备在真空环境中进行。整个测试电极的制备过程在真空环境下完成，对于敏感样品，如不能见水与其他化学药品的材料，都是极为有利的。
[0033]在步骤S3中，参见图1中的(C)，将所述微颗粒3固定在所述支撑衬底I上。当聚焦离子束/电子束双束系统的抽真空完成后，打开聚焦离子束和电子束，通过电子束成像与样品台的移动，找到需要加工测试电极的微颗粒3。
[0034]所述微颗粒3的固定可以在分散微颗粒3时采用绝缘聚合物固定在所述支撑衬底I上，绝缘聚合物优选为绝缘胶。所述微颗粒3的固定还可以采用聚焦离子束8或电子束诱导的沉积技术，在所述微颗粒3与所述支撑衬底I接触处的边缘通过电子束或聚焦离子束8斜入射沉积物4进行微区沉淀，从而实现所述微颗粒3的固定。
[0035]在步骤S4中，参见图1中的(d)，在所述微颗粒3的表面加工电极条6并将所述电极条6延伸到所述支撑衬底I上，在所述支撑衬底I上沉积加工电极接触块7，以实现所述测试电极的制备。由于步骤S3中微颗粒3的固定可以有两种固定方案，因此，步骤S4中的加工方案相应地也有两种。
[0036]方案一、若所述微颗粒3采用绝缘聚合物固定在所述支撑衬底I上，那么所述电极条6的加工具体包括:在所述微颗粒3的预定表面处采用聚焦离子束8进行微区刻蚀，以获得接触孔5，然后采用聚焦离子束8诱导的化学气相沉积，引入气态分子源，在所述接触孔5处生长所述电极条6。
[0037]方案二、若微颗粒3采用电子束或聚焦离子束8的诱导沉积技术固定在所述支撑衬底I上，那么所述电极条6的加工具体可以继续在所述微颗粒3的预定表面处采用电子束或聚焦离子束8的诱导沉积技术直接生长所述电极条6。
[0038]当所述电极条6生长后，参见图1中的(e)，将所述电极条6延伸到所述支撑衬底I上，在所述支撑衬底I上沉积加工电极接触块7，从而实现所述测试电极的制备。
[0039]重复以上步骤，即可以获得多个测试电极的加工。
[0040]参见图1中的(d)，所述绝缘衬底以及所述微颗粒3可随所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品台转动任意角度Θ以实现所述绝缘衬底与所述微颗粒3接触面处的所述电极条6的沉积。
[0041]在测试电极的制备过程中，样品台可以倾斜不同的角度，使得加工尺寸和定位更加精准，使沉积厚度远远小于微颗粒3的厚度，从而形成了微颗粒3不同面之间的连续的电连接。
[0042]本发明的微颗粒3上制备测试电极的方法可以在纳米尺度的高分辨率下，定点定位的完成，成品率很尚。
[0043]至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本发明的多个示例性实施例，但是，在不脱离本发明精神和范围的情况下，仍可根据本发明公开的内容直接确定或推导出符合本发明原理的许多其他变型或修改。因此，本发明的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。
【主权项】
1.一种微颗粒上制备测试电极的方法，通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，具体步骤包括: 步骤1、选取支撑衬底； 步骤2、在所述支撑衬底上分散排布所述微颗粒； 步骤3、将分散排布后的微颗粒固定在所述支撑衬底上； 步骤4、在固定的微颗粒的表面加工电极条并将所述电极条延伸到所述支撑衬底上，在所述支撑衬底上沉积加工电极接触块，以实现所述测试电极的制备。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤2中的所述微颗粒通过超声分散后滴定在所述支撑衬底上。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤2中的所述微颗粒直接放置在所述支撑衬底上。4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述步骤2在分散所述微颗粒之后，再用导电的碳带、铜带或银胶将分散有微颗粒的支撑衬底固定在所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品托上，放入所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品室中的样品台上，并对所述聚焦离子束/电子束双束系统抽真空。5.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述步骤3是在所述步骤2分散微颗粒时，直接通过绝缘聚合物将所述微颗粒固定在所述支撑衬底上。6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述步骤4中电极条的加工具体包括:在所述微颗粒的预定表面处采用聚焦离子束进行微区刻蚀，以获得接触孔，然后采用聚焦离子束诱导的化学气相沉积，引入气态分子源，在所述接触孔处生长所述电极条。7.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述步骤3中的所述微颗粒通过聚焦离子束或电子束诱导的沉积技术在所述微颗粒与所述支撑衬底接触处的边缘进行微区沉淀，从而实现所述微颗粒的固定。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述步骤4所述电极条的加工具体是在所述微颗粒的预定表面处采用聚焦离子束或电子束诱导的沉积技术生长所述电极条。9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其中，所述步骤I中的所述支撑衬底选用绝缘块材衬底或具有电介质层的其他衬底。10.根据权利要求1-9中任一项所述的方法，其中，所述支撑衬底以及所述微颗粒可随所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品台转动任意角度以实现所述支撑衬底与所述微颗粒接触面处的所述电极条的沉积。
【专利摘要】本发明提供了一种微颗粒上制备测试电极的方法，涉及新型材料与器件的加工制备领域。本发明通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，具体步骤包括：选取支撑衬底在所述支撑衬底上分散排布所述微颗粒；将分散排布后的微颗粒固定在所述支撑衬底上；在固定的微颗粒的表面加工电极条并将所述电极条延伸到所述支撑衬底上，在所述支撑衬底上沉积加工电极接触块，以实现所述测试电极的制备。本发明的微颗粒上制备测试电极的方法，通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，工艺步骤简单、难度低、耗时少、且具有较高的灵活性。本发明的方法，适用于一些非常规微尺寸器件。
【IPC分类】B81B7/00, H01L39/24, B81C1/00
【公开号】CN105502276
【申请号】CN201610008779
【发明人】顾长志, 李无瑕, 金爱子, 李俊杰
【申请人】中国科学院物理研究所
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2016年1月6日
[0033]在步骤S3中，参见图1中的(C)，将所述微颗粒3固定在所述支撑衬底I上。当聚焦离子束/电子束双束系统的抽真空完成后，打开聚焦离子束和电子束，通过电子束成像与样品台的移动，找到需要加工测试电极的微颗粒3。
[0034]所述微颗粒3的固定可以在分散微颗粒3时采用绝缘聚合物固定在所述支撑衬底I上，绝缘聚合物优选为绝缘胶。所述微颗粒3的固定还可以采用聚焦离子束8或电子束诱导的沉积技术，在所述微颗粒3与所述支撑衬底I接触处的边缘通过电子束或聚焦离子束8斜入射沉积物4进行微区沉淀，从而实现所述微颗粒3的固定。
[0035]在步骤S4中，参见图1中的(d)，在所述微颗粒3的表面加工电极条6并将所述电极条6延伸到所述支撑衬底I上，在所述支撑衬底I上沉积加工电极接触块7，以实现所述测试电极的制备。由于步骤S3中微颗粒3的固定可以有两种固定方案，因此，步骤S4中的加工方案相应地也有两种。
[0036]方案一、若所述微颗粒3采用绝缘聚合物固定在所述支撑衬底I上，那么所述电极条6的加工具体包括:在所述微颗粒3的预定表面处采用聚焦离子束8进行微区刻蚀，以获得接触孔5，然后采用聚焦离子束8诱导的化学气相沉积，引入气态分子源，在所述接触孔5处生长所述电极条6。
[0037]方案二、若微颗粒3采用电子束或聚焦离子束8的诱导沉积技术固定在所述支撑衬底I上，那么所述电极条6的加工具体可以继续在所述微颗粒3的预定表面处采用电子束或聚焦离子束8的诱导沉积技术直接生长所述电极条6。
[0038]当所述电极条6生长后，参见图1中的(e)，将所述电极条6延伸到所述支撑衬底I上，在所述支撑衬底I上沉积加工电极接触块7，从而实现所述测试电极的制备。
[0039]重复以上步骤，即可以获得多个测试电极的加工。
[0040]参见图1中的(d)，所述绝缘衬底以及所述微颗粒3可随所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品台转动任意角度Θ以实现所述绝缘衬底与所述微颗粒3接触面处的所述电极条6的沉积。
[0041]在测试电极的制备过程中，样品台可以倾斜不同的角度，使得加工尺寸和定位更加精准，使沉积厚度远远小于微颗粒3的厚度，从而形成了微颗粒3不同面之间的连续的电连接。
[0042]本发明的微颗粒3上制备测试电极的方法可以在纳米尺度的高分辨率下，定点定位的完成，成品率很尚。
[0043]至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本发明的多个示例性实施例，但是，在不脱离本发明精神和范围的情况下，仍可根据本发明公开的内容直接确定或推导出符合本发明原理的许多其他变型或修改。因此，本发明的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。
【主权项】
1.一种微颗粒上制备测试电极的方法，通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，具体步骤包括: 步骤1、选取支撑衬底； 步骤2、在所述支撑衬底上分散排布所述微颗粒； 步骤3、将分散排布后的微颗粒固定在所述支撑衬底上； 步骤4、在固定的微颗粒的表面加工电极条并将所述电极条延伸到所述支撑衬底上，在所述支撑衬底上沉积加工电极接触块，以实现所述测试电极的制备。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤2中的所述微颗粒通过超声分散后滴定在所述支撑衬底上。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述步骤2中的所述微颗粒直接放置在所述支撑衬底上。4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述步骤2在分散所述微颗粒之后，再用导电的碳带、铜带或银胶将分散有微颗粒的支撑衬底固定在所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品托上，放入所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品室中的样品台上，并对所述聚焦离子束/电子束双束系统抽真空。5.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述步骤3是在所述步骤2分散微颗粒时，直接通过绝缘聚合物将所述微颗粒固定在所述支撑衬底上。6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述步骤4中电极条的加工具体包括:在所述微颗粒的预定表面处采用聚焦离子束进行微区刻蚀，以获得接触孔，然后采用聚焦离子束诱导的化学气相沉积，引入气态分子源，在所述接触孔处生长所述电极条。7.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，所述步骤3中的所述微颗粒通过聚焦离子束或电子束诱导的沉积技术在所述微颗粒与所述支撑衬底接触处的边缘进行微区沉淀，从而实现所述微颗粒的固定。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述步骤4所述电极条的加工具体是在所述微颗粒的预定表面处采用聚焦离子束或电子束诱导的沉积技术生长所述电极条。9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其中，所述步骤I中的所述支撑衬底选用绝缘块材衬底或具有电介质层的其他衬底。10.根据权利要求1-9中任一项所述的方法，其中，所述支撑衬底以及所述微颗粒可随所述聚焦离子束/电子束双束系统的样品台转动任意角度以实现所述支撑衬底与所述微颗粒接触面处的所述电极条的沉积。
【专利摘要】本发明提供了一种微颗粒上制备测试电极的方法，涉及新型材料与器件的加工制备领域。本发明通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，具体步骤包括：选取支撑衬底在所述支撑衬底上分散排布所述微颗粒；将分散排布后的微颗粒固定在所述支撑衬底上；在固定的微颗粒的表面加工电极条并将所述电极条延伸到所述支撑衬底上，在所述支撑衬底上沉积加工电极接触块，以实现所述测试电极的制备。本发明的微颗粒上制备测试电极的方法，通过聚焦离子束/电子束双束系统在微颗粒的表面制备测试电极，工艺步骤简单、难度低、耗时少、且具有较高的灵活性。本发明的方法，适用于一些非常规微尺寸器件。
【IPC分类】B81B7/00, H01L39/24, B81C1/00
【公开号】CN105502276
【申请号】CN201610008779
【发明人】顾长志, 李无瑕, 金爱子, 李俊杰
【申请人】中国科学院物理研究所
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2016年1月6日
再多了解一些
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