一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置的制作方法

技术总结
本发明公开了一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有指向微结构单元的针电极单元；所述微结构单元包括安装套，在安装套的安装孔内一端压装有弹性底座，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，在弹性底座内通过绝缘套镶装有板电极，弹性底座内侧安装有MEMS微结构；在安装孔内另一端压装有光学玻璃板；在安装套外壁沿径向设有真空接头；所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接，所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极。该装置结构安装牢固，操作简便安全，便于在真空环境下测试微结构的动态特性参数。

技术研发人员：佘东生;杨一柳;杨祯山;尹作友;韩莹
受保护的技术使用者：渤海大学
技术研发日：2016.09.30
技术公布日：2018.06.08