一种基于电热驱动的MEMS旋转执行器的制作方法

2021-10-26 12:24:55 来源：中国专利 TAG：微机电热旋转执行器驱动

技术总结
本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS旋转执行器，所述基于电热驱动的MEMS旋转执行器包含四层结构，其中第二层是该执行器的主要结构层，在两端的阵列V型电热驱动器上加载相同的电压，V型电热驱动器的顶端输出力和位移，经过两级柔性杠杆机构的放大作用，从而使中间的圆环获得较大的转动角度。本发明可集成于微机电系统(MEMS)，能够产生大旋转角度的微执行器；且结构简单，设计方法新颖，可采用标准的SOIMUMPs工艺加工，能够有效地增大圆环的转动角度，促进了执行器在MEMS领域的发展和应用。

技术研发人员：刘泽文;王波林
受保护的技术使用者：苏州希美微纳系统有限公司
文档号码：201510209964
技术研发日：2015.04.28
技术公布日：2016.11.23

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