一种基于电热驱动的MEMS旋转执行器的制作方法

技术特征：

1.一种基于电热驱动的MEMS旋转执行器，包括旋转圆环(9)，其特征在于，它还包括自上而下紧贴的至少四层结构：电极层(a)、结构层(b)、电绝缘氧化隔离层(c)和基底层(d)，

所述电极层包括四个电极(A1、A2、A3、A4)，四个电极(A1、A2、A3、A4)对称分布在执行器的两端；

所述结构层包括阵列V型电热驱动器和杠杆，所述杠杆包括推力杠杆(4)和拉力杠杆(7)；

所述电绝缘氧化隔离层包括阵列V型电热驱动器的锚点(m、n、p、q)和杠杆的锚点(u、v、x、y)；

所述结构层还包括与阵列V型电热驱动器和推力杠杆(4)相连的柔性梁(2)、推力杠杆(4)在锚点(u)处的柔性梁(3)、推力杠杆(4)和拉力杠杆(7)的连接梁(5)、拉力杠杆(7)在锚点(v)处的柔性梁(6)、旋转圆环(9)、拉力杠杠(7)与旋转圆环(9)的柔性连接梁(8)，其中推力杠杆(4)和拉力杠杠(7)为柔性杠杆机构的主要组成部分，

所述执行器的结构层以旋转圆环(9)为对称点，所述阵列V型电热驱动器和柔性杠杆机构皆是具有一定刚度的弹性机构。

2.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述阵列V型电热驱动器和柔性杠杆机构刚度比值为1。

3.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特 征在于，所述电绝缘氧化隔离层为氧化硅隔离层。

4.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述四个电极为Ti/Au电极。

5.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述结构层主要成分为掺杂硅。

6.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述基底层采用硅制成。

7.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述拉力杠杠(7)与旋转圆环(9)的柔性连接梁(8)长500～1200微米，宽5～30微米。

8.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述柔性连接梁(8)与旋转圆环(9)之间预留旋转角度为20～60°。

9.根据权利要求1所述的基于电热驱动的MEMS旋转执行器，其特征在于，所述旋转圆环(9)的旋转角度为45～120°。