一种微电子机械系统MEMS加速度计的制作方法

一种微电子机械系统mems加速度计
技术领域
1.本发明涉及mems加速度计技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统mems加速度计。


背景技术：

2.加速度计是一种能够测量物体加速度的惯性传感器，mems是将微电子技术与机械工程融合到一起的技术，mems加速度计就是使用msme技术制造的加速度计，mems加速度计采用了微机电系统技术，具有体积小、重量轻和能耗低等优点，mems微加速度计包括压阻式微加速度计、电容式微加速度计和扭摆式微加速度计等。
3.现有的mems加速度计在实际使用时，其壳体不方便进行拆装，且壳体的电子屏蔽效果较差，现提出一种微电子机械系统mems加速度计来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明提出了一种微电子机械系统mems加速度计，用于解决背景技术中现有的mems加速度计在实际使用时，其壳体不方便进行拆装，且壳体的电子屏蔽效果较差的技术问题。
5.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
6.一种微电子机械系统mems加速度计，包括底板和msme加速度计本体，所述msme加速度计本体设置于底板的上端，所述底板的上端设有壳体，所述壳体的下端与底板靠近左右两侧的上端活动卡接，所述底板的上端设有若干上下连通的接线通孔，所述壳体靠近顶面的内壁上设有电磁屏蔽件，所述壳体的顶面上设有散热防尘机构。
7.优选地，所述底板的上端固定连接有矩形环状凸起，所述msme加速度计本体插设于矩形环状凸起内，所述矩形环状凸起与底板呈一体化成型设置。
8.优选地，所述壳体的下端固定连接有矩形环状垫圈，所述矩形环状垫圈的下端与底板的上端相抵接触，若干所述接线通孔的环形内壁上均固定连接有两块扇形挡尘片。
9.优选地，所述壳体位于左右两侧的下端均固定连接有固定块，两块所述固定块均贯穿矩形环状垫圈设置，所述底板内设有两个腔室，两个所述腔室分别位于两块固定块的下方，两块所述固定块分别贯穿两个腔室的顶面设置，两块所述固定块位于腔室内的相对侧壁上均设有限位卡槽，两个所述腔室远离接线通孔的内壁上均水平贯穿设有勾型卡块，两块所述勾型卡块分别插设于两个限位卡槽内，两个所述腔室的相对内壁上均固定连接有压力弹簧，所述压力弹簧远离腔室内壁的一端与勾型卡块固定连接。
10.优选地，所述电磁屏蔽件包括分别固定连接于壳体左右两侧内壁上的两块限位片，若干所述限位片之间呈两两相对设置，且靠近壳体的顶面设置，若干所述限位片之间插设有同一块电磁屏蔽片，所述电磁屏蔽片的侧壁与壳体的内壁相抵接触。
11.优选地，所述矩形环状垫圈、扇形挡尘片和限位片均为橡胶制品。
12.优选地，所述散热防尘机构设置于壳体顶面上的矩形开口，所述矩形开口的左右
两侧内壁上均设有条形插槽，所述条形插槽的前后两侧内壁分别与矩形开口的前后两侧内壁无缝连接，两个所述条形插槽内插设有同一块防尘软片。
13.优选地，所述防尘软片靠近两个条形插槽的上端均粘合固定有柱形拉杆。
14.本发明与现有技术相比，其有益效果为：
15.1、通过将壳体置于底板上，使得两块固定块分别插设于腔室内，并由压力弹簧带动勾型卡块插设于限位卡槽内，有效对壳体进行卡接固定，方便进行拆装。
16.2、通过将电磁屏蔽片插设于若干橡胶制品的限位片之间，使得电磁屏蔽片对msme加速度计本体提供有效电磁屏蔽。
17.3、通过将防尘软片插设于矩形开口上的条形插槽内，有效对防尘软片进行限位固定，使得防尘软片配合接线通孔内的扇形挡尘片和矩形环状垫圈对壳体内的msme加速度计本体提供有效防尘防护。
附图说明
18.图1为本发明提出的一种微电子机械系统mems加速度计的结构示意图；
19.图2为本发明提出的一种微电子机械系统mems加速度计的截面剖视示意图；
20.图3为图2中a处的局部放大图；
21.图4为本发明提出的一种微电子机械系统mems加速度计的矩形环状凸起的结构示意图；
22.图5为本发明提出的一种微电子机械系统mems加速度计的固定块和勾型卡块的结构示意图；
23.图6为图2中b处的局部放大图；
24.图7为本发明提出的一种微电子机械系统mems加速度计的矩形环状凸起的防尘软片的结构示意图。
25.图中：1底板、2msme加速度计本体、3壳体、4接线通孔、5矩形环状凸起、6矩形环状垫圈、7扇形挡尘片、8固定块、9腔室、10限位卡槽、11勾型卡块、12压力弹簧、13限位片、14电磁屏蔽片、15矩形开口、16条形插槽、17防尘软片、18柱形拉杆。
具体实施方式
26.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
28.参照图1
‑
7所示，一种微电子机械系统mems加速度计，包括底板1和msme加速度计本体2，msme加速度计本体2设置于底板1的上端，底板1的上端固定连接有矩形环状凸起5，msme加速度计本体2插设于矩形环状凸起5内，矩形环状凸起5与底板1呈一体化成型设置，矩形环状凸起5用于对msme加速度计本体2进行限位，底板1的上端设有壳体3，壳体3的下端固定连接有矩形环状垫圈6，矩形环状垫圈6用于壳体3与底板1之间的密封，矩形环状垫圈6
的下端与底板1的上端相抵接触，若干接线通孔4的环形内壁上均固定连接有两块扇形挡尘片7，橡胶制品的扇形挡尘片7能够防止灰尘经由接线通孔4进入壳体3内。
29.壳体3的下端与底板1靠近左右两侧的上端活动卡接，壳体3位于左右两侧的下端均固定连接有固定块8，两块固定块8均贯穿矩形环状垫圈6设置，底板1内设有两个腔室9，两个腔室9分别位于两块固定块8的下方，两块固定块8分别贯穿两个腔室9的顶面设置，两块固定块8位于腔室9内的相对侧壁上均设有限位卡槽10，两个腔室9远离接线通孔4的内壁上均水平贯穿设有勾型卡块11，两块勾型卡块11分别插设于两个限位卡槽10内，两个腔室9的相对内壁上均固定连接有压力弹簧12，压力弹簧12的弹性性能使得勾型卡块11插设于固定块8上的限位卡槽10内，有效将壳体3限位固定在底板1上方，拆卸时只需按压勾型卡块11与限位卡槽10分离，拉动壳体3将固定块8从腔室9内抽出即可，压力弹簧12远离腔室9内壁的一端与勾型卡块11固定连接。
30.底板1的上端设有若干上下连通的接线通孔4，壳体3靠近顶面的内壁上设有电磁屏蔽件，电磁屏蔽件包括分别固定连接于壳体3左右两侧内壁上的两块限位片13，若干限位片13之间呈两两相对设置，且靠近壳体3的顶面设置，若干限位片13之间插设有同一块电磁屏蔽片14，电磁屏蔽片14能够对msme加速度计本体2提供有效电磁屏蔽，电磁屏蔽片14的侧壁与壳体3的内壁相抵接触，矩形环状垫圈6、扇形挡尘片7和限位片13均为橡胶制品，橡胶制品的矩形环状垫圈6和扇形挡尘片7，配合防尘软片17对msme加速度计本体2提供防尘防护。
31.壳体3的顶面上设有散热防尘机构，散热防尘机构设置于壳体3顶面上的矩形开口15，矩形开口15的左右两侧内壁上均设有条形插槽16，条形插槽16的前后两侧内壁分别与矩形开口15的前后两侧内壁无缝连接，两个条形插槽16内插设有同一块防尘软片17，防尘软片17能够防止灰尘进入壳体3内，防尘软片17靠近两个条形插槽16的上端均粘合固定有柱形拉杆18，柱形拉杆18便于拉动防尘软片17与条形插槽16分离，方便拆卸矩形开口15内的防尘软片17。
32.本发明在使用时，手动将msme加速度计本体2放置于底板1上并插设于矩形环状凸起5内，有效对msme加速度计本体2进行限位，手动按压底板1上的两块勾型卡块11，使得勾型卡块11压缩腔室9内的压力弹簧12，手动将电磁屏蔽片14插设于若干橡胶制品的限位片13之间，有效对电磁屏蔽片14进行限位固定，使得电磁屏蔽片14对壳体3内的msme加速度计本体2提供有效电磁屏蔽，随后将壳体3置于底板1上使得两块固定块8分别贯穿两个腔室9设置，松开两块勾型卡块11使得压缩的压力弹簧12带动勾型卡块11插设于固定块8上的限位卡槽10内，有效将壳体3限位固定在底板1上，此时壳体3下端的矩形环状垫圈6与底板1相抵接触，手动将防尘软片17插设于矩形开口15上的条形插槽16内，有效对防尘软片17进行限位固定，使得防尘软片17配合接线通孔4内的扇形挡尘片7和矩形环状垫圈6对壳体3内的msme加速度计本体2提供有效防尘防护，拆卸时只需拉动柱形拉杆18使得防尘软片17与条形插槽16分离后即可。
33.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。