技术特征：
技术总结
本发明涉及一种质点振速测量敏感结构及其制备方法，硅衬底上形成有桥孔，桥孔的一侧上设有第一电极，桥孔的另一侧上设有第二电极、第三电极，桥孔上方设有第一薄丝、第二薄丝，第一薄丝、第二薄丝平行设置且保持微间距，两个薄丝的一端均与第一电极连接，两个薄丝的另一端分别与第二电极、第三电极连接，第一薄丝、第二薄丝的结构均为，薄丝的两端部位呈弯曲状，薄丝的中间部位呈平直的矩形状；薄丝中间部位的宽度、厚度大于薄丝两端部位的宽度、厚度。本发明薄丝两端部位采用窄薄弯曲的特有结构，减小通过薄丝进行热传导的有效截面积，同时增加了热传递路径长度，从而可有效抑制敏感结构有限长度边界热传导效应，改善在低频段响应特性。
技术研发人员：刘云飞;周瑜;冯杰
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第三研究所
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2018.05.25
再多了解一些
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