技术特征：
技术总结
一种复合固支梁及其制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金‑石墨烯‑金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
技术研发人员：张亭;王忆文;王弘喆;陈兆隽;安佳琪;鲍景富
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2017.09.15
技术公布日：2018.01.30
再多了解一些
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