MEMS微反射镜设备和电气装置的制作方法

技术特征：

1.一种MEMS微反射镜设备，其特征在于，包括采用半导体材料的单体本体，所述单体本体具有第一主表面和第二主表面，其中，所述单体本体具有从所述第二主表面延伸的开口并且包括单晶半导体材料的悬置膜，所述悬置膜在所述开口与所述单体本体的所述第一主表面之间延伸；

其中，所述悬置膜包括支撑框架和可移动质量块，所述可移动质量块由所述框架承载并且可围绕与所述第一主表面平行的轴线旋转；并且

反射区域在所述可移动质量块之上延伸。

2.根据权利要求1所述的MEMS微反射镜设备，其特征在于，进一步包括采用氧化物的电绝缘区域，所述电绝缘区域围绕所述支撑框架在所述悬置膜周围从所述第一主表面外围地延伸至所述开口，所述电绝缘区域将所述支撑框架与周围的固定支撑区域分离。

3.根据权利要求2所述的MEMS微反射镜设备，其特征在于，所述电绝缘区域包括氧化物区域，所述氧化物区域完全环绕所述悬置膜并且大体上呈块状。

4.根据权利要求2所述的MEMS微反射镜设备，其特征在于，所述电绝缘区域包括氧化物部分和孔。

5.一种电气装置，其特征在于，包括图像投影模块，所述图像投影模块包括根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS微反射镜设备以及被配置成用于生成指向所述反射区域的源光束的光源。

6.根据权利要求5所述的电气装置，其特征在于，进一步包括图像捕获模块，所述图像捕获模块可操作地耦合至所述图像投影模块并且被配置成用于捕获与所述反射区域所反射的光束相关联的图像。