传感器、用于制造传感器的方法和用于安装传感器的方法与流程

技术特征：
1.一种传感器（100），其中传感器（100）具有下列特征：基体，其具有用于将传感器以第一空间方向固定在载体结构处的第一固定面和至少一个用于将传感器以第二空间方向固定在载体结构处的第二固定面，传感器面（102），在其上布置传感器元件（106），所述传感器元件（106）被构造为接收有向测量参数的方向分量，其中所述传感器面置入在第一固定面中；以及倾斜面（104），在其上布置至少一个用于接触传感器元件（106）的接触面（108），其中所述倾斜面置入在第二固定面中，并且其中倾斜面（104）与传感器（100）的载体材料（400）的晶格结构具有一角度并且其中倾斜面（104）被定向在与传感器面（102）不同的方向上。2.根据权利要求1所述的传感器（100），其中传感器面（102）和倾斜面（104）具有共同的边。3.根据前述权利要求之一所述的传感器（100），其中在传感器面（102）上布置至少一个另外的接触面，其中所述另外的接触面比倾斜侧（104）上的接触面（108）具有更小的尺寸。4.一种用于制造第一传感器（100）和至少一个第二传感器（100）的方法（200），其中该方法（200）包括下列步骤：提供（202）由晶体载体材料制成的晶片（400），其中在晶片（400）的传感器面（102）上布置第一传感器元件（106）和至少一个第二传感器元件（106）；确定（204）晶片（400）的传感器面（102）上的加工面（404），其中加工面（404）布置在第一传感器元件（106a,c）与第二传感器元件（106b,d）之间并且将要制造的传感器元件（106a-d）彼此分离；在加工面（404）的区域中除去（206）晶片（400）的一部分，以便制造第一倾斜面（104）和相对的第二倾斜面（104），其中所述除去在使用各向异性的刻蚀工艺的情况下执行，在所述各向异性的刻蚀工艺中，在与载体材料（400）的晶格结构成一定角度的情况下除去载体材料（400），以便制造倾斜面（104）；将至少一个用于接触第一传感器元件（106）的第一接触面（108）置入（208）到第一倾斜面（104）中；分离（210）第一倾斜面（104）与第二倾斜面（104）之间的传感器（100），以便分开传感器（100）；以及露出所述传感器面和所述接触面，以便利用传感器面将传感器以第一空间方向固定在载体结构处以及利用接触面将传感器以第二空间方向固定在载体结构处。5.根据权利要求4所述的方法（200），其中除了将至少一个用于接触第一传感器元件（106）的第一接触面（108）置入（208）到第一倾斜面（104）中以外，还将至少一个用于接触第二传感器元件（106）的第二接触面（108）置入到第二倾斜面（104）上。6.根据权利要求4或5所述的方法（200），其中在确定步骤（204）中在使用所期望的加工深度与预定的角度之间的关联的情况下确定加工面（404）。7.根据权利要求4或5所述的方法（200），其中在确定步骤（204）中，确定晶片（400）的与传感器面（102）相对的下侧上的第二加工面（404），并且在除去步骤（206）中，在使用各向异性的刻蚀工艺的情况下除去第二加工面（404）的区域中的载体材料（400），以便制造另外的倾斜面。8.根据权利要求7所述的方法（200），其中在确定步骤（204）中，将下侧上的第二加工面（404）确定为与传感器面（102）上的加工面（404）成预定的侧面偏移。9.一种用于将传感器（100）安装在载体结构（500）上的方法（300），其中传感器（100）具有传感器面（102），在所述传感器面（102）上布置传感器元件（106），所述传感器元件（106）被构造为接收有向测量参数的方向分量，并且传感器（100）具有倾斜面（104），在所述倾斜面（104）上布置至少一个用于接触传感器元件（106）的接触面（108），其中倾斜面（104）与传感器（100）的载体材料（400）的晶格结构具有一角度并且其中倾斜面（104）被定向在与传感器面（102）不同的方向上，其中该方法（300）包括下列步骤：将传感器（100）放置（302）在载体结构（500）上，其中传感器（100）的倾斜面（104）在安装面（502）上与载体结构（500）的表面成锐角，并且其中倾斜面（104）和/或安装面（502）的至少一个部分区域被安装材料覆盖；使布置在安装面（502）上的安装材料液化（304），以便在使用液化的安装材料的界面张力的情况下通过倾斜传感器（100）将倾斜面（104）布置到安装面（502）上的边上；以及使安装材料硬化（306），以便将传感器（100）与载体结构（500）连接。10.根据权利要求9所述的方法（300），其中载体材料（400）对安装材料是排斥性的，并且在液化步骤（304）中，液化的安装材料受到载体材料（400）排斥，其中安装材料粘附在接触面（108）处。11.根据权利要求9至10之一所述的方法（300），其中在放置步骤（302）中将传感器（100）放置为与至少两个安装面（502）偏离，其中安装面（502）被构造为载体结构（500）的接触面以用于电接触传感器（100），并且在硬化步骤（306）中，将传感器（100）的布置在倾斜面（104）上的接触面（108）与载体结构（500）的接触面导电地连接。