一种加载高温环境的激波聚焦激励装置及其工作方法与流程

技术特征：

技术总结
一种加载高温环境的激波聚焦激励装置及其工作方法，属于微型机械电子技术领域。该装置包括筒体、电动两轴位移台、光加热单元和微结构激励单元，微结构激励单元在第二连接板底部中心安装有激波聚焦腔体，在激波聚焦腔体上端面设有半椭球腔，在激波聚焦腔体两个相对的侧表面上分别通过陶瓷管套装有针电极，每个针电极的针尖均位于半椭球腔的腔体内焦点附近，且两针电极针尖之间的距离为0.5‑1.0mm。光加热单元中使用了遮光片和遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上。该装置可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。

技术研发人员：田江平;崔靖晨;田华;隆武强;冯立岩;武文华
受保护的技术使用者：大连理工大学
技术研发日：2018.12.17
技术公布日：2019.04.16