一种衬底固定装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种衬底固定装置。
【背景技术】
[0002]在微纳米技术领域，经常要用到衬底。衬底多数有玻璃或陶瓷制备成的薄片，由于衬底较薄，并且容易破碎，在衬底的使用过程中，为了在衬底表面进行加工处理，怎么将衬底快速的固定，并且保证衬底的完整性，是一个急需解决的问题。
[0003]为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种衬底固定装置，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【实用新型内容】
[0004]为了克服【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种衬底固定装置，包括底盘、U形卡件、推块、复位弹簧和衬底压片，所述U形卡件固定在底盘上，所述U形卡件上设有复位按钮，所述推块从U形卡件内穿过，所述推块的前端设有复位弹簧固定柱，所述复位弹簧的一端固定在复位弹簧固定柱上，所述复位弹簧的另一端固定在底盘上，所述衬底压片固定在推块上。
[0005]本实用新型所涉及的一种衬底固定装置，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型一种衬底固定装置的结构不意图；
[0008]其中:1、底盘;2、U形卡件;3、推块;4、复位按钮;5、复位弹簧;6、复位弹簧固定柱；7、衬底压片。
【具体实施方式】
[0009]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0010]具体实施例，请参阅图1，一种衬底固定装置，包括底盘1、U形卡件2、推块3、复位弹簧5和衬底压片7，所述U形卡件2固定在底盘I上，所述U形卡件2上设有复位按钮4，所述推块3从U形卡件2内穿过，所述推块3的前端设有复位弹簧固定柱6，所述复位弹簧5的一端固定在复位弹簧固定柱6上，所述复位弹簧5的另一端固定在底盘I上，所述衬底压片7固定在推块3上。
[0011]本实用新型所涉及的一种衬底固定装置，该衬底固定装置在使用过程中，将衬底放置在底盘I上，推动推块3使衬底压片7将衬底压住，待对衬底的操作完成后按下复位按钮4，在复位弹簧5的作用下衬底压片7放开衬底，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘I和衬底压片7之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
[0012]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种衬底固定装置，包括底盘(l)、u形卡件(2)、推块(3)、复位弹簧(5)和衬底压片(7)，其特征在于:所述U形卡件(2)固定在底盘(I)上，所述U形卡件(2)上设有复位按钮(4)，所述推块(3)从U形卡件(2)内穿过，所述推块(3)的前端设有复位弹簧固定柱(6)，所述复位弹簧(5)的一端固定在复位弹簧固定柱(6)上，所述复位弹簧(5)的另一端固定在底盘(I)上，所述衬底压片(7)固定在推块(3)上。
【专利摘要】本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种衬底固定装置。该衬底固定装置，包括底盘、U形卡件、推块、复位弹簧和衬底压片，所述U形卡件固定在底盘上。本实用新型所涉及的一种衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【IPC分类】B81C1/00
【公开号】CN205328605
【申请号】CN201620053819
【发明人】王云翔
【申请人】苏州美图半导体技术有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2016年1月20日
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种衬底固定装置。
【背景技术】
[0002]在微纳米技术领域，经常要用到衬底。衬底多数有玻璃或陶瓷制备成的薄片，由于衬底较薄，并且容易破碎，在衬底的使用过程中，为了在衬底表面进行加工处理，怎么将衬底快速的固定，并且保证衬底的完整性，是一个急需解决的问题。
[0003]为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种衬底固定装置，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【实用新型内容】
[0004]为了克服【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种衬底固定装置，包括底盘、U形卡件、推块、复位弹簧和衬底压片，所述U形卡件固定在底盘上，所述U形卡件上设有复位按钮，所述推块从U形卡件内穿过，所述推块的前端设有复位弹簧固定柱，所述复位弹簧的一端固定在复位弹簧固定柱上，所述复位弹簧的另一端固定在底盘上，所述衬底压片固定在推块上。
[0005]本实用新型所涉及的一种衬底固定装置，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型一种衬底固定装置的结构不意图；
[0008]其中:1、底盘;2、U形卡件;3、推块;4、复位按钮;5、复位弹簧;6、复位弹簧固定柱；7、衬底压片。
【具体实施方式】
[0009]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0010]具体实施例，请参阅图1，一种衬底固定装置，包括底盘1、U形卡件2、推块3、复位弹簧5和衬底压片7，所述U形卡件2固定在底盘I上，所述U形卡件2上设有复位按钮4，所述推块3从U形卡件2内穿过，所述推块3的前端设有复位弹簧固定柱6，所述复位弹簧5的一端固定在复位弹簧固定柱6上，所述复位弹簧5的另一端固定在底盘I上，所述衬底压片7固定在推块3上。
[0011]本实用新型所涉及的一种衬底固定装置，该衬底固定装置在使用过程中，将衬底放置在底盘I上，推动推块3使衬底压片7将衬底压住，待对衬底的操作完成后按下复位按钮4，在复位弹簧5的作用下衬底压片7放开衬底，该衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘I和衬底压片7之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
[0012]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种衬底固定装置，包括底盘(l)、u形卡件(2)、推块(3)、复位弹簧(5)和衬底压片(7)，其特征在于:所述U形卡件(2)固定在底盘(I)上，所述U形卡件(2)上设有复位按钮(4)，所述推块(3)从U形卡件(2)内穿过，所述推块(3)的前端设有复位弹簧固定柱(6)，所述复位弹簧(5)的一端固定在复位弹簧固定柱(6)上，所述复位弹簧(5)的另一端固定在底盘(I)上，所述衬底压片(7)固定在推块(3)上。
【专利摘要】本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种衬底固定装置。该衬底固定装置，包括底盘、U形卡件、推块、复位弹簧和衬底压片，所述U形卡件固定在底盘上。本实用新型所涉及的一种衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底盘和衬底压片之间，从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作，并且能够有效保证衬底的完整性。此外，该衬底固定装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【IPC分类】B81C1/00
【公开号】CN205328605
【申请号】CN201620053819
【发明人】王云翔
【申请人】苏州美图半导体技术有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2016年1月20日
再多了解一些
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