MEMS设备和电子装置的制作方法

2019-09-12 10:37:00 来源：中国专利 TAG：装置公开设备电子 MEMS

技术总结
本实用新型的各实施例涉及MEMS设备和电子装置。一种MEMS设备，包括：主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分，在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变形部分之上。MEMS设备的特征在于其包括凹槽结构，该凹槽结构在主体内延伸并且为可变形部分界定止动器部分。

技术研发人员：D·帕奇;M·费雷拉;A·皮科
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2018.10.30
技术公布日：2019.09.10

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