一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置的制作方法

技术总结
本发明公开了一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，在椭球腔体一侧设有第一针电极单元，其第一针电极针尖指向第一焦点；微结构单元位于所述椭球面的第二焦点处；在椭球腔体上另一侧设有第二针电极单元，其第二针电极针尖指向椭球面的第一焦点；第一、第二针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与第一针电极之间设有第一空气开关；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好。

技术研发人员：佘东生;杨一柳;赵玉峰;尹作友;赵辉
受保护的技术使用者：渤海大学
文档号码：201610867624
技术研发日：2016.09.30
技术公布日：2017.05.10