一种装置有过滤器的清氦系统的制作方法

1.本实用新型涉及真空检漏技术领域，具体涉及一种装置有过滤器的清氦系统。


背景技术：

2.氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高、精确度高的特点。氦质谱检漏试验是目前密封性检验的最有效手段。
3.为适应不同场合应用的检漏工艺，在氦质谱仪内部设置有各种气路体统，在检漏工艺完成后需要对内部的各种气路体统及质谱系统进行清除残氦，避免残留氦气影响检漏仪的判断。具体的办法是利用压缩气体吹扫检漏区域。压缩气体一般采用惰性气体或空气，由于惰性气体成本较昂贵，所以在实际的清扫工艺中压缩空气的使用占据了绝大部分。而压缩空气直接来源于大气，其中不可避免的会含有水汽、油脂、微尘等杂质。这些水汽、油脂、微尘等杂质经吹扫动作后会残留附着在检漏仪内部的真空系统及质谱系统，造成污染，进而降低了检漏结果的精度和准度，为此，提出一种装置有过滤器的清氦系统。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题在于：在压缩空气作为动力来源使用时，对其洁净度要求并不十分严格，现有的压缩空气过滤装置虽然繁杂多样，但过滤精度却并不十分精密，常常达不到氦质谱检漏所需的技术要求，为解决上述问题，提供了一种装置有过滤器的清氦系统。
5.本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括气体进口接口、过滤器、气体出口接口、阀座，所述过滤器与所述气体进口接口、所述气体出口接口之间均设置有连接管，所述气体进口接口的一端与气源连接，另一端与所述过滤器连接，所述气体出口接口的一端与所述过滤器连接，另一端与所述阀座连接，所述阀座与检漏仪的各个气路系统及质谱系统分别连接。
6.优选的，所述过滤器包括外壳与滤芯，所述滤芯设置在所述外壳的内部。
7.优选的，所述过滤器的数量为多个，多个所述过滤器依次串联。
8.优选的，所述滤芯为微孔陶瓷滤芯、熔喷滤芯中任一种。
9.优选的，所述阀座的内部设置有多条气路通道，每条气路通道上均设置有独立的子控制阀，通过所述子控制阀控制气路通道通断。
10.优选的，所述外壳包括第一侧部、第二侧部、中间连接部，所述第一侧部与所述第二侧部通过所述中间连接部可拆卸连接，所述滤芯设置在所述中间连接部上。
11.优选的，所述第一侧部、所述第二侧部上设置有螺纹方向相反的两组内螺纹，所述中间连接部的两端设置有与两组内螺纹相匹配的外螺纹，所述第一侧部、所述第二侧部之间通过所述中间连接部螺纹连接。
12.优选的，所述过滤器还包括多组防松脱组件，多组所述防松脱组件沿所述过滤器
轴向等间距分布，所述防松脱组件的一端与所述第一侧部连接，另一端与所述第二侧部连接。
13.优选的，所述防松脱组件包括门形架、两个弧形连接板，两个弧形连接板分别连接在所述门形架的两端，其中一个所述弧形连接板通过定位螺栓与所述第一侧部的端面螺纹连接，另一个所述弧形连接板通过定位螺栓与所述第二侧部的端面螺纹连接。
14.本实用新型相比现有技术具有以下优点：在现有清氦系统的基础上增加一级或多级过滤器，采用高精度微孔滤芯结合多级过滤的方法，实现了压缩气体中所含杂质的精密过滤，提高了清氦工艺所用的压缩气体的纯净度，最大程度保证了检漏系统不被污染，满足了检漏清氦工艺的需求，整个系统结构简单实用，成本低廉，值得被推广使用。
附图说明
15.图1是本实用新型实施例一清氦系统的整体结构示意图；
16.图2是本实用新型实施例二中过滤器的剖视图；
17.图3是本实用新型实施例二中过滤器的侧视图。
具体实施方式
18.下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
19.如图1所示，本实施例提供一种技术方案：一种装置有过滤器的清氦系统，包含有气体进口接口1、过滤器2、气体出口接口3、阀座4。
20.所述气体进口接口1的主要技术特征为：作为气体导入氦质谱检漏仪的前端接口，其一端连接气源，另一端连接过滤器，其结构包括但不限于采用快速插拔的方式。
21.所述过滤器2的主要技术特征为：作为过滤气体中所含杂质用，其结构包含过滤器外壳和滤芯。滤芯材质包括但不限于微孔陶瓷滤芯、熔喷滤芯等。实际应用中，根据过滤要求会串联多个过滤器2，形成多级过滤。在过滤器2的一端连接气体进口接口1，另一端连接气体出口接口3。
22.所述气体出口接口3的主要技术特征为：作为经由过滤器过滤后的纯净气体的出口，其一端连接过滤器，另一端连接阀座，其结构包括但不限于采用快速插拔的方式。
23.所述阀座4的主要技术特征为：作为清氦气体与检漏仪内部连接的通断控制零件，其内部设置有多条气路通道，每条气路通道上均设置有独立的子控制阀，经由过滤器过滤后的纯净气体通过阀座4到达检漏仪的各个气路系统及质谱系统。
24.实施例二
25.如图2～3所示，在本实施例中，所述过滤器2包括第一侧部21、第二侧部23、中间连接部22、滤芯221，所述第一侧部21、所述第二侧部23上设置有螺纹方向相反的内螺纹，所述中间连接部22的两端设置有与两组内螺纹相匹配的外螺纹，所述第一侧部21、所述第二侧部23之间通过所述中间连接部22螺纹连接，滤芯221安装在所述中间连接部22上。组合式过滤器结构能够更方便地对过滤器进行拆修维护，一定程度上也降低了使用成本。
26.所述过滤器2还包括多组防松脱组件，多组所述防松脱组件沿所述过滤器2轴向等
间距分布，所述防松脱组件的一端与所述第一侧部21连接，另一端与所述第二侧部23连接。防松脱组件的设置，能够有效地防止过滤器出现意外松脱，保证整个清氦系统能够稳定运行。
27.所述防松脱组件包括门形架241、两个弧形连接板242，两个弧形连接板242分别连接在所述门形架241的两端，其中一个所述弧形连接板242通过定位螺栓与所述第一侧部21的端面螺纹连接，另一个所述弧形连接板242通过定位螺栓与所述第二侧部23的端面螺纹连接，能够有效地防止过滤器结构意外松脱。
28.除上述实施方式外，本实施例的其余实施方式均与实施例一相同。
29.本实用新型的工作原理：将各部件按照设计要求连接，然后由气体进口接口1输入气体，经过多级过滤器2的层层过滤，压缩气体会得到纯净化，压缩气体再经过阀座4内部的各个通道到达检漏仪的各个气路系统及质谱系统，压缩气体的快速流动可以带走附着在零件内壁上的残留氦气，纯净的压缩气体所含杂质被降到最低，由此对氦质谱检漏仪的不良影响也被降到最低。
30.综上所述，该装置有过滤器的清氦系统，在现有清氦系统的基础上增加一级或多级过滤器，采用高精度微孔滤芯结合多级过滤的方法，实现了压缩气体中所含杂质的精密过滤，提高了清氦工艺所用的压缩气体的纯净度，最大程度保证了检漏系统不被污染，满足了检漏清氦工艺的需求，整个系统结构简单实用，成本低廉，值得被推广使用。
31.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。