电容式指纹传感器及其形成方法和电子产品与流程

技术总结
一种电容式指纹传感器及其形成方法和电子产品。其中，电容式指纹传感器的形成方法包括：提供前端器件层；在前端器件层上形成金属互连结构；形成金属互连结构至少包括：形成次顶层金属互连层；在次顶层金属互连层上形成第一绝缘层；在第一绝缘层中形成第一通孔，第一通孔暴露至少部分次顶层金属互连层；在第一通孔内形成第一插塞；在第一绝缘层和第一插塞上形成第一刻蚀停止层；在第一刻蚀停止层上形成第二绝缘层；在第二绝缘层和第一刻蚀停止层中形成第二通孔，第二通孔暴露至少部分第一插塞表面；在第二通孔内形成第二插塞；在第二绝缘层和第二插塞上方形成顶层金属互连层。所述形成方法形成的电容式指纹传感器中，指纹识别灵敏度提高。

技术研发人员：高燕
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
文档号码：201510916676
技术研发日：2015.12.10
技术公布日：2017.06.20