一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器，该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术，采用压阻式悬臂梁结构，将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置，通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥，能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。

技术研发人员：余占清;王铁柱;蔡素雄;王晓蕊;高士森;黄泽荣;施理成
受保护的技术使用者：广东电网有限责任公司惠州供电局;清华大学
技术研发日：2017.09.27
技术公布日：2018.06.08