以及至少一个连接端引脚2005和本体2001连接处形成多个隔断槽，使其分别与本体2001形成电性隔绝。即，输入端引脚2003、输出端引脚2004以及至少一个连接端引脚2005分别和本体2001之间通过隔断槽极性电性隔绝。
46.在一较佳的实施方式中，输入端引脚2003例如是带供电保护功能的供电端(vddhv)；输出端引脚2004例如是模拟电压输出端(vout)；连接端引脚2005例如是通讯引脚。
47.在本实用新型其他实施方式中，依据压力传感器的外部连接的实际需求，本体上裁断的连接端引脚的数量可以是两个或者两个以上。
48.本实施例中，多个引脚还包括接地引脚2006，其中，接地引脚2006和输出引脚2004位于压力传感器2002的一侧，相邻布置，接地引脚2006和本体2001为一体式结构，即，接地引脚2006和本体2001之间没有隔断槽，两者一体成型结合在一起；输入端引脚2003和连接端引脚2005位于压力传感器2002相对的另一侧，相邻布置。值得注意的是，在其他实施例中，多种不同类型的引脚的位置可依据实际使用需求而布置。
49.如图4所示，待校准的压力传感器母版2000测试，通过各自独立的探针分别电导通输入端引脚2003、输出端引脚2004以及至少一个连接端引脚2005，其中，电压从压力传感器2002的输入端引脚2003输入，并从输出端引脚2004输出电流，若输出的电流在预设范围内，则判定压力传感器2002为合格，反之则判定为异常。
50.本实施例中，整合若干压力传感器2002在本体2001的母版2000在进行测试时，本体201提供抗形变力，避免探针接触引脚时，导致引脚变形的问题。
51.另外，测试时，将待校准的压力传感器母版2000放置于载具上进行定位，相对于，放置多个单一的待校准传感器进行定位，具有操作简便、定位准确、节省工时等优势。
52.如图4所示，本体2001上还设置多个定位孔2100，多个定位孔2100和载板111上的定位柱对准，进而压力传感器2002上待测试的引脚和测试工位中的探针对位更加容易，且准确度更高。
53.在一较佳的实施方式中，本体2001上若干压力传感器2002呈阵列排布，本体2001上还包括镂空槽2200，镂空槽2200设置于阵列排布的若干压力传感器2002之间。其中，镂空槽2200用于降低本体2001的重量以及释放探针接触引脚产生的压力。
54.在一较佳的实施方式中，压力传感器2002可以是差压式压力传感器或绝压式压力传感器。
55.进一步，为了实现压力传感器校准设备100能够同时对多种不同类型的压力传感器进行校准，常温检测工位2、低温检测工位31、高温检测工位41及常温复测工位6分别设置能够对至少两种不同的压力传感器进行检测检测组件。
56.如图5至图9所示，以常温检测工位2为例，检测组件至少包括第一检测站与第二检测站，第一检测站校准第一压力传感器，第二检测站校准第二压力传感器，第一压力传感器与第二压力传感器相异，第一检测站与第二检测站相异。当然，检测站的类型与数量不以两
个为限，可依序实际的生产需求而设定。
57.第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件，其中，第一密封组件与第二密封组件相异，且第一探针组件与第二探针组件相异。
58.第一密封组件用于对第一压力传感器提供校准压力，第一探针组件对应第一压力传感器的第一引脚；第二密封组件用于第二压力传感器提供校准压力，第二探针组件对应第二压力传感器的第二引脚；校准时，第一探针组件被第一上增压气缸及第一上浮动组件带动朝向第一载具组件的第一侧移动并贴合于第一侧上，第一探针组件接触第一引脚，第一密封组件被第一下增压气缸及第一下浮动组件带动朝向第一载具组件的第二侧移动并贴合于第二侧，第一校准压力经由第一密封腔被传送至第一载具组件中的第一压力传感器中；第二探针组件被第二上增压气缸及第二上浮动组件带动朝向第二载具组件的第三侧移动并贴合于第三侧上，第二探针组件接触第二引脚，第二密封组件被第二下增压气缸及第二下浮动组件带动朝向第二载具组件的第四侧移动并贴合于第四侧，第二校准压力经由第二密封腔被传送至第二载具组件中的第二压力传感器中。
59.继续参照图3和图10，至少一个低温箱3用于提供低温测试环境，对待测产品料盒暴露在低温环境后的性能进行校准。至少一个低温箱3的数量为3个，包括第一、第二、第三低温箱，第一个低温箱用于提供第一低温温度区间，第二低温箱用于提供第二低温温度区间，第三低温箱用于提供第三低温温度区间，其中，第一低温温度区间至第三低温温度区间的温度依次增大，即，第一低温箱至第三低温箱内的温度依次升高。第一低温箱靠近常温检测工位2，第三低温箱靠近低温检测工位31。采用多个低温箱，对低温温度区间进行分段控制，避免低温测试是产品料盒表面因低温出现结霜的问题。此外，基于温度控制原理，从低温朝向高温升温较高温朝向低温降温要快，低温箱的温度依次增大，有利于提高压力传感器校准设备100整体的校准效率。
60.如图10所示，低温箱3中设置窗口32，第一滑轨9a设置于低温箱3中并经由窗口32延伸进入下一检测工位。其中，第一滑轨9a包括滑槽91，绝压载具组件、差压载具组件分别嵌设于滑槽91中，并可在滑槽中滑动。进一步，第一滑轨9a包括多个区段，多个区段之间通过连接件92进行拼接，连接件92对应设置固定凹部，各区段的一端卡入固定凹部中，再通过螺丝锁固的方式进行固定。另外，第二滑轨9b和第一滑轨9a具有相似的结构，不另赘述。
61.低温检测工位31与至少一个低温箱3紧靠设置，低温检测工位31用以对降温操作后的压力传感器进行校准，其中，低温检测工位31中的检测站的结构与常温检测工位的2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。此外，低温检测工位31设置低温密封箱，低温密封箱将上述第一、第二检测站密封于其中，使得测试时，待测产品料盒维持在相对低的温度下进行校准。
62.继续参照图1与图11，至少一个高温箱4设置于低温检测工位31之后，至少一个高温箱4用于提供高温环境，待测产品料盒暴露于高温测试环境中。至少一个高温箱4的数量为3个，包括第一、第二、第三高温箱。第一个高温箱用于提供第一高温温度区间；第二高温箱用于提供第二高温温度区间；第三高温箱用于提供第三高温温度区间；其中，第一高温温度区间至第三高温温度区间依次降低，即，第一高温箱至第三高温箱中的温度区间依次降低。第一高温箱靠近低温检测工31，第三高温箱靠近高温检测工位41。由于三个高温箱中的
温度区间依次降低，在温度控制上更容易实现，此外，也有利于提高压力传感器校准设备100整体的校准效率。
63.高温检测工位41与至少一个高温箱4紧靠设置，高温检测工位41用以对升温操作后的压力传感器进行校准，其中，高温检测工位41中的检测站的结构与常温检测工位的2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。高温检测工位41包括高温密封箱42，高温密封箱42将上述检测站密封于其中，使得待检测产品料盒维持在较高的温度进行校准。此外，高温密封箱42上设置窗口43，另一第一滑轨9a自窗口43中伸出延伸进入下一检测工位。
64.高温检测工位41之后设置至少一个降温箱5，至少一个降温箱5用于对经过高温检测工位41后的产品料盒进行降温操作。本实施例中，至少一个降温箱5的数量为4个，其包括若干个离子风机和若干钣金件组件，通过离子风机对产品料盒进行风冷操作。
65.常温复测工位6设置于至少一个降温箱5之后，常温复测工位6的检测站与常温检测工位2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。
66.此外，压力传感器校准设备100还包括打标工位7与下料工位8，其中，打标工位7包括一台激光打标机、一台工控机、一个显示器；下料工位8与上料工位1相邻，两者共同使用一个4轴机器人，配合输送线对产品实现上下料的功能。
67.为使更清晰的理解本实用新型的压力传感器校准设备100的校准不同类型的压力传感器操作过程，以下以压力传感器校准设备100能够实现校准差压型压力传感器与绝压型压力传感器为例进行说明。
68.需要说明是，本实用新型提供的压力传感器校准设备100不以能够校准差压型压力传感器与绝压型压力传感器为限，通过更换对应的探针组件与密封组件可使得压力传感器校准设备100校准多种不同类型的压力传感器。
69.本实用新型中，以压力传感器校准设备100对差压型压力传感器102和绝压型压力传感器202的校准为例进行说明，其中，常温检测工位2、低温检测工位31、高温检测工位41以及常温复测工位6中任一检测工位中的检测组件均分别包括差压型检测站a与绝压型检测站b。
70.以下将以常温检测工位2的检测组件中差压检测站a与绝压型检测站b为例进行说明，检测站的结构及校准过程。
71.如图5至图9所示，差压型检测站a与绝压型检测站b及围绕差压型检测站a与绝压型检测站b设置的常温箱体(未图示)，即，差压型检测站a与绝压型检测站b设置于常温箱体的内部。本实施例中，差压型检测站a与绝压型检测站b平行设置。
72.差压型检测站a自上而下包括第一上增压气缸10、第一上浮动组件11、第一导轴12、第一直线轴承13、差压探针组件14、第一载板组件15、差压密封组件16、第一下浮动组件17以及第一下增压气缸18；其中，第一上增压气缸10、第一导轴12、第一直线轴承13及差压探针组件14依次连接，差压探针组件14在第一上增压气缸10、第一导轴12及第一直线轴承13的共同作用下可相对第一载板组件15的第一侧进行往复移动；差压密封组件16、第一下浮动组件17及第一下增压气缸18依次连接，差压密封组件16在第一下浮动组件17及第一下增压气缸18的共同作用下可相对第一载板组件15的第二侧进行往复移动，第二侧与第一侧相背。
73.绝压型检测站b自上而下包括第二上增压气缸20、第二上浮动组件、第二导轴、第二直线轴承、绝压探针组件24、第二载板组件25、绝压密封组件26、第二下浮动组件17以及第二下增压之28；其中，第二上增压气缸20、第二导轴、第二直线轴承及绝压探针组件24依次连接，绝压探针组件24在第二上增压气缸、第二导轴及第二直线轴承的共同作用下可相对第二载板组件25的第三侧进行往复移动；绝压密封组件26、第二下浮动组件27及第二下增压气缸28依次连接，绝压密封组件26在第二下浮动组件27及第二下增压气缸28的共同作用下可相对第二载板组件25的第四侧进行往复移动，第三侧与第四侧相背。
74.继续参照图5，第一上增压气缸10及第二上增压气缸20分别连接于上固定板30；上固定板30的下方设置上支撑板50，上支撑板50的下方设置连接板40，第一导轴12与第二导轴分别穿设于连接板40中并分别与对应的第一探针组件14及第二探针组件24相互连接。第一上浮动组件11与第二上浮动组件(未图示)设置于上固定板30与连接板40之间。
75.固定底板60设置在连接板40的下方，中间支撑板70设置于连接板40与固定底板60之间，其中，连接板40与固定底板60之间的空间用于对压力传感器进行校准操作，具体的，差压探针组件14、第一载板组件15及差压密封组件16，绝压探针组件24、第二载板组件25及绝压密封组件26分别位于上述空间中。
76.下固定板80设置在固定底板60的下方，下固定板80与固定底板60之间设置下支撑板90，其中，第一下浮动组件17与第二下浮动组价(未图示)分别位于固定底板60与下固定板80之间。第一下增压气缸18与第二下增压气缸28分别固定于下固定板80远离固定底板60的一侧。
77.另外，差压探针组件14与差压密封组件16之间以及绝压探针组件24与绝压密封组件25之间设置滑轨9，第一载板组件15及第二载板组件25分别嵌设于第二滑轨9b的滑槽91中，并可沿着滑槽91滑动，以实现待校准料盘的输入与输出。
78.如图6及图7所示，差压探针组件14包括第一定位柱141，第一定位柱141对应于第一载板组件15上第一定位孔151，当差压探针组件14朝向第一载板组件15的第一侧移动并贴合于第一侧的过程中，第一定位柱141进入第一定位孔151，使得差压探针组件14与第一载板组件15对准。较佳的，第一定位柱141设置于差压探针组件14的对角线上，以提高差压探针组件14与差压载具15的对准精度。
79.差压探针组件14的第一底面142朝向第一载板组件15，第一底面142上形成有内凹的第一容置腔143，当差压探针组件14贴合于差压载具组件101的第一侧，差压传感器料盒101的差压传感器芯片102部分进入第一容置腔143中。
80.第一容置腔143具有第一针板1431，多个第一探针144与多个第一预压块145分别突出于第一针板1431，其中，每一个差压压力传感器芯片102通过一个第一预压块145压抵，以避免第一探针144与第一引脚1021接触时，差压压力传感器芯片102晃动，造成接触不良。本实施例中，每一个第一预压块145对应两排第一探针144，每一排第一探针144的数量为3个。在本实用新型其他实施例中，第一探针144的数量可以依据产品的结构进行调整，不以上述为限。
81.另外，第一容置腔143中还包括第一密封槽1432，第一探针144顶部齐平或者略低于第一密封槽1432的顶部，第一密封槽1432高于第一针板1431。本实施例中，第一密封槽1432围绕第一探针144与第一预压块145设置，但不以此为限。第一密封槽1432用以避免差
压探针组件14朝向第一载板组件15移动的过程中，第一探针144撞击第一引脚1021导致差压压力传感器芯片102损伤。第一密封槽1432例如可以是弹性材料。另外，差压探针组件14贴于差压载具组件14的第一侧，第一密封槽1432用于对差压压力传感器母版101进行密封。
82.第一载板组件15包括第一载板及设置在第一载板上的差压压力传感器母版101，第一载板包括多个第一容置孔152，多个第一容置孔152与差压压力传感器母版101中差压传感器芯片102一一对应，差压压力传感器芯片102的下端1022穿过第一容置孔152朝向差压密封组件16延伸。此外，第一载板组件15的第一载板上设置第一定位柱153，对应的差压压力传感器母版101上设置第一定位孔(未图示)，第一定位柱153与第一定位孔相互配合辅助第一载板组件15的第一载板与差压压力传感器母版101组装定位。
83.如图4和图6所示，差压压力传感器母版101的结构和待校准的压力传感器母版200的结构相似，即，差压压力传感器母版101上差压压力传感器102的引脚的结构和压力传感器母版2000上的压力传感器2002的引脚结构相似。
84.差压密封组件16包括多个气接头，多个气接头与多个差压压力传感器芯片102一一对应，每一气接头的出口161与每一压压力传感器芯片102的下端1022相对应，下端1022部分进入出口161中，气接头的入口162与外界相互连通，外界的校准压力通过入口162进入气接头中经由出口161进入差压压力传感器芯片102的下端1022，进而将外界的校准压力传递至差压压力传感器芯片102的内部进行校准。
85.本实施例中，差压密封组件16中提供的多个气接头对应于差压压力传感器母版101上的多个差压压力传感器芯片102，即，每一差压压力传感器芯片102的校准压力通过一个单独的气接头与外界的校准压力连通。
86.差压检测站a对差压压力传感器芯片102校准时，首先，第一下增压气缸18与第一下浮动组件17相互作用，带动差压密封组件16朝向载具组件15的第二侧移动并贴合于第二侧，差压密封组件16中的出口161套设于差压传感器芯片102的下端1022上；其次，第一上增压气缸10与第一上浮动组件11等相互作用，带动差压探针组件14朝向第一载板组件15的第一侧移动并贴合于第一侧，第一定位柱141插入第一定位孔151中，差压探针组件14与第一载板组件15相互对准，差压压力传感器母版101部分进入第一容置腔143中，第一预压块144压低差压压力传感器芯片102上，探针145接触第一引脚1022；然后，将外界的校准压力通过差压密封组件16的气接头的入口162中导入气接头，经由出口161进入差压压力传感器102的下端1022中，继续进入差压压力传感器102的内部；最后，通电状态下，差压压力传感器102将校准压力所产生的压力信号转换为电信号并经由第一引脚1021输出，再通过电子设备对电信号判断，以获得校准结果。
87.测试完成后，第一下增压气缸18与第一下浮动组件17相互作用，带动差压密封组件16朝向远离第一载板组件15的第二侧移动；以及，第一上增压气缸10与第一上浮动组件11等相互作用，带动差压探针组件14朝向远离第一载板组件15的第一侧移动；使得第一载板组件15在传送带的作用下可沿着滑槽92移动进入下一校准步骤，例如低温箱中，进行降温操作。
88.本实用新型中定义，差压密封组件16朝向或者远离第一载板组件15移动的过程为“往复移动”，同样的，差压探针组件14朝向或者远离第一载板组件15移动的过程为“往复移动”。
89.如图8及图9所示，绝压探针组件24包括第二定位柱241，第二定位柱241对应于第二载板组件25上第二定位孔251，当绝压探针组件24朝向第二载板组件25的第三侧移动并贴合于第三侧的过程中，第二定位柱241进入第二定位孔251，使得绝压探针组件24与第二载板组件25对准。较佳的，第二定位柱241设置于绝压探针组件24的对角线上，以提高绝压探针组件24与绝压绝压载具25的对准精度。
90.绝压探针组件24的第二底面242朝向第二载板组件25，第二底面242上形成有内凹的第二容置腔243，当绝压探针组件24贴合于第二载板组件25的第三侧，绝压压力传感器母版201的上侧的第二引脚2021进入第二容置腔243中。
91.第二容置腔243具有第二针板2431，多个第二探针244与多个第二预压块245分别突出于第二针板2431，其中，每一个绝压压力传感器芯片202通过一个第二预压块245压抵，以避免第二探针244与第二引脚2021接触时，绝压压力传感器芯片202晃动，造成接触不良。本实施例中，每一个第二预压块245对应两排第二探针244，每一排第二探针244的数量为3个。第二探针244的数量可以依据产品的结构进行调整。
92.另外，第二容置腔243中还包括第二密封槽2432，第二探针244顶部齐平或者略低于第二密封槽2432的顶部，第二密封槽2432高于第二针板1431。本实施例中，第一密封槽1432围绕第二探针244与第二预压块245设置，但不以此为限。第二密封槽2432用以避免绝压探针组件24朝向第二载板组件25移动的过程中，第二探针244撞击第二引脚2021导致绝压压力传感器芯片202损伤。第二密封槽2432例如可以是弹性材料。另外，绝压探针组件24贴于绝压载具组件24的第三侧，第二密封槽2432用于对绝压压力传感器母版201进行密封。
93.第二载板组件25包括第二载板及设置在第二载板上的绝压压力传感器母版201，第二载板包括多个第二容置孔252，多个第二容置孔252与绝压压力传感器母版201中绝压传感器芯片202一一对应，绝压压力传感器芯片202的上部嵌设于第二容置孔252中，第二引脚2021叠置于第二载板组件25的第三侧上。此外，第二载板组件25的第二载板上设置第二定位柱253，对应的绝压压力传感器母版201上设置第二定位孔(未图示)，第二定位柱253与第二定位孔相互配合辅助第二载板组件25的第二载板与绝压压力传感器母版201组装定位。第二容置孔252例如为贯穿槽，其与绝压密封组件26上侧的内凹槽262相互连通。
94.如图4和图8所示，绝压压力传感器母版201的结构和待校准的压力传感器母版200的结构相似，即，绝压压力传感器母版201上绝压压力传感器202的引脚的结构和压力传感器母版2000上的压力传感器2002的引脚结构相似。
95.绝压密封组件26包括气腔，气腔的一侧设置进气口264，气腔的另一侧设置出气口(未图示)，出气口通常设置气腔朝向第二载板组件25的一侧。本实施例中，出气口设置于绝压密封组件26的顶面261上，顶面261朝向第二载板组件25。顶面261上设置内凹槽262，出气口位于内凹槽262的底部。此外，内凹槽262中设置多个导流块263，导流块263将出气口中的气压均匀的导向绝压压力传感器母版201中绝压压力传感器202。此外，内凹槽262的顶部与第二载板组件25的第四侧相互贴合，使得绝压密封组件26与第二载板组件25的第四侧之间形成密封状态。
96.本实施例中，多个导流块263之间间隔设置，并实行多个导流通道，进而将出气口中的压力均匀的分配至绝压压力传感器202中。
97.本实施例中，绝压密封组件26中通过一个气腔朝向绝压压力传感器母版201中的
多个绝压压力传感器芯片202提供校准压力。
98.绝压检测站b对绝压压力传感器芯片202校准时，首先，第二下增压气缸28与第二下浮动组件27相互作用，带动绝压密封组件26朝向第二载板组件25的第四侧移动并贴合于第四侧；其次，第二上增压气缸20与第二上浮动组件等相互作用，带动绝压探针组件24朝向第二载板组件25的第三侧移动并贴合于第三侧，第二定位柱241插入第二定位孔251中，绝压探针组件24与第二载板组件25相互对准，绝压压力传感器母版201上的第二引脚2021进入第二容置腔243中，第二预压块244压低绝压压力传感器芯片202上，第二探针245接触第二引脚2021；然后，将外界的校准压力通过绝压密封组件26的进气口264中导入，经由出气口导出至内凹槽262中，藉由导流块263将压力均匀的导向至绝压压力传感器202；最后，通电状态下，绝压压力传感器202将校准压力所产生的压力信号转换为电信号并经由第二引脚2021输出，再通过电子设备对电信号判断，以获得校准结果。
99.测试完成后，第二下增压气缸28与第二下浮动组件27相互作用，带动绝压密封组件26朝向远离第二载板组件25的第四侧移动；以及，第二上增压气缸20与第二上浮动组件等相互作用，带动绝压探针组件24朝向远离第二载板组件25的第三侧移动；使得第二载板组件25在传送带的作用下可沿着滑槽92移动进入下一校准步骤，例如低温箱中，进行降温操作。
100.本实用新型中定义，绝压密封组件26朝向或者远离第二载板组件25移动的过程为“往复移动”，同样的，绝压探针组件24朝向或者远离第二载板组件25移动的过程为“往复移动”。
101.综上，本实用新型提供一种压力传感器母版及其校准设备，整合若干压力传感器在本体上形成待校准的压力传感器母版，测试校准过程中，本体提供抗形变力，避免探针接触引脚时，导致引脚变形的问题。另外，本体上还设置多个定位孔，多个定位孔和校准装置的载板上的定位柱对准，进而压力传感器上待测试的引脚和测试工位中的探针对位更加容易，且准确度更高。
102.当然，本实用新型还可有其他多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。