一种三维纳米多孔硅的制备装置及制备系统的制作方法

技术特征：

1.一种三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，包括底座、激波发生器、激波电源、工作液槽、化学刻蚀反应容器以及温度计，所述激波发生器设置于所述底座的顶部，所述工作液槽设置于所述激波发生器的顶部，所述化学刻蚀反应容器通过夹持装置设置于所述工作液槽内，所述温度计设置于所述化学刻蚀反应容器内，所述工作液槽内设置有加热元件，所述激波电源设置于所述底座的侧壁，所述激波发生器的电路和所述加热元件的电路均与所述激波电源的电路连接。

2.根据权利要求1所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述夹持装置包括相互连接的立杆和夹件，所述立杆固定连接于所述底座，所述夹件夹设于所述化学刻蚀反应容器的外壁。

3.根据权利要求2所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述夹持装置还包括升降杆、升降机，所述立杆中空且侧壁沿长度方向开设有条状开口，所述升降杆设置于所述立杆内，所述升降机设置于所述底座内，所述升降杆的底端与所述升降机连接，所述夹件远离所述化学刻蚀反应容器的一端穿过所述条状开口与所述升降杆连接。

4.根据权利要求3所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述夹持装置还包括横杆，所述横杆连接于所述立杆远离所述底座的一端，所述温度计远离所述化学刻蚀反应容器的一端与所述横杆连接。

5.根据权利要求1所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，还包括抽吸泵，所述化学刻蚀反应容器的底部设置有过滤器，所述过滤器与所述化学刻蚀反应容器的底壁之间形成一个出液腔，所述化学刻蚀反应容器对应所述出液腔的侧壁开设有出液孔，所述出液孔与所述抽吸泵连通。

6.根据权利要求5所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述过滤器包括过滤膜和过滤器主体，所述过滤膜的边缘与所述过滤器主体可拆卸连接，所述过滤器主体与所述化学刻蚀反应容器的内壁可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述化学刻蚀反应容器的内壁设置有用于放置所述过滤器主体的环形凸起，且所述过滤器主体与所述环形凸起之间设置有第一密封垫。

8.根据权利要求7所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述过滤器主体包括相互扣接的支撑网和扣合件，所述过滤膜夹设于所述支撑网和所述扣合件之间。

9.根据权利要求8所述的三维纳米多孔硅的制备装置，其特征在于，所述支撑网靠近所述扣合件的一侧设置有第二密封垫，所述扣合件靠近所述支撑网的一侧设置有第三密封垫。

10.一种三维纳米多孔硅的制备系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的三维纳米多孔硅的制备装置。