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一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备的制作方法

2021-10-19 21:30:00 来源:中国专利 TAG:清洗 设备 电子产品 芯片 晶圆

技术特征:
1.一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的内壁底部焊接有水箱(2),所述水箱(2)的正表面开设有进水口(3),所述水箱(2)的内部安装有过滤网(5),所述水箱(2)的左侧开设有圆孔,且圆孔内表面贯穿安装有上水管(4),所述水箱(2)的顶部开设有污水口(6),所述水箱(2)的顶部固定安装固定板(7),所述水箱(2)的顶部焊接有第一滑道(10),所述水箱(2)的顶部焊接有第二滑道(11),所述第一滑道(10)的内部和第二滑道(11)的内部均滑动连接有两组滑轮(12),其中一组所述滑轮(12)的外表面活动连接有第一移动板(13),另一组所述滑轮(12)的外表面活动连接第二移动板(14),所述第一移动板(13)的右侧固定安装有第一刷板(15),所述第二移动板(14)的左侧固定安装有第二刷板(16),所述外壳(1)的内壁底部固定焊接有两个电机支架,且两个电机支架的顶部均焊接有电机(21),两个所述电机(21)的输出端分别固定安装有第一轴杆(19)和第二轴杆(20),所述第一轴杆(19)的外表面固定安装有第一齿轮(17),所述第二轴杆(20)的外表面固定安装有第二齿轮(18)。2.根据权利要求1所述的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,其特征在于:所述外壳(1)的内壁两侧之间焊接有挡水板(22),所述挡水板(22)的内部开设有两个轴杆孔,且两个轴杆孔的内部分别固定贯穿有第一轴杆(19)和第二轴杆(20)。3.根据权利要求2所述的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,其特征在于:所述上水管(4)的外表面开设有上水口,且上水口的底部连通有水泵(23),所述上水管(4)的左侧与外壳(1)的内壁左侧相贴合,所述上水管(4)的输出端连通有连接管(24),所述连接管(24)的底部连通有喷淋器(25)。4.根据权利要求1所述的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,其特征在于:所述固定板(7)的顶部焊接有夹板(8),所述夹板(8)的顶部固定安装有橡胶块(9)。5.根据权利要求1所述的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,其特征在于:所述第一移动板(13)的外表面左侧固定安装有第一齿牙,且第一齿牙的外表面与第一齿轮(17)的外表面相适配。6.根据权利要求3所述的一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,其特征在于:所述第二移动板(14)的外表面右侧固定安装有第二齿牙,且第二齿牙的外表面与第二齿轮(18)的外表面相适配。

技术总结
本实用新型提供一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备,涉及清洗设备技术领域,包括外壳,所述外壳的内壁底部焊接有水箱,所述水箱的正表面开设有进水口,所述水箱的内部安装有过滤网,所述水箱的左侧开设有圆孔,且圆孔内表面贯穿安装有上水管,所述水箱的顶部开设有污水口,所述水箱的顶部固定安装固定板,所述水箱的顶部焊接有第一滑道,所述水箱的顶部焊接有第二滑道。本实用新型中,喷淋器将水往下喷淋,可以将晶圆进行清洗,水在喷淋时挡水板可以将喷淋的水通过污水口收集到水箱内部,水箱内部的过滤网可以对污水进行过滤,可以使水循环利用,挡水板可以阻挡水不伤害电机。机。机。


技术研发人员:张峰
受保护的技术使用者:西安重光明宸检测技术有限公司
技术研发日:2020.10.13
技术公布日:2021/10/18
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