技术特征：
技术总结
本发明公开了一种并联压电三维微伺服平台的结构，包括基体，所述的基体包括类似于三角形状的中间反光镜和与所述中间反光镜的三个角分别相连的三个压梁基体，在所述的三个基体的表面粘贴有压电陶瓷片进而形成三个压电陶瓷驱动器；三个压电陶瓷驱动器也呈三角形方式排布，所述中间反光镜位于三个压电陶瓷驱动器形成的内部空间内；通过在三个压电陶瓷片上加载电压来控制压电陶瓷驱动器的弯曲，进而实现中间反光镜绕x、y轴的转动和垂直方向的平动。
技术研发人员：闫鹏;陈宁
受保护的技术使用者：山东大学
技术研发日：2017.08.29
技术公布日：2018.01.09
再多了解一些
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