微机电系统电触点系统和方法与流程

技术总结
本发明涉及一种微机电系统(MEMS)器件，所述器件可设置有一个或多个烧结电触点。所述MEMS器件可为MEMS致动器或MEMS传感器。所述烧结电触点可为银糊剂金属化电触点。所述烧结电触点可通过以下步骤形成：在被释放的MEMS器件的晶片上沉积烧结材料诸如金属糊剂、金属预成型件、金属油墨或金属粉末，并加热所述晶片使得所述被沉积的烧结材料扩散至所述器件的衬底中，从而与所述器件形成电接触。所述被沉积的烧结材料在所述烧结过程中可冲破所述衬底上的绝缘层。所述MEMS器件可为具有第一MEMS致动器和第二MEMS致动器的多自由度致动器，所述第一MEMS致动器和第二MEMS致动器促进摄像机的自动对焦、变焦和光学图像稳定。

技术研发人员：R·C·古蒂瑞兹
受保护的技术使用者：数字光学MEMS公司
文档号码：201480072490
技术研发日：2014.11.06
技术公布日：2016.11.23