一种集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪的制作方法

技术特征：
1.一种集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，其特征于，它包括一个半球谐振子(2)，在半球谐振子(2)边缘设有裙边，底部顶点设有锚杆(2b)；半球谐振子(2)外表面下方是面内电极(4)，电极呈立体球面排列，包含支撑电极座（4d）、支撑电极（4b）以及功能电极组（4a），其中，支撑电极(4b)个数大于等于2，在一个圆周角内等角间距排列，用于固定谐振子，支撑电极(4b)底部通过支撑电极座(4d)相连，支撑电极座(4d）中央开有一锚点腔(4c），供半球谐振子(2）底部锚杆(2b)插入，从而固定半球谐振子(2)，支撑电极(4b)之间的间隙等距插入功能电极组(4a)，并且每个单电极下方均设有金属pad电极(4e)，用于连接导线；半球谐振子(2)的裙边与面外电极(1c)在安装后，两者间形成电容间隙，面外电极(1c)在顶盖(1)的下表面呈平面环形排列，顶盖(1)的边缘突出，并且在边缘上等距设有金属pad电极(1a)，金属pad电极(1a)与面外电极(1c)通过金属涂层导线(1b)相连，金属pad电极通过封底层(6)中与其一一对应的锥型孔(6a)与外部导线相连。2.根据权利要求1所述的集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，其特征在于，所述面外电极(4)所包含的支撑电极(4b)和功能电极组(4a)通过密封环(3)进行固定，密封环(3)与面内电极(4)之间还设有应力释放环(5)，且密封环(3)的俯视图外围轮廓恰好在顶盖(1)突起部分的内缘轮廓之内。3.根据权利要求1所述的集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，其特征在于，谐振子(2)裙边的形状可以是完全覆盖面外电极(1c)所在圆环的环形(2a)，也可以是仅覆盖面外电极(1c)中各电极外轮廓的齿形(2c)。4.根据权利要求1所述的集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，其特征在于，面外电极(1c)内部有一同心圆区域设有吸气剂涂层(1d)。5.根据权利要求1所述的集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，其特征在于，面内电极(4)用来检测谐振子(2)的壳体在垂直于锚杆轴的平面内的振动变形，面外电极(1c)用来检测谐振子(2)的裙边在垂直于锚杆轴的平面外的振动变形。

技术总结
本发明公开一种集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，包括半球谐振子，半球谐振子的半球边缘具有裙边，底部具有锚杆；半球谐振子下方设有面内电极，呈立体球面排列，面内电极通过密封环固定在一起，且面内电极下方设置有金属PAD电极，用于外接导线；半球谐振子上方设有面外电极，呈平面环形排列，与谐振子边缘带相接，面外电极位于顶盖上，顶盖外缘设置有金属PAD电极，用于外接导线；面内电极下方是封底层，封底层边缘有锥型孔，与面内电极下方的金属PAD电极一一对应。本发明同时采用面内电极和面外电极两组电极进行驱动和检测，弥补了面外传感信号弱的不足，提高了面内电极检测的对称性，提高了陀螺的电学对称性低和电学调谐能力。能力。能力。


技术研发人员：庄须叶 刘靖豪 李平华 张佳宁 张晓阳
受保护的技术使用者：山东理工大学
技术研发日：2021.08.20
技术公布日：2021/10/23