技术特征：
技术总结
本发明涉及一种微机械传感器(100)，该微机械传感器具有：‑衬底(10)；布置在所述衬底(10)上的第一功能层(20)；‑布置在所述第一功能层(20)上的第二功能层(30)，该第二功能层具有能运动的微机械结构(31)；‑在所述衬底(10)中布置在所述能运动的微机械结构(31)下方的空腔(11)；和围绕所述第二功能层(30)的所述能运动的微机械结构(31)构造的并且延伸到所述衬底(10)中直至所述空腔(11)的垂直的沟槽结构(40)。
技术研发人员：J·拜恩特纳;C·舍林
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.09.25
技术公布日：2019.06.04
再多了解一些
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