一种纳米连接装置的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种纳米连接装置，涉及加工制造技术领域。本实用新型所述纳米连接装置，包括真空腔、近场光发生装置、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置和控制装置；所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置，所述纳米操作装置设置于所述真空腔内部，所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端，所述执行端设置于所述真空腔内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上，所述电子束发射及调控模块与所述电子束物镜相连接，所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块、所述纳米操作装置分别与所述控制装置相连接。本实用新型不需要移出样品，通过所述样品台配合所述执行端操作装置，所述样品的操作灵活度更佳，从而提高纳米连接的精度。

技术研发人员：杨立军;王根旺;王扬;侯超剑;丁烨;赵春洋
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.12.27