一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置的制作方法

技术特征：

1.一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，包括基板，其特征是：在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有微结构单元；所述微结构单元包括一个安装套，在安装套内设有阶梯状安装孔，在安装孔内底部通过微结构安装板安装有MEMS微结构；在安装孔外端口处通过压板压装有光学玻璃板；

在支座上端设有椭球腔体，椭球腔体的内腔为半个椭球面，该椭球面的第一焦点位于椭球腔体内；在椭球腔体一侧设有第一针电极单元，第一针电极单元包括分别固定在椭球腔体上且依次嵌套的轴套、弹簧安装座和外套，在外套内设有第一滑动套，第一滑动套外缘为阶梯轴状且前端由弹簧安装座和轴套的中心孔穿出并插入到椭球腔体内腔，在第一滑动套前端中心孔内设有外部套有绝缘套的第一针电极，该第一针电极的针尖位于椭球面第一焦点的横截面上且指向椭球面的第一焦点；在弹簧安装座外端止口与第一滑动套之间设有复位弹簧，在外套中心处通过螺纹连接有调节螺杆，调节螺杆前端顶靠在第一滑动套外端，用于调节第一针电极的轴向位置；所述微结构单元位于椭球腔体内腔开口一侧椭球面的第二焦点处；

在椭球腔体上对应微结构单元的另一侧设有第二针电极单元，第二针电极单元包括一个槽型支架，槽型支架通过其一侧立板固定在椭球腔体上，在槽型支架两侧的立板之间设有平行布置的导向轴和丝杠并在导向轴上套设有传动板，传动板与丝杠之间通过丝母连接，在槽型支架的另一侧立板外侧设有与丝杠同轴连接的步进电机；在传动板中部固定有第二滑动套，第二滑动套前端由所述一侧立板穿出并插入到椭球腔体内腔，在第二滑动套前端中心孔内设有外部套有绝缘套的第二针电极，第二针电极针尖指向椭球面的第一焦点且位于与所述椭球面第一焦点的横截面垂直的纵截面上；

第一针电极和第二针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与第一针电极之间设有第一空气开关；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。

2.根据权利要求1所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述绝缘套为陶瓷管并通过顶丝分别固定在第一滑动套前端和第二滑动套前端。

3.根据权利要求1所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述安装套通过一个水平支座安装在所述Z轴溜板上。

4.根据权利要求3所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述微结构安装板通过圆周均布的螺钉固定在安装孔内底部的环形平面上，在微结构安装板上设有与所述安装孔底部小孔相对应的通孔，MEMS微结构粘接在微结构安装板上。

5.根据权利要求1所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述轴套、弹簧安装座和外套分别通过螺钉固定在椭球腔体上，其中轴套外缘为阶梯状且前部插入到设在椭球腔体一侧的安装孔内，所述第一滑动套与轴套之间滑动间隙配合。

6.根据权利要求5所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述调节螺杆为空心结构且与第一滑动套中心孔对应相通，用于穿过连接第一针电极的导线。

7.根据权利要求1所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述第二滑动套外缘为阶梯轴状且穿过所述传动板，第二滑动套的大径端通过圆周均布的螺钉固定在传动板上，在所述一侧立板上对应第二滑动套引出处固定有导向套，导向套前端插入到椭球腔体内。

8.根据权利要求7所述的一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，其特征是：所述槽型支架是由两侧的立板通过底部的连接板连接而成。